Elektrische Eigenschaften von MOCVD-Tantalpentoxid in Mehrschicht-Dielektrika:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Aachen
Shaker
1999
|
| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Erlanger Berichte Mikroelektronik
1999,2 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1999. - Zsfassung in engl. Sprache |
| Physical Description: | III, 155 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3826561333 |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV012582660 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20160718 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 990525s1999 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 956411231 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3826561333 |c Pb. : DM 94.00, sfr 94.00, S 659.00 |9 3-8265-6133-3 | ||
| 035 | |a (OCoLC)76057581 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV012582660 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-29 |a DE-29T |a DE-91 | ||
| 084 | |a UP 4600 |0 (DE-625)146402: |2 rvk | ||
| 084 | |a UP 7570 |0 (DE-625)146436: |2 rvk | ||
| 084 | |a ZM 7680 |0 (DE-625)160562: |2 rvk | ||
| 084 | |a ZN 3460 |0 (DE-625)157317: |2 rvk | ||
| 084 | |a ZN 3480 |0 (DE-625)157320: |2 rvk | ||
| 084 | |a ELT 075d |2 stub | ||
| 084 | |a ELT 280d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Roth, Harald |d 1966- |e Verfasser |0 (DE-588)121327647 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Elektrische Eigenschaften von MOCVD-Tantalpentoxid in Mehrschicht-Dielektrika |c Harald Roth |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Aachen |b Shaker |c 1999 | |
| 300 | |a III, 155 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Erlanger Berichte Mikroelektronik |v 1999,2 | |
| 500 | |a Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1999. - Zsfassung in engl. Sprache | ||
| 650 | 0 | 7 | |a MOCVD-Verfahren |0 (DE-588)4314628-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mehrschichtsystem |0 (DE-588)4244347-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Tantalpentoxid |0 (DE-588)4327320-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dielektrische Eigenschaft |0 (DE-588)4149718-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dielektrikum |0 (DE-588)4149716-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Tantalpentoxid |0 (DE-588)4327320-8 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a MOCVD-Verfahren |0 (DE-588)4314628-4 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Dielektrikum |0 (DE-588)4149716-8 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Mehrschichtsystem |0 (DE-588)4244347-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Tantalpentoxid |0 (DE-588)4327320-8 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a MOCVD-Verfahren |0 (DE-588)4314628-4 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Dielektrische Eigenschaft |0 (DE-588)4149718-1 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Erlanger Berichte Mikroelektronik |v 1999,2 |w (DE-604)BV010300264 |9 1999,2 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008545651&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008545651 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804127233122500608 |
|---|---|
| any_adam_object | 1 |
| author | Roth, Harald 1966- |
| author_GND | (DE-588)121327647 |
| author_facet | Roth, Harald 1966- |
| author_role | aut |
| author_sort | Roth, Harald 1966- |
| author_variant | h r hr |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV012582660 |
| classification_rvk | UP 4600 UP 7570 ZM 7680 ZN 3460 ZN 3480 |
| classification_tum | ELT 075d ELT 280d |
| ctrlnum | (OCoLC)76057581 (DE-599)BVBBV012582660 |
| discipline | Physik Elektrotechnik Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02511nam a2200601 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV012582660</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20160718 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">990525s1999 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">956411231</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3826561333</subfield><subfield code="c">Pb. : DM 94.00, sfr 94.00, S 659.00</subfield><subfield code="9">3-8265-6133-3</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76057581</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV012582660</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UP 4600</subfield><subfield code="0">(DE-625)146402:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UP 7570</subfield><subfield code="0">(DE-625)146436:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZM 7680</subfield><subfield code="0">(DE-625)160562:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 3460</subfield><subfield code="0">(DE-625)157317:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 3480</subfield><subfield code="0">(DE-625)157320:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 075d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 280d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Roth, Harald</subfield><subfield code="d">1966-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)121327647</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Elektrische Eigenschaften von MOCVD-Tantalpentoxid in Mehrschicht-Dielektrika</subfield><subfield code="c">Harald Roth</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">1999</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">III, 155 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Erlanger Berichte Mikroelektronik</subfield><subfield code="v">1999,2</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1999. - Zsfassung