UV-Interferometrie:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
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1999
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I
INHALTSVERZEICHNIS:
1
EINLEITUNG
.
1
1.1
MOTIVATION
.
1
1.2
INHALTSUEBERSICHT
.
2
2
AUFLOESUNGSGRENZEN
DER
INTERFEROMETRISCHEN
MESSTECHNIK
.
4
2.1
LATERALES
AUFLOESUNGSVERMOEGEN
EINES
INTERFEROMETERS
.
5
2.2
VERTIKALES
AUFLOESUNGSVERMOEGEN
EINES
INTERFEROMETERS
.
7
2.3
INTERFEROMETRISCHES
AUFLOESUNGSVERMOEGEN
BEI
DER
VERMESSUNG
BINAERER
GITTER
.
3
UV-LICHT
IN
DER
OPTISCHEN
MESSTECHNIK
PROBLEME-LOESUNGEN-TECHNOLOGIEN
.
15
3.1
EXCIMERLASER
ALS
LICHTQUELLE
FUER
PHASENSCHIEBENDE
INTERFEROMETRIE
.
15
3.1.1
YYBEAM
MANAGEMENT
"
DER
EXCIMERLASER
STRAHLUNG
.
16
3.1.2
RAEUMLICHE
KOHAERENZ
DES
EXCIMERLASERS
.
19
3.1.3
ZEITLICHE
KOHAERENZ
DES
EXCIMERLASERS
.
25
3.1.4
SCHWANKUNGEN
DER
PULSENERGIE
.
28
3.2
DEUTERIUMLAMPE
ALS
UV-WEISSLICHTQUELLE
.
3.3
ICCD
TECHNOLOGIE
ZUR
DETEKTION
VON
UV-WELLENLAENGEN
.
$
3.4
REFRAKTIVE
UND
REFLEKTIVE
OPTIKEN
FUER
UV-WELLENLAENGEN
.
3.5
SCHUTZGASATMOSPHAERE
FUER
UV-WELLENLAENGEN
.
4
APOCHROMATISCHER
MESSAUFBAU
.
40
4.1
DESIGN
DER
ABBILDENDEN
REFLEXIONSOPTIK
.
40
4.1.1
ANALYTISCHE
BERECHNUNGEN
ZUM
OBJEKTIVDESIGN
MIT
HILFE
DER
SEIDELKOEFFIZIENTEN
.
41
4.1.2
NUMERISCHE
BERECHNUNGEN
ZUM
OBJEKTIVDESIGN
MIT
HILFE
VON RAYTRACE
.
44
4.1.3
WELLENLAENGENABHAENGIGKEIT
DER
ABBILDUNGSOPTIK
.
48
U
4.2
AUFLICHTINTERFEROMETTIE
MIT
DEM
SCHULZ-MINOR
INTERFEROMETERKOPF
.
50
4.2.1
FUNKTIONSPRINZIP
DES
INTERFEROMETERS
.
50
4.2.2
ABBILDUNG
ZUM
OBJEKT
OPTISCH
KONJUNGIERTER
EBENEN
-
IMMATERIELLE
REFERENZFLAECHEN
.
53
4.2.3
KONTRAST
DER
INTERFERENZSTREIFEN
.
55
4.2.4
INTENSITAETSVERLUSTE
DURCH
VIELFACHREFLEXIONEN
.
57
4.3
JUSTAGE
DES
INTERFEROMETERS
.
60
4.3.1
ABGLEICH
DER
REFERENZSTRAHLEN
MIT
HILFE
VON
BREWSTERSTREIFEN
.
60
4.3.1.1
ENTSTEHUNG
DER
BREWSTERSTREIFEN
.
60
4.3.1.2
JUSTAGE
MIT
HILFE
DER
BREWSTERSTREIFEN
.
61
4.3.1.3
BREWSTERSTREIFEN
BEI
DER
VERKIPPUNG
EINER
KEILFREIEN
STRAHLTEILERPLATTE
.
61
4.3.1.4
KORREKTUR
EINES
KEILS
DER
STRAHLTEILERPLATTE
.
65
4.3.2
ABGLEICH
DER
ZEITLICHEN
UND
RAEUMLICHEN
KOHAERENZ
.
66
4.3.2.1
ABGLEICH
VON
ZEITLICHER
UND
RAEUMLICHER
KOHAERENZ
BEIM
SCHULZ-MINOR
INTERFEROMETER
.
66
4.3.2.2
KONTRASTVERLUST
BEI
DEJUSTIERUNG
DES
SPIEGELS
ENDANG
DER
OPTISCHEN
ACHSE
.
68
4.3.3
FOKUSSIERUNG
DES
OBJEKTS
.
70
4.4
PHOTOMETRISCHE
BETRACHTUNG
DES
INTERFEROMETERS
.
73
4.4.1
LICHDEISTUNGSVERLUSTE
AUFGRUND
DER
RAEUMLICHEN
AUSDEHNUNG
DER
LICHTQUELLE
.
73
4.4.2
ENERGIE
UND
INTENSITAETSBILANZ
DES
GESAMTSYSTEMS
.
75
4.5
EXPERIMENTELLE
REALISIERUNG
DES
MESSAUFBAUS
.
77
5
AUSWERTUNG
VON
MESSUNGEN
.
82
5.1
INTERFEROGRAMMAUSWERTUNG
MIT
ZEITLICHEM
PHASENSCHIEBEN
.
83
5.2
INTERFEROGRAMMAUSWERTUNG
DURCH
DIREKTE
STREIFENAUSWERTUNG
.
89
5.3
WEISSLICHTINTERFEROMETRIE
ALS
EIN
ALTERNATIVES
VERFAHREN
ZUR
BESTIMMUNG
DER
PHASE
.
93
6
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
.
96
III
7
AUSBUCK
.
102
ANHANG
.
105
A
ABERRATIONSBERECHNUNG
MIT
HILFE
DES
SCHWARZSCHILD
EIKONALS
.
105
A.I
SCHWARZSCHILD
EIKONAL
UND
SEIDELKOEFFIZIENTEN
.
105
A.II
SEIDELKOEFFIZIENTEN
EINER
REFLEXIONSOPTIK
.
109
A.III
BERECHNUNG
DER
TRANSVERSALABERRATIONEN
AUS
DEN
SEIDELKOEFFIZIENTEN
.
110
A.IV
ABERRATIONSKOEFFIZIENTEN
EINES
SPIEGELOBJEKTIVS
.
111
B
ZUR
ENTSTEHUNG
DER
BREWSTERSTREIFEN
-
EINE
3-DIMENSIONALE
BETRACHTUNG
.
115
UTERATURVERZEICHNIS
.
120
EIGENE
VEROEFFENTLICHUNGEN
UND
TAGUNGSBEITRAEGE
.
123
DANKSAGUNG
.
124
LEBENSLAUF
.
125 |
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