Modellierung von nichtflüchtigen Speicherbauelementen:
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Format: | Abschlussarbeit Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Berlin
dissertation.de
1999
|
Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
Beschreibung: | XVI, 115 S. graph. Darst. : 21 cm |
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INHALTSVERZEICHNIS
VORWORT
V
VEROEFFENTLICHUNGEN
VII
LISTE
DER
VERWENDETEN
FORMELZEICHEN
XIII
PHYSIKALISCHE
KONSTANTEN
.
XIII
PHYSIKALISCHE
GROESSEN
.
XIII
1
EINLEITUNG
1
2
GRUNDLAGEN
5
2.1
DIE
MOS-STRUKTUR
.
5
2.1.1
POTENTIALE
UND
LADUNGEN
.
6
2.1.2
CHARGE-SHEET
NAEHERUNG
.
9
2.2
DER
FELDEFFEKTTRANSISTOR
.
10
2.2.1
LADUNGSBESCHREIBUNG
.
12
2.2.2
LADUNGSAUFTEILUNG
.
12
2.2.3
STROMBESCHREIBUNG
.
13
2.2.4
KAPAZITAETEN
.
14
2.2.5
ANALYTISCHE
LADUNGS-UND
POTENTIALBESCHREIBUNG
.
15
2.2.5.1
LINEARISIERUNG
DER
FLAECHENLADUNGSDICHTEN
.
15
2.2.5.2
LADUNGSBESCHREIBUNG
.
16
2.2.5.3
BESCHREIBUNG
DES
OBERFLAECHENPOTENTIALS
.
18
VIII
INHALTSVERZEICHNIS
2.2.5A
SAETTIGUNGSBEREICH
.
18
2.2.5.5
UEBERGANG
IN
SAETTIGUNG
.
19
2.2.6
DIE
EINSATZSPANNUNG
.
19
2.2.6.1
SCHMALKANALEFFEKTE
.
21
2.2.6.2
KURZKANALEFFEKT
.
22
2.2.6.3
DRAINSPANNUNGSEINFLUSS,
DIBL-EFFEKT
.
22
2.2.6.4
OED-EFFEKT
UND
POCKET-IMPLANTATIONEN
.
23
2.2.6.5
SC-EFFEKT
.
23
2.3
QUANTENMECHANISCHE
EFFEKTE
.
27
2.3.1
VERSCHIEBUNG
DES
LADUNGSSCHWERPUNKTS
.
27
2.3.2
MODELLIERUNGSANSAETZE
.
30
3
MODELLIERUNG
VON
FLOATING-GATE-ZELLEN
33
3.1
BAUELEMENTE
.
34
3.1.1
FLOTOX
.
34
3.1.2
FETMOS
.
35
3.2
STOERUNGEN
.
37
3.2.1
DRAIN
DISTURB
(DC
ERASE)
.
37
3.2.2
GATE
DISTURB
(DC
PROGRAM)
.
37
3.2.3
SUBSTRAT
DISTURB
.
37
3.3
ZELLARCHITEKTUREN
.
38
3.3.1
EEPROM-ZELLE
.
38
3.3.2
AND-ZELLE
.
39
3.3.3
DINOR-ZELLE
.
39
3.3.4
NAND-ZELLE
.
40
3.4
NEUES
EINHEITLICHES
KOMPAKTMODELL
.
41
3.4.1
AUFBAU
.
41
3.4.2
DER
POLY-GATE-DEPLETION-EFFEKT
.
43
3.4.2.1
GRUNDLAGEN
UND
MODELLIERUNG
.
43
3.4.2.2
EINFLUSS
AUF
DAS
TUNNELVERHALTEN
.
46
3.4.3
VERBESSERTE
MODELLIERUNG
DER
UEBERLAPPGEBIETE
.
48
3.4.3.1
BEDEUTUNG
DER
UEBERLAPPGEBIETE
.
48
3.4.3.2
ZWEIDIMENSIONALE
BAUELEMENTESIMULATION
.
48
INHALTSVERZEICHNIS
IX
3.43.3
KOMPAKTMODELLIERUNG
.
52
3.4.3.3.1
BISHERIGE
BESCHREIBUNG
.
52
3.4.33.2
ITERATIVE
BERECHNUNG
.
55
3.4.3.33
ANALYTISCHE
BERECHNUNG
.
61
3.4.4
FOWLER-NORDHEIM-TUNNELSTROEME
.
70
3.4.5
BULKSTROM
.
73
3.4.5.1
QUELLEN
DES
BULKSTROMS
.
73
3.4.5.2
MODELLIERUNG
DES
BAND-ZU-BAND-TUNNELNS
.
74
3.4.5.2.1
PRINZIP
UND
GRUNDLAGEN
DES
BTBT
.
.
75
3.4.5.2.2
BISHERIGE
MODELLANSAETZE
.
77
3.4.5.23
VERBESSERTE
MODELLIERUNG
.
77
3.4.5.2.4
SIMULATIONSERGEBNISSE
.
80
3.5
ALTERUNG
.
82
3.5.1
EXPERIMENTELLE
BEOBACHTUNGEN
.
82
3.5.2
MODELLIERUNG
.
83
3.5.3
SIMULATIONSERGEBNISSE
.
86
4
MODELLIERUNG
VON
ZELLEN
MIT
POLARISATIONSSPEICHERUNG
89
4.1
POLARISATIONSARTEN
.
90
4.2
GRUNDLEGENDE
BESCHREIBUNG
VON
FERROELEKTRIKA
.
92
4.3
NEUES
KOMPAKTMODELL
FUER
FERROELEKTRISCHE
KAPAZITAETEN
. 94
4.4
DEGRADATION
.
95
4.4.1
ZU
BEOBACHTENDE
PHAENOMENE
.
97
4.4.1.1
ALTERUNG
.
97
4.4.1.2
FATIGUE
.
97
4.4.2
FATIGUE-MODELLIERUNG
.
98
5
ZUSAMMENFASSUNG
105
LITERATURVERZEICHNIS
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