Ion implantation into semiconductors, oxides and ceramics: proceedings of the E-MRS 1998 Spring Meeting Symposium J on Ion Implantation Into Semiconductors, Oxides and Ceramics, Strasbourg, France, 16 - 19 June 1998
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Amsterdam [u.a.] Elsevier 1999
Schriftenreihe:European Materials Research Society: European Materials Research Society symposia proceedings 85
Schlagworte:
Beschreibung:Aus: Nuclear instruments and methods / B ; 147,1/4
Beschreibung:XIV, 442 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:0080436137

Es ist kein Print-Exemplar vorhanden.

Fernleihe Bestellen Achtung: Nicht im THWS-Bestand!