Parametrisches laseroptisches Rauheitsmeßsystem aus der Sicht real auftretender Oberflächentopographien:
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Format: | Abschlussarbeit Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1999
|
Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
Schriftenreihe: | Fortschritt-Berichte VDI
Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik ; 792 |
Schlagworte: | |
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Beschreibung: | XI, 172 S. Ill., graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINFUEHRUNG
1
2
GEOMETRISCHE
PRODUKTSPEZIFIKATION
5
2
1
DERZEITIGER
STAND
DER
INTERNATIONALEN
NORMUNG
.
5
2.2
DAS
RAUHEITSPROFIL
.
6
2.3
GENORMTE
RAUHEITSKENNGROESSEN
.
8
2.4
ZUSAETZLICHE
KENNGROESSEN
.
11
3
MESSGERAETE
ZUR
ERFASSUNG
DES
GESAMTPROFILS
13
3.1
TASTSCHNITTGERAETE
.
13
3.2
BERUEHRENDE
MECHANISCHE
TASTER
.
14
3.3
NORMENKETTE
DES
TASTSCHNITTGERAETES
.
17
3.4
BERUEHRUNGSLOSE
OPTISCHE
TASTER
.
18
4
PRINZIP
DER
PARAMETRISCH
OPTISCHEN
RAUHEITSMESSUNG
20
5
DAS
SPECKLEMUSTER
24
5.1
OPTISCHE
SIGNALERZEUGUNG
.
24
5.1.1
EINFALLENDES
FELD
I7
C
(RO)
AN
DER
OBERFLAECHE
.
28
5.1.2
STREUFELD
U
R
(F
0
)
AN
DER
OBERFLAECHE
.
31
5.1.3
TOTALES
FELD
U
T
(F
0
)
AN
DER
OBERFLAECHE
.
32
5.1.4
ABSCHAETZUNG
DER
GUELTIGKEIT
DES
TANGENTIALEBENEN-ANSATZES
.
32
5.2
OPTISCHE
SIGNALVERARBEITUNG
.
35
5.2.1
ABSTAND
|F'|
FUER
DIE
FRESNELNAEHERUNG
.
35
5.2.2
ABSTAND
|F'|
FUER
DIE
FRAUNHOFER-NAEHERUNG
.
36
5.2.3
DIE
FRAUNHOFER-NAEHERUNG
FUER
DIE
KUGELWELLE
.
37
5.2.4
DAS
OBERFLAECHENELEMENT
DS
IM
ZUSAMMENHANG
MIT
DER
RICHTUNG
DER
OBERFLAECHENNORMALEN
FT
T
.
38
5.2.5
DIE
FRAUNHOFER-NAEHERUNG
.
40
5.2.6
BESTIMMUNG
DER
FRAUNHOFER-NAEHERUNG
MIT
HILFE
OPTISCHER
FOURIER
-
TRANSFORMATIONSSYSTEME
.
43
5.2.7
INTENSITAETSFELD
.
47
5.3
BERECHNUNGSPROGRAMM
FUER
DIE
STREUFELDER
.
48
5.3.1
NUMERISCHE
ERZEUGUNG
EINES
OBERFLAECHENPROFILS
.
48
5.3.2
NUMERISCHE
BERECHNUNG
DES
STREUFELDES
IN
DER
BRENNEBENE
EINER
LINSE
49
5.4
VERGLEICH
DER
STREUFELDGLEICHUNG
MIT
DENEN
VON
BITZ,
RUFFING
UND
LEHMANN
.
51
6
ANALYTISCHER
KORRELATIONSKOEFFIZIENT
53
6.1
KORRELATIONSKOEFFIZIENT
BESTIMMT
AUS
EINER
ENSEMBLE-MITTELWERTBILDUNG
.
53
6.2
DIE
CHARAKTERISTISCHE
FUNKTION
EINES
ZUFALLSPROZESSES
.
57
6.3
VERBUNDWAHRSCHEINLICHKEITSFUNKTION
VON
ZWEI
NORMALVERTEILTEN
ZUFALLSPROZESSEN
59
6.4
ERWARTUNGSWERT
|(7
M
7YY)|
FUER
NORMALVERTEILTE
OBERFLAECHENHOEHEN
.
61
6.5
GAUSSFOERMIGE
AUTOKORRELATIONSFUNKTION
.
63
6.6
GLEICHE
ORTSFREQUENZEN
.
67
6.7
ABSCHAETZUNG
DES
EINFLUSSES
DES
BEOBACHTUNGSWINKELS
AUF
DEN
WERT
DES
KOR
RELATIONSKOEFFIZIENTEN
BEI
FESTEM
EINFALLSWINKEL
.
