Hilleringmann, U. (1999). Silizium-Halbleitertechnologie (2., überarb. und erw. Aufl.). Teubner.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. 2., überarb. und erw. Aufl. Stuttgart u.a: Teubner, 1999.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. 2., überarb. und erw. Aufl. Teubner, 1999.
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