Untersuchung des laserunterstützten Naß- und Trockenätzens von Silizium zur Herstellung dreidimensionaler Mikrostrukturen:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1999
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Mikromechanik
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| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1999 |
| Beschreibung: | 145 S. Ill., graph. Darst. |
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