Entwicklung und Untersuchung von oberflächenmikromechanischen Relais für die Anwendung in der Hochfrequenztechnik:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
München
Utz, Wiss.
1999
|
| Schriftenreihe: | Elektrotechnik
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 1999 |
| Beschreibung: | 124 S. Ill. |
| ISBN: | 3896755927 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV012727780 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20010130 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 990817s1999 gw a||| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 957209568 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3896755927 |c brosch. : DM 86.06 (freier Pr.), EUR 44.00 (freier Pr.) |9 3-89675-592-7 | ||
| 035 | |a (OCoLC)76018718 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV012727780 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-12 |a DE-91 |a DE-83 |a DE-29T | ||
| 084 | |a MAS 990d |2 stub | ||
| 084 | |a ELT 093d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Schiele, Ignaz Christoph |e Verfasser |0 (DE-588)121307905 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Entwicklung und Untersuchung von oberflächenmikromechanischen Relais für die Anwendung in der Hochfrequenztechnik |c Ignaz Christoph Schiele |
| 264 | 1 | |a München |b Utz, Wiss. |c 1999 | |
| 300 | |a 124 S. |b Ill. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Elektrotechnik | |
| 500 | |a Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 1999 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Relais |0 (DE-588)4049354-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Hochfrequenztechnik |0 (DE-588)4025202-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Relais |0 (DE-588)4049354-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Hochfrequenztechnik |0 (DE-588)4025202-4 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008653834&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008653834 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1807683439862743040 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
.
4
2
STAND
DER
TECHNIK
.
6
2.1
M
ECHANISCHE
R
ELAIS
.
6
2.2
E
LEKTRONISCHE
R
ELAIS
.
7
2.3
V
ERGLEICH
MECHANISCHER
UND
ELEKTRONISCHER
R
ELAIS
.
8
2.4
V
ERGLEICH
DER
H
OCHFREQUENZEIGENSCHAFTEN
DER
R
ELAISTYPEN
.
10
3
ANTRIEBSPRINZIPIEN
.
13
3.1
M
IKROAKTOREN
AUS
F
ORMGEDAECHTNISLEGIERUNGEN
.
13
3.2
P
IEZOELEKTRISCHE
M
IKROAKTOREN
.
14
3.3
T
HERMOMECHANISCHE
M
IKROAKTOREN
.
16
3.4
M
AGNETOSTRIKTIVE
M
IKROAKTOREN
.
17
3.5
T
HERMOPNEUMATISCHE
M
IKROAKTOREN
.
18
3.6
E
LEKTROMAGNETISCHE
M
IKROAKTOREN
.
18
3.7
E
LEKTROSTATISCHE
M
IKROAKTOREN
.
22
4
KONZEPT
DES
MIKROMECHANISCHEN
HF-RELAIS
.
28
4.1
V
ERGLEICH
VON
LATERALEN
UND
VERTIKALEN
ELEKTROSTATISCHEN
A
NTRIEBEN
.
28
4.1.1
FLOTATIONSANTRIEB
UND
KONDENSATORKAMMANTRIEB
.28
4.1.2
LATERALER
PLATTENKONDENSATORANTRIEB.
.
29
4.1.3
VERTIKALER
PLATTENKONDENSATORANTRIEB.
.
32
4.2
B
AUWEISEN
DES
VERTIKALEN
P
LATTENKONDENSATORANTRIEBS
.
33
4.2.1
TORSIONSBALKEN
.
34
4.2.2
BEIDSEITIG
EINGESPANNTER
BALKEN
.
36
4.2.3
EINSEITIG
EINGESPANNTER
BALKEN
.
38
4.3
K
ONTAKTGEBUNG
.
39
4.4
R
ELAISKONFIGURATION
FUER
DIE
H
OCHFREQUENZTECHNIK
.
40
5
KONSTRUKTIVE
GESTALTUNG
DES
MIKRORELAIS
.
41
5.1
M
ATERIALCHARAKTERISIERUNG
.
41
5.1.1
ANALYTISCHE
BERECHNUNG
EINES
EFFEKTIVEN
E-MODULS
FUER
DEN
SCHICHTVERBUND.
.
42
5.1.2
BESTIMMUNG
DES
E-MODULS
DES
SCHICHTVERBUNDES
ANHAND
DER
RESONANZMETHODE
.
43
5.1.3
BESTIMMUNG
DER
EIGENSPANNUNG
DES
SCHICHTVERBUNDES
ANHAND
VON
TESTSTRUKTUREN
.
48
5.2
M
ODELL
FUER
DEN
ELEKTROSTATISCHEN
A
NTRIEB
.
57
5.2.1
BALKENBIEGUNG
UNTER
BERUECKSICHTIGUNG
VON
EIGENSPANNUNG
.
57
5.2.2
ELEKTRISCHES
FELD
.
62
5.2.3
KOPPLUNG
VON
BALKENBIEGUNG
MIT
ELEKTROSTATISCHEM
ANTRIEB
.
64
5.3
S
TICKING
.
66
5.3.1
ANHAFTEN
DER
STRUKTUR
AM
SUBSTRAT
IM
BETRIEB
DURCH
ADHAESIONSKRAEFTE
.
66
5.3.2
ANHAFTEN
DER
STRUKTUR
AM
SUBSTRAT
DURCH
LADUNGSSPEICHERUNG
IM
SLLLZIUMDLOXLD.
.
72
5.4
B
AUWEISE
DES
M
IKRORELAIS
.
75
INHALTSVERZEICHNIS
3
5.4.1
EINSTELLUNG
DER
BALKENDEFORMATION
.
77
5.4.2
ERMUEDUNG
UND
DAUERBRUCH
.
78
5.4.3
EIGENSPANNUNGSMANAGEMENT
AM
KONTAKTBUEGEL.
.
78
6
ELEKTRISCHE
KONTAKTE
BEI
KONTAKTKRAEFTEN
IN
DER
PN-SKALA
.
81
6.1
E
LEKTRISCHER
K
ONTAKT
UND
K
ONTAKTWIDERSTANO
.
81
6.2
K
ONTAKTFORM
.
83
6.3
K
ONTAKTWERKSTOFF
.
85
6.4
H
AFTEN
UND
K
ALTSCHWEIBNEIGUNG
.
85
6.5
S
TROMBELASTBARKEIT
.
87
6.6
I-U-K
ENNUNIE
.
87
7
EINSATZ
VON
MIKROMECHANISCHEN
SCHALTERN
IN
DER
HF-TECHNIK
.
89
7.1
S
TREIFENLEITUNGSBAUFORM
.
89
7.2
D
IMENSIONIERUNG
DES
M
IKROSTREIFENLEITERS
.
90
7.3
C
HIPLAYOUT
.
91
8
TECHNOLOGIE
UND
HERSTELLUNG
.
92
8.1
H
ERSTELLUNGSVERFAHREN
.
92
8.2
E
NTFERNEN
DER
O
PFERSCHICHT
UNTER
V
ERMEIDUNG
VON
S
TICKING
.
94
8.3
T
ECHNOLOGIEDEFINITION
UND
H
ERSTELLUNG
.
96
8.4
B
ESCHREIBUNG
AUSGEWAEHLTER
E
INZELPROZESSE
.
99
8.4.
1
VERFAHREN
ZUR
BILDUNG
VON
ERHEBUNGEN
.
100
8.4.2
REAKTIVES
LONENSTRAHLAETZEN
(RIBE)
.
102
9
MESSTECHNISCHE
CHARAKTERISIERUNG
DES
MIKRORELAIS
.
104
9.1
M
EBAUFBAU
.
104
9.2
M
ECHANISCHE
E
IGENSCHAFTEN
.
105
9.2.1
SCHALTZEIT
UND
PRELLVERHALTEN
.
105
9.2.2
MECHANISCHE
LEBENSDAUER,
SCHOCKFESTIGKEIT
UND
LEISTUNGSVERBRAUCH
.
107
9.2.3
TEMPERATURBEREICH
.
107
9.3
E
LEKTRISCHE
E
IGENSCHAFTEN
.
108
9.3.1
KONTAKTWIDERSTAND
.
108
9.3.2
ELEKTRISCHE
LEBENSDAUER.
.
109
9.4
H
OCHFREGUENZEIGENSCHAFTEN
.
111
9.4.1
UEBERSPRECHDAEMPFUNG
.
112
9.4.2
EINFUEGUNGSDAEMPFUNG
.
112
10
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
114
ANHANG
.
117
A
L
ITERATURVERZEICHNIS
.
117
B
P
UBLIKATIONEN
.
123
C
P
ATENTE
UND
P
ATENTANMELDUNGEN
.
123
DANKSAGUNG
.
