Advanced interconnects and contact materials and processes for future integrated circuits: symposium held April 13 - 16, 1998, San Francisco, California, U.S.A.
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Warrendale, Pa. Materials Research Soc. 1998
Schriftenreihe:Materials Research Society: Materials Research Society symposia proceedings 514
Schlagworte:
Beschreibung:XVI, 560 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:1558994203

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