Neuffer, A. (1999). Diagnostik und Modellierung einer planaren Magnetron-Sputterquelle.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Neuffer, Andreas. Diagnostik Und Modellierung Einer Planaren Magnetron-Sputterquelle. 1999.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Neuffer, Andreas. Diagnostik Und Modellierung Einer Planaren Magnetron-Sputterquelle. 1999.
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