Reaktionen, Zwischenprodukte und Verfahren zur Herstellung von amorphen Si 3 N 4-Pulvern durch Umsetzung von SiCl 4 mit NH 3 in der Gasphase:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Freiberg
TU Bergakad.
1999
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Freiberger Forschungshefte
C ; 477 |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
7
2
EIGENSCHAFTEN
UND
ANWENDUNGSGEBIETE
VON
SILICIUMNITRID
10
2.1
FESTE
PHASEN
IM
SYSTEM
SI-N
10
2.2
EIGENSCHAFTEN
UND
REAKTIONEN
VON
SILICIUMNITRID
12
2.3
ANWENDUNGEN
15
3
SYNTHESEWEGE
UND
CHARAKTERISTIKA
VON
SI-NH-(CI)-VERBINDUNGEN
18
4
VERFAHREN
ZUR
HERSTELLUNG
VON
SILICIUMNITRID
22
4.1
KLASSISCHE
VERFAHREN
22
4.1.1
DIREKTNITRIDIERUNG
22
4.1.2
CARBOTHERMISCHE
REDUKTION
25
4.2
NEUE
PROZESSE
28
4.2.1
DIIMIDVERFAHREN
28
4.2.2
PRECURSORSYNTHESE
UND
-PYROLYSE
32
4.2.3
PLASMAPROZESSE
35
5
CHARAKTERISTIKA
VON
GASPHASENPROZESSEN
38
5.1
ALLGEMEINES
38
5.2
DIE
SIO
2
/TIO
2
HERSTELLUNG
41
5.3
DIE
HERSTELLUNG
VON
GASRUSS
45
5.4
VERFAHRENSVORSCHLAEGE
ZUR
HERSTELLUNG
VON
SI
3
N
4
IN
GASPHASENPROZESSEN
46
6
THERMODYNAMISCHE
BETRACHTUNGEN
ZUR
UMSETZUNG
VON
SICL*
MIT
NH
3
IN
DER
GASPHASE
51
7
ERFORDERLICHE
FORSCHUNGSARBEITEN
ZUR
REALISIERUNG
EINES
GASPHASENVERFAHRENS
ZUR
SI
3
N
4
-SYNTHESE
57
8
DIE
UMSETZUNG
VON
SICI
4
MIT
NH
3
BEI
RAUMTEMPERATUR
UND
BEI
300
C
61
8.1
DIE
UMSETZUNG
VON
SICI
4
MIT
NH
3
IN
EINEM
UNBEHEIZTEN
ROHRREAKTOR
61
8.1.1
AUFBAU
DER
VERSUCHSANLAGE
61
8.1.2
ZUSAMMENSETZUNG
UND
CHARAKTERISTIKA
DER
PULVER
62
8.1.3
BILANZIERUNG
DER
UMSETZUNG
64
8.1.4 DIE
UMSETZUNG
VON
SICU
MIT
NH
3
BEI
300
'
C
65
8.2
DAS
THERMISCHE
ABBAUVERHALTEN
UND
DER
PROZESS
DER
ENTCHLORIERUNG
DER
PULVER
66
8.2.1
DAS
ABBAUVERHALTEN
UNTER
THERMOANALYTISCHEN
BEDINGUNGEN
66
8.2.2
DIE
ENTCHLORIERUNG
GROESSERER
PULVERMENGEN
69
8.2.3
CHARAKTERISTIKA
DER
ENTCHLORIERTEN
PULVER
73
8.3
DISKUSSION
76
9
BEI
DER
REAKTION
VON
SICU
MIT
NH
3
IM
TEMPERATURBEREICH
VON
500
BIS
900
C
GEBILDETE
GASFOERMIGE
VERBINDUNGEN
81
9.1
AUFBAU
DES
MASSENSPEKTROMETRISCHEN
MESSSTANDES
81
9.2
IN
DER
GASPHASE
AUFTRETENDE
VERBINDUNGEN
83
9.3
HALBQUANTITATIVE
ANALYSE
DER
IN
DER
GASPHASE
AUFTRETENDEN
VERBINDUNGEN
IN
ABHAENGIGKEIT
VON
REAKTORTEMPERATUR
88
9.4
REAKTIONSWEGE
IN
DER
GASPHASE
89
9.5
DISKUSSION
90
10
ZUSAMMENSETZUNG,
EIGENSCHAFTEN
UND
REAKTIONSVERHALTEN
DER
BEI
DER
UMSETZUNG
VON
SICU
MIT
NH
3
IM
TEMPERATURBEREICH
VON
500
BIS
1200
C
ENTSTEHENDEN PULVER
93
10.1
ALLGEMEINES
93
10.2
DIE
UMSETZUNG
VON
SICU
MIT
NH
3
IN
EINEM
BEHEIZTEN
ROHRREAKTOR
IM
TEMPERATURBEREICH
VON
600
BIS
850
C
96
10.2.1
AUFBAU
DER
VERSUCHSANLAGEN
96
10.2.2
ZUSAMMENSETZUNG
UND
EIGENSCHAFTEN
DER
BEI
REAKTIONS
TEMPERATUR
ABGESCHIEDENEN
PULVER
100
10.2.3
ZUSAMMENSETZUNG
UND
EIGENSCHAFTEN
DER
IN
KALTEN
REAKTORTEILEN
ABGESCHIEDENEN
PULVER
106
10.2.3.1
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG
DER
PULVER
106
4
10.2.3.2
PHYSIKALISCH-CHEMISCHE
EIGENSCHAFTEN
DER
PULVER
112
10.2.3.3
DER
EINSATZ
EINES
BRENNERS
ALS
SYNTHESEREAