Verfügbarkeit: Elektrische Eigenschaften von MOCVD-Tantalpentoxid in Mehrschicht-Dielektrika

Elektrische Eigenschaften von MOCVD-Tantalpentoxid in Mehrschicht-Dielektrika:

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Roth, Harald 1966- (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 1999
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Erlanger Berichte Mikroelektronik 1999,2
Schlagworte:	MOCVD-Verfahren Mehrschichtsystem Tantalpentoxid Dielektrische Eigenschaft Dielektrikum Hochschulschrift
Online-Zugang:	Inhaltsverzeichnis
Beschreibung:	Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1999. - Zsfassung in engl. Sprache
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ISBN:	3826561333

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