APA (7th ed.) Citation

Schumacher, A. (1999). Untersuchung des laserunterstützten Naß- und Trockenätzens von Silizium zur Herstellung dreidimensionaler Mikrostrukturen (Als Ms. gedr.). Shaker.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Schumacher, Axel. Untersuchung Des Laserunterstützten Naß- Und Trockenätzens Von Silizium Zur Herstellung Dreidimensionaler Mikrostrukturen. Als Ms. gedr. Aachen: Shaker, 1999.

MLA (9th ed.) Citation

Schumacher, Axel. Untersuchung Des Laserunterstützten Naß- Und Trockenätzens Von Silizium Zur Herstellung Dreidimensionaler Mikrostrukturen. Als Ms. gedr. Shaker, 1999.