in engl. Sprache</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">MOCVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4314628-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mehrschichtsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4244347-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Tantalpentoxid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4327320-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dielektrische Eigenschaft</subfield><subfield code="0">(DE-588)4149718-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dielektrikum</subfield><subfield code="0">(DE-588)4149716-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Tantalpentoxid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4327320-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">MOCVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4314628-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Dielektrikum</subfield><subfield code="0">(DE-588)4149716-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Mehrschichtsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4244347-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Tantalpentoxid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4327320-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">MOCVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4314628-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Dielektrische Eigenschaft</subfield><subfield code="0">(DE-588)4149718-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Erlanger Berichte Mikroelektronik</subfield><subfield code="v">1999,2</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV010300264</subfield><subfield code="9">1999,2</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008545651&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008545651</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV012582660 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T18:30:05Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3826561333 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008545651 |
| oclc_num | 76057581 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29 DE-29T DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-29 DE-29T DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | III, 155 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1999 |
| publishDateSearch | 1999 |
| publishDateSort | 1999 |
| publisher | Shaker |
| record_format | marc |
| series | Erlanger Berichte Mikroelektronik |
| series2 | Erlanger Berichte Mikroelektronik |
| spelling | Roth, Harald 1966- Verfasser (DE-588)121327647 aut Elektrische Eigenschaften von MOCVD-Tantalpentoxid in Mehrschicht-Dielektrika Harald Roth Als Ms. gedr. Aachen Shaker 1999 III, 155 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Erlanger Berichte Mikroelektronik 1999,2 Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1999. - Zsfassung in engl. Sprache MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 gnd rswk-swf Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd rswk-swf Tantalpentoxid (DE-588)4327320-8 gnd rswk-swf Dielektrische Eigenschaft (DE-588)4149718-1 gnd rswk-swf Dielektrikum (DE-588)4149716-8 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Tantalpentoxid (DE-588)4327320-8 s MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 s Dielektrikum (DE-588)4149716-8 s Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 s DE-604 Dielektrische Eigenschaft (DE-588)4149718-1 s Erlanger Berichte Mikroelektronik 1999,2 (DE-604)BV010300264 1999,2 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008545651&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Roth, Harald 1966- Elektrische Eigenschaften von MOCVD-Tantalpentoxid in Mehrschicht-Dielektrika Erlanger Berichte Mikroelektronik MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 gnd Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd Tantalpentoxid (DE-588)4327320-8 gnd Dielektrische Eigenschaft (DE-588)4149718-1 gnd Dielektrikum (DE-588)4149716-8 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4314628-4 (DE-588)4244347-7 (DE-588)4327320-8 (DE-588)4149718-1 (DE-588)4149716-8 (DE-588)4113937-9 |
| title | Elektrische Eigenschaften von MOCVD-Tantalpentoxid in Mehrschicht-Dielektrika |
| title_auth | Elektrische Eigenschaften von MOCVD-Tantalpentoxid in Mehrschicht-Dielektrika |
| title_exact_search | Elektrische Eigenschaften von MOCVD-Tantalpentoxid in Mehrschicht-Dielektrika |
| title_full | Elektrische Eigenschaften von MOCVD-Tantalpentoxid in Mehrschicht-Dielektrika Harald Roth |
| title_fullStr | Elektrische Eigenschaften von MOCVD-Tantalpentoxid in Mehrschicht-Dielektrika Harald Roth |
| title_full_unstemmed | Elektrische Eigenschaften von MOCVD-Tantalpentoxid in Mehrschicht-Dielektrika Harald Roth |
| title_short | Elektrische Eigenschaften von MOCVD-Tantalpentoxid in Mehrschicht-Dielektrika |
| title_sort | elektrische eigenschaften von mocvd tantalpentoxid in mehrschicht dielektrika |
| topic | MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 gnd Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd Tantalpentoxid (DE-588)4327320-8 gnd Dielektrische Eigenschaft (DE-588)4149718-1 gnd Dielektrikum (DE-588)4149716-8 gnd |
| topic_facet | MOCVD-Verfahren Mehrschichtsystem Tantalpentoxid Dielektrische Eigenschaft Dielektrikum Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008545651&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV010300264 |
| work_keys_str_mv | AT rothharald elektrischeeigenschaftenvonmocvdtantalpentoxidinmehrschichtdielektrika |