Abscheidung superharter Schichten aus dem ternären System B, C und N mit einem HF-PLD-Hybridverfahren:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Klotzbücher, Thomas (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Aachen Shaker 1999
Ausgabe:Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:Berichte aus der Lasertechnik
Schlagworte:
Beschreibung:Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1999
Beschreibung:III, 175 S. Ill.
ISBN:3826563719

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