Reaktor- und Prozeßoptimierung bei der metallorganischen Gasphasenepitaxie von III-V-Verbindungshalbleitern:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1999
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Halbleitertechnik
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1999 |
| Beschreibung: | 187 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3826562135 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV012618091 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20030311 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 990615s1999 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 956573568 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3826562135 |c Pb. : DM 94.00, sfr 94.00, S 659.00 |9 3-8265-6213-5 | ||
| 035 | |a (OCoLC)76063321 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV012618091 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-29 |a DE-29T |a DE-91 | ||
| 084 | |a UP 7550 |0 (DE-625)146434: |2 rvk | ||
| 084 | |a ZN 3460 |0 (DE-625)157317: |2 rvk | ||
| 084 | |a ELT 280d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Dauelsberg, Martin |d 1969- |e Verfasser |0 (DE-588)122507800 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Reaktor- und Prozeßoptimierung bei der metallorganischen Gasphasenepitaxie von III-V-Verbindungshalbleitern |c Martin Dauelsberg |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Aachen |b Shaker |c 1999 | |
| 300 | |a 187 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Berichte aus der Halbleitertechnik | |
| 500 | |a Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1999 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Drei-Fünf-Halbleiter |0 (DE-588)4150649-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Gasphasenepitaxie |0 (DE-588)4156040-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Prozessoptimierung |0 (DE-588)4176074-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Drei-Fünf-Halbleiter |0 (DE-588)4150649-2 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Gasphasenepitaxie |0 (DE-588)4156040-1 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Prozessoptimierung |0 (DE-588)4176074-8 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008570981&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008570981 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1816443409738498048 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
IUE
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
1.1
INHALT
.
2
1.2
BEDEUTUNG
DER
MOVPE
IN
DER
HALBLEITERTECHNOLOGIE
.
3
1.3
GRUNDLAGEN
UND
FUNKTIONSWEISE
VON
MOVPE-REAKTOREN
.
6
1.3.1
BESCHREIBUNG
DER
MOVPE
.
6
1.3.2
REAKTORTYPEN
.
7
1.3.3
WACHSTUMSMECHANISMEN
.
9
1.4
DIE
BEDEUTUNG
DER
PROZESSMODELLIERUNG
.
12
1.5
LITERATURUEBERBLICK
UND
STAND
DER
ARBEITEN
.
13
1.5.1
FRUEHERE
ARBEITEN
.
13
1.5.2
VEREINFACHTE
TRANSPORTMODELLE
.
13
1.5.3
NUMERISCHE
TRANSPORTMODELLE
.
14
1.5.4
STRAHLUNGSMODELLE
.
16
1.5.5
CHEMISCHE
MODELLE
.
18
2
DAS
MATHEMATISCHE
MODELL
FUER
DEN
MOVPE-PROZESS
21
2.1
DIE
GRUNDGLEICHUNGEN
FUER
DEN
KONTINUUMSTRANSPORT
.
21
2.1.1
DIE
KONTINUUMSTRANSPORTGLEICHUNGEN
FUER
DIE
STROEMUNG
.
21
2.1.2
DIE
TRANSPORTGLEICHUNGEN
FUER
DEN
MULTIKOMPONENTENSTOFFTRANSPORT
.
23
2.1.3
DIE
BESCHREIBUNG
DER
GASPHASENREAKTIONEN
.
26
2.2
DIE
FORMULIERUNG
DER
RANDBEDINGUNGEN
.
27
2.2.1
EINSTROM
.
27
2.2.2
AUSSTROM
.
28
2.2.3
SYMMETRIELINIE
.
28
2.2.4
FESTE
WAENDE
.
29
2.3
STRAHLUNGSAUSBREITUNG
IN
TRANSPARENTEN
UND
SEMITRANSPARENTEN
GEBIETEN
.
31
2.3.1
EINFUEHRUNG
.
31
2.3.2
DAS
STRAHLUNGSMODELL
FUER
TRANSPARENTE
MEDIEN
MIT
DUENNEN
WAENDEN
33
IV
INHALTSVERZEICHNIS
2.3.3
DAS
STRAHLUNGSMODELL
FUER
SEMITRANSPARENTE
MEDIEN
.
38
2.3.4
DIE
KOPPLUNG
BEIDER
ANSAETZE
.
41
2.4
DIE
ERMITTLUNG
DER
STRAHLUNGSEIGENSCHAFTEN
VON
WAENDEN
UND
GRENZFLAECHEN
44
2.4.1
UNBELEGTE
QUARZWAND
MIT
SPIEGELND
REFLEKTIERENDEN
OBERFLAECHEN
.
.
46
2.4.2
UNBELEGTE
QUARZWAND
MIT
DIFFUS
REFLEKTIERENDEN
OBERFLAECHEN
.
