APA (7th ed.) Citation

Hilleringmann, U. (1999). Silizium-Halbleitertechnologie (2., überarb. und erw. Aufl.). Teubner.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. 2., überarb. und erw. Aufl. Stuttgart u.a: Teubner, 1999.

MLA (9th ed.) Citation

Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. 2., überarb. und erw. Aufl. Teubner, 1999.