Diagnostik und Modellierung einer planaren Magnetron-Sputterquelle:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
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1999
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6
INHALTSVERZEICHNIS
ZUSAMMENFASSUNG
.
2
INHALTSVERZEICHNIS
.
6
1
EINLEITUNG
UND
AUFGABENSTELLUNG
.
8
2
EXPERIMENTELLER
AULBAU
.
10
2.1
DER
PLASMAREAKTOR.
10
2.2
DIE
PLASMAQUELLE
.
12
2.3
LANGMUIRSONDENDIAGNOSTIK
.
16
2.3.1
ZYLINDRISCHE
LANGMUIRSONDE
.
17
2.3.2
EBENE
LANGMUIRSONDE
.
18
2.3.3
ELEKTRONISCHE
SCHALTUNG
ZUR
AUFNAHME
UND
AUSWERTUNG
DER
SONDENKENNLINIEN.
18
2.4
OPTISCHE
EMISSIONSSPEKTROSKOPIE
.
20
3
GRUNDLAGEN
DER
PLASMADIAGNOSTIKMETHODEN
.
21
3.1
DIE
LANGMUIRSONDE
.
21
3.1.1
DIAGNOSTIK
BEI
ISOTROPER
ELEKTRONENGESCHWINDIGKEITSVERTEILUNGSFUNKTION
.
21
3.1.2
BEEINFLUSSUNG
DER
SONDENCHARAKTERISTIK
DURCH
DAS
MAGNETFELD
.
23
3.1.3
DIAGNOSTIK
BEI
ANISOTROPER
ELEKTRONENGESCHWINDIGKEITSVERTEILUNGSFUNKTION
.
24
3.1.4
REALISIERUNG
DER
PLASMAPARAMETERBESTIMMUNG
MIT DEN
LANGMUIRSONDEN
.
25
3.2
OPTISCHE
EMISSIONSSPEKTROSKOPIE
.
27
3.2.1
DAS
KORONAMODELL
.
27
3.2.2
DIE
ABELINVERSION
.
28
3.2.3
REALISIERUNG
DER
ELEKTRONENTEMPERATURBESTIMMUNG
MIT
DER
SPEKTROSKOPIE
.
30
4
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
.
33
4.1
DIE
KENNLINIE
DER
MAGNETRON-ENTLADUNG
.
33
4.2
ERGEBNISSE
DER
LANGMUIRSONDENMESSUNGEN
.
35
4.2.1
RAEUMLICHE
VERTEILUNG
DER
PLASMAPARAMETER
DER
ARGONENTLADUNG
.
35
4.2.2
PLASMAPARAMETER
DER
ARGONENDADUNG
BEI
VARIATION
DES
ENDADUNGSSTROMES
.
38
4.2.3
PLASMAPARAMETER
DER
ARGONENDADUNG
BEI
VARIATION
DES
DRUCKES
.
42
4.2.3.1
DER
MAGNETISIERTE
BEREICH
(X
110
MM)
.
42
4.2.3.2
DER
NICHTMAGNETISIERTE
BEREICH
(X
110
MM)
.
46
4.2.4
VARIATION
DER AEUSSEREN
ELEKTRISCHEN
BESCHALTUNG
DER
ARGONENDADUNG
.
48
4.2.5
ELEKTRONENENERGIEVERTEILUNGSFUNKTION
DER
ARGONENDADUNG
.
49
7
4.2.6
DRIFTSTROMDICHTEN
IN
EB-RICHTUNG
DER
ARGONENDADUNG
.
52
4.2.7
PLASMAPARAMETER
DER
ARGON-METHAN-ENTLADUNG
.
56
4.2.8
PLASMAPARAMETER
DER
HELIUMENTLADUNG
.
58
4.2.9
PLASMAPARAMETER
DER
NEONENDADUNG
.
59
4.2.10
FEHLER
DER
LANGMUIRSONDENMESSUNGEN
.
61
4.3
ERGEBNISSE
DER
EMISSIONSSPEKTROSKOPIE
.
63
4.3.1
UEBERPRUEFUNG
DER
GUELTIGKEIT
DES
KORONAMODELLES
.
64
4.3.2
VARIATION
DES
ARGONDRUCKES
.
65
4.3.3
VARIATION
DER
AEUSSEREN
ELEKTRISCHEN
BESCHALTUNG
.
69
4.3.4
VARIATION
DES
ENDADUNGSSTROMES
.
70
4.3.5
BESTIMMUNG
DER
AUSDEHNUNG
DES
KATHODENFALLRAUMES
.
72
4.3.6
FEHLER
DURCH
DIE
MESSUNGEN
MIT
DER
EMISSIONSSPEKTROSKOPIE
.
73
4.4
DISKUSSION
DER
ELEKTRONENENERGIEVERTEILUNGSFUNKTION
.
74
5
MODELLIERUNG
DER
ENDADUNG
.
77
5.1
DIE
BILANZGLEICHUNGEN
.
80
5.2
NORMIERUNGEN
.
82
5.3
DAS
GLEICHUNGSSYSTEM
.
83
5.4
BERUECKSICHTIGTE
STOSSREAKTIONEN
.
85
5.4.1
ELEKTRONENSTOSSREAKTIONEN
.
85
5.4.2
LONENSTOSSREAKTIONEN
.
86
5.5
LOESUNG
DES
DIFFERENTIALGLEICHUNGSSYSTEMS
.
88
5.5.1
EINGANGSGROESSEN
FUER
DAS
DIFFERENTIALGLEICHUNGSSYSTEM
.
88
5.5.2
PROGRAMM
ZUR
LOESUNG
DES
DIFFERENTIALGLEICHUNGSSYSTEMS
.
91
5.6
KRITIK
DES
BENUTZTEN
MODELLS
.
91
5.7
ERGEBNISSE
DER
MODELLIERUNG
.
92
5.7.1
VARIATION
DES
ARGONDRUCKES
.
92
5.7.2
VARIATION
DER
AEUSSEREN
ELEKTRISCHEN
BESCHALTUNG
.
98
5.7.3
VERGLEICH
DER
ELEKTRONEN
UND
LONENSTROMDICHTEN
.
99
5.8
DISKUSSION
DER
ZWEITEMPERATUMAEHERUNG
DER
ELEKTRONEN
.
103
LISTE
DER
VERWENDETEN
FORMELZEICHEN
.104
LITERATURVERZEICHNIS
.
107 |
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