49
2.4.3
QUARZWAND
MIT
EINER
DIELEKTRISCHEN
SCHICHT
AUF
DER
OBERFLAECHE
.
51
2.4.4
QUARZWAND
MIT
EINER
METALLISCHEN
SCHICHT
AUF
DER
OBERFLAECHE
.
54
2.4.5
DUENNE
DIELEKTRISCHE
SCHICHT
MIT
INTERFERENZEFFEKTEN
.
55
3
NUMERISCHES
LOESUNGSVERFAHREN
61
3.1
DISKRETISIERUNG
.
61
3.2
LOESUNGSALGORITHMUS
.
63
3.3
RANDBEDINGUNGEN
.
65
4
ERGEBNISSE
DER
WAERMEUEBERTRAGUNGSBERECHNUNGEN
69
4.1
EINFUEHRUNG
.
69
4.2
BERECHNUNGEN
IN
EINEM
VERTIKALREAKTOR
.
70
4.3
AUFBAU
UND
FUNKTIONSWEISE
DES
PLANETEN-REAKTORS
.
72
4.4
EFFEKTE
AUF
DIE
DECKENWANDTEMPERATUR
IM
PLANETEN-REAKTOR
.
74
4.4.1
DECKENWANDKUEHLUNG
.
74
4.4.2
WANDSTAERKE
.
77
4.4.3
SUSZEPTORBELEGUNG
.
77
4.4.4
AS-KONDENSATE
.
79
4.4.5
DUENNE
HALBLEITERSCHICHTEN
MIT
INTERFERENZEFFEKTEN
.
81
4.5
EFFEKTE
AUF
DIE
EINLASSTEMPERATUREN
IM
PLANETEN-REAKTOR
.
83
4.5.1
DIE
STRAHLUNGSUEBERTRAGUNG
UND
-ABSORPTION
IM
INJEKTOR
.
84
4.5.2
DER
EINFLUSS
VON
SCHICHTEN
AUF
DER
INJEKTOR-OBERFLAECHE
.
87
4.6
AUSWIRKUNGEN
DER
TEMPERATURVERAENDERUNGEN
AUF
DAS
SCHICHTWACHSTUM
.
.
91
INHALTSVERZEICHNIS
V
5
PROZESSOPTIMIERUNG
IN
EINEM
MULTIWAFER-REAKTOR
97
5.1
EINFUEHRUNG
.
97
5.2
DIE
ZERLEGUNGSKINETIK
DER
MOVPE-AUSGANGSSTOFFE
.
98
5.2.1
ZERLEGUNGSKINETIK
VON
TRIMETHYLGALLIUM
.
98
5.2.2
ZERLEGUNGSKINETIK
VON
TRIMETHYLINDIUM
.
101
5.2.3
ZERLEGUNGSKINETIK
VON
ARSIN
UND
PHOSPHIN
.
103
5.2.4
GEMEINSAME
ZERLEGUNG
VON
ASHA
UND
TMG
SOWIE
PH3
UND
TMI
.
105
5.2.5
ZERLEGUNGSKINETIK
VON
TERTIAERBUTYLPHOSPHIN
.
105
5.3
REAKTIONS
UND
WACHSTUMSMODELL
FUER
DIE
MOVPE
VON
ALGAAS
UND
GALNP
109
5.3.1
GAAS
UND
ALGAAS
.
109
5.3.2
GALNP
.
111
5.4
ERMITTLUNG
HETEROGENER
REAKTIONSKONSTANTEN
.
112
5.5
ANALYSE
DER
PROZESSPARAMETERABHAENGIGKEITEN
IM
PLANETENREAKTOR
.
118
5.6
EINFLUSSFAKTOREN
AUF
DIE
ZUSAMMENSETZUNG
VON
GAI-A-IN^P
.
129
6
DREIDIMENSIONALE
TRANSPORTPHAENOMENE
135
6.1
EINFUEHRUNG
.
135
6.2
DREIDIMENSIONALE
TRANSPORTPHAENOMENE
IM
PLANETEN-REAKTOR
.
135
6.3
EFFEKT
DER
SATELLITEN
UND
SUSZEPTORROTATION
.
137
6.4
EFFEKT
DER
NICHT
ROTATIONSSYMMETRISCHEN
EINLASSGEOMETRIE
.
147
7
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
155
ANHANG
158
A
DIE
BESTIMMUNG
DER
TRANSPORTKOEFFLZIENTEN
159
A.L
DIE
CHAPMAN-ENSKOG-FORMELN
.
159
A.2
DIE
TRANSPORTKOEFFIZIENTEN
FUER
GASGEMISCHE
.
160
A.3
DIE
BESTIMMUNG
DER
DIFFUSIONS
UND
THERMODIFFUSIONSKOEFFIZIENTEN
.