124 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Schiele, Ignaz Christoph |
| author_GND | (DE-588)121307905 |
| author_facet | Schiele, Ignaz Christoph |
| author_role | aut |
| author_sort | Schiele, Ignaz Christoph |
| author_variant | i c s ic ics |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV012727780 |
| classification_tum | MAS 990d ELT 093d |
| ctrlnum | (OCoLC)76018718 (DE-599)BVBBV012727780 |
| discipline | Elektrotechnik Maschinenbau |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV012727780</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20010130</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">990817s1999 gw a||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">957209568</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3896755927</subfield><subfield code="c">brosch. : DM 86.06 (freier Pr.), EUR 44.00 (freier Pr.)</subfield><subfield code="9">3-89675-592-7</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76018718</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV012727780</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">MAS 990d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 093d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schiele, Ignaz Christoph</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)121307905</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Entwicklung und Untersuchung von oberflächenmikromechanischen Relais für die Anwendung in der Hochfrequenztechnik</subfield><subfield code="c">Ignaz Christoph Schiele</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">München</subfield><subfield code="b">Utz, Wiss.</subfield><subfield code="c">1999</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">124 S.</subfield><subfield code="b">Ill.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Elektrotechnik</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 1999</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Relais</subfield><subfield code="0">(DE-588)4049354-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Hochfrequenztechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4025202-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Relais</subfield><subfield code="0">(DE-588)4049354-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Hochfrequenztechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4025202-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008653834&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008653834</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV012727780 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-18T00:34:28Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3896755927 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008653834 |
| oclc_num | 76018718 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM DE-83 DE-29T |
| owner_facet | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM DE-83 DE-29T |
| physical | 124 S. Ill. |
| publishDate | 1999 |
| publishDateSearch | 1999 |
| publishDateSort | 1999 |
| publisher | Utz, Wiss. |
| record_format | marc |
| series2 | Elektrotechnik |
| spelling | Schiele, Ignaz Christoph Verfasser (DE-588)121307905 aut Entwicklung und Untersuchung von oberflächenmikromechanischen Relais für die Anwendung in der Hochfrequenztechnik Ignaz Christoph Schiele München Utz, Wiss. 1999 124 S. Ill. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Elektrotechnik Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 1999 Relais (DE-588)4049354-4 gnd rswk-swf Hochfrequenztechnik (DE-588)4025202-4 gnd rswk-swf Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Relais (DE-588)4049354-4 s Mikromechanik (DE-588)4205811-9 s Hochfrequenztechnik (DE-588)4025202-4 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008653834&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Schiele, Ignaz Christoph Entwicklung und Untersuchung von oberflächenmikromechanischen Relais für die Anwendung in der Hochfrequenztechnik Relais (DE-588)4049354-4 gnd Hochfrequenztechnik (DE-588)4025202-4 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4049354-4 (DE-588)4025202-4 (DE-588)4205811-9 (DE-588)4113937-9 |
| title | Entwicklung und Untersuchung von oberflächenmikromechanischen Relais für die Anwendung in der Hochfrequenztechnik |
| title_auth | Entwicklung und Untersuchung von oberflächenmikromechanischen Relais für die Anwendung in der Hochfrequenztechnik |
| title_exact_search | Entwicklung und Untersuchung von oberflächenmikromechanischen Relais für die Anwendung in der Hochfrequenztechnik |
| title_full | Entwicklung und Untersuchung von oberflächenmikromechanischen Relais für die Anwendung in der Hochfrequenztechnik Ignaz Christoph Schiele |
| title_fullStr | Entwicklung und Untersuchung von oberflächenmikromechanischen Relais für die Anwendung in der Hochfrequenztechnik Ignaz Christoph Schiele |
| title_full_unstemmed | Entwicklung und Untersuchung von oberflächenmikromechanischen Relais für die Anwendung in der Hochfrequenztechnik Ignaz Christoph Schiele |
| title_short | Entwicklung und Untersuchung von oberflächenmikromechanischen Relais für die Anwendung in der Hochfrequenztechnik |
| title_sort | entwicklung und untersuchung von oberflachenmikromechanischen relais fur die anwendung in der hochfrequenztechnik |
| topic | Relais (DE-588)4049354-4 gnd Hochfrequenztechnik (DE-588)4025202-4 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd |
| topic_facet | Relais Hochfrequenztechnik Mikromechanik Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008653834&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT schieleignazchristoph entwicklungunduntersuchungvonoberflachenmikromechanischenrelaisfurdieanwendunginderhochfrequenztechnik |