69
6.8
OBERFLAECHENKENNGROESSEN
NACH
DIN
EN
ISO
4287
.
71
7
NUMERISCH
ERMITTELTER
KORRELATIONSKOEFLIZIENT
72
7.1
ALGORITHMUS
DES
VERWENDETEN
PROGRAMMS
.
72
7.2
PROBLEMATIK
VON
AUSREISSERN
IN
DER
OBERFLAECHENSTRUKTUR
.
74
8
EXPERIMENTELL
ERMITTELTER
KORRELATIONSKOEFLIZIENT
79
8.1
PRINZIPIELLER
AUFBAU
.
79
8.2
ENSEMBLE-MITTELWERTBILDUNG
.
81
8.3
OERTLICHE
MITTELWERTBILDUNG
.
84
8.4
NUMERISCHE
ORTSFREQUENZSKALIERUNG
.
87
8.4.1
VORGEHENSWEISE
BEI
DER
NUMERISCHEN
SKALIERUNG
DER
ORTSFREQUENZEBENE
87
8.4.2
UNERWUENSCHTER
EFFEKT
DER
ORTSFREQUENZSKALIERUNG
BEI
VERKIPPUNGEN
DES
MESSOBJEKTES
.
89
8.4.3
NUMERISCHE
KREUZKORRELATION
AUF
DER
BASIS
DER
FFT
ZUR
ERMITTLUNG
DER
DIFFERENZEN
DER
ORTSKOORDINATEN
.
91
8.5
OPTISCHE
ORTSFREQUENZSKALIERUNG
.
92
8.5.1
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
.
92
8.5.2
AUSWIRKUNG
EINER
VERKIPPUNG
DER
OBERFLAECHE
.
96
8.6
HOLOGRAPHISCH
OPTISCHE
ORTSFREQUENZSKALIERUNG
.
97
8
7
EINFLUSS
DER
ENTFERNUNG
ZWISCHEN
LINSE
UND
WERKSTUECK
.
100
9
STATISTIK
DER
UNTERSUCHTEN
REALEN
OBERFLAECHEN
101
10
ERGEBNISSE
PARAMETRISCH
OPTISCHER
RAUHEITSMESSUNG
119
10.1
NUMERISCHE
ORTSFREQUENZSKALIERUNG
.
119
10.2
OPTISCHE
ORTSFREQUENZSKALIERUNG
.
121
10.2.1
RUGOTEST
104
.
121
10.2.2
REALE
OBERFLAECHENSTRUKTUREN
.
123
10.2.3
EINFLUSS
NICHT
GAUSSFOERMIGER
AUTOKORRELATIONSFUNKTIONEN
.
125
10.2.4
BERECHNUNG
VON
KORRELATIONSKOEFFIZIENTEN
REALER
OBERFLAECHENTOPOGRA
PHIEN
AUS
DEN
RAUHEITSPROFILEN
.
128
10.2.5
BERECHNUNG
VON
KORRELATIONSKOEFFIZIENTEN
AUS
DEN
STREUFELDERN
VON
SI
NUSPROFILEN
.
130
10.2.6
REALE
OBERFLAECHENTOPOGRAPHIEN
BEI
EINEM
EINFALLSWINKEL
VON
0
UND
OPTISCHER
ORTSFREQUENZSKALIERUNG
.
131
10.3
HOLOGRAPHISCH
OPTISCHE
ORTSFREQUENZSKALIERUNG
.
132
11
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
133
VI
A
MATHEMATISCHER
ANHANG
136
A.L
ZUSAMMENHANG
ZWISCHEN
RA
UND
RQ
.
136
A.2
BESTIMMUNG
DES
STREUFELDES
AUS
DEM
TOTALEN
FELD
UEBER
DER
OBERFLAECHE
.
138
A.2.1
DIE
HELMHOLTZGLEICHUNG
.
138
A.2.2
DIE
ZWEITE
GREENSCHE
IDENTITAET
.
140
A.2.3
DAS
KIRCHHOFFSCHE
BEUGUNGSINTEGRAL
.
140
A.2.4
ANWENDUNG
DES
KIRCHHOFFSCHEN
INTEGRALSATZES
AUF
DIE
STREUUNG
VON
LICHT
AN
RAUHEN
OBERFLAECHEN
.
144
B
MATLAB-PROGRAMME
147
B.L
DAS
OBERFLAECHENPROFIL
.
147
B.2
DAS
STREUFELD
.
148
B.3
DIE
NUMERISCHE
SKALIERUNG
.
152
B.4
PROFILAUSWERTUNG
.
155
LITERATURVERZEICHNIS
163
VII |
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series2 | Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik |
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