161
B
TRANSPORTEIGENSCHAFTEN
DER
GASVERBINDUNGEN
163
C
VALIDIERUNG
DER
IMPLEMENTATION
167
LITERATURVERZEICHNIS
173 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Dauelsberg, Martin 1969- |
| author_GND | (DE-588)122507800 |
| author_facet | Dauelsberg, Martin 1969- |
| author_role | aut |
| author_sort | Dauelsberg, Martin 1969- |
| author_variant | m d md |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV012618091 |
| classification_rvk | UP 7550 ZN 3460 |
| classification_tum | ELT 280d |
| ctrlnum | (OCoLC)76063321 (DE-599)BVBBV012618091 |
| discipline | Physik Elektrotechnik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV012618091</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20030311</controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">990615s1999 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">956573568</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3826562135</subfield><subfield code="c">Pb. : DM 94.00, sfr 94.00, S 659.00</subfield><subfield code="9">3-8265-6213-5</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76063321</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV012618091</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UP 7550</subfield><subfield code="0">(DE-625)146434:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 3460</subfield><subfield code="0">(DE-625)157317:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 280d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Dauelsberg, Martin</subfield><subfield code="d">1969-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)122507800</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Reaktor- und Prozeßoptimierung bei der metallorganischen Gasphasenepitaxie von III-V-Verbindungshalbleitern</subfield><subfield code="c">Martin Dauelsberg</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">1999</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">187 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Berichte aus der Halbleitertechnik</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1999</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Drei-Fünf-Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150649-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Gasphasenepitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4156040-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Prozessoptimierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4176074-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Drei-Fünf-Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150649-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Gasphasenepitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4156040-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Prozessoptimierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4176074-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008570981&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008570981</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV012618091 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-11-22T17:10:26Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3826562135 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008570981 |
| oclc_num | 76063321 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29 DE-29T DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-29 DE-29T DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | 187 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1999 |
| publishDateSearch | 1999 |
| publishDateSort | 1999 |
| publisher | Shaker |
| record_format | marc |
| series2 | Berichte aus der Halbleitertechnik |
| spelling | Dauelsberg, Martin 1969- Verfasser (DE-588)122507800 aut Reaktor- und Prozeßoptimierung bei der metallorganischen Gasphasenepitaxie von III-V-Verbindungshalbleitern Martin Dauelsberg Als Ms. gedr. Aachen Shaker 1999 187 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berichte aus der Halbleitertechnik Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1999 Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 gnd rswk-swf Gasphasenepitaxie (DE-588)4156040-1 gnd rswk-swf Prozessoptimierung (DE-588)4176074-8 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 s Gasphasenepitaxie (DE-588)4156040-1 s Prozessoptimierung (DE-588)4176074-8 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008570981&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Dauelsberg, Martin 1969- Reaktor- und Prozeßoptimierung bei der metallorganischen Gasphasenepitaxie von III-V-Verbindungshalbleitern Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 gnd Gasphasenepitaxie (DE-588)4156040-1 gnd Prozessoptimierung (DE-588)4176074-8 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4150649-2 (DE-588)4156040-1 (DE-588)4176074-8 (DE-588)4113937-9 |
| title | Reaktor- und Prozeßoptimierung bei der metallorganischen Gasphasenepitaxie von III-V-Verbindungshalbleitern |
| title_auth | Reaktor- und Prozeßoptimierung bei der metallorganischen Gasphasenepitaxie von III-V-Verbindungshalbleitern |
| title_exact_search | Reaktor- und Prozeßoptimierung bei der metallorganischen Gasphasenepitaxie von III-V-Verbindungshalbleitern |
| title_full | Reaktor- und Prozeßoptimierung bei der metallorganischen Gasphasenepitaxie von III-V-Verbindungshalbleitern Martin Dauelsberg |
| title_fullStr | Reaktor- und Prozeßoptimierung bei der metallorganischen Gasphasenepitaxie von III-V-Verbindungshalbleitern Martin Dauelsberg |
| title_full_unstemmed | Reaktor- und Prozeßoptimierung bei der metallorganischen Gasphasenepitaxie von III-V-Verbindungshalbleitern Martin Dauelsberg |
| title_short | Reaktor- und Prozeßoptimierung bei der metallorganischen Gasphasenepitaxie von III-V-Verbindungshalbleitern |
| title_sort | reaktor und prozeßoptimierung bei der metallorganischen gasphasenepitaxie von iii v verbindungshalbleitern |
| topic | Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 gnd Gasphasenepitaxie (DE-588)4156040-1 gnd Prozessoptimierung (DE-588)4176074-8 gnd |
| topic_facet | Drei-Fünf-Halbleiter Gasphasenepitaxie Prozessoptimierung Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008570981&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT dauelsbergmartin reaktorundprozeßoptimierungbeidermetallorganischengasphasenepitaxievoniiivverbindungshalbleitern |