Chemical vapor deposition of refractory metals and ceramics III: symposium held November 28 - 30, 1994, Boston, Massachusetts, U.S.A.
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Pittsburgh, Pa. Materials Research Soc. 1996
Ausgabe:2. printing
Schriftenreihe:Materials Research Society: Materials Research Society symposia proceedings 363
Schlagworte:
Beschreibung:XI, 284 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:1558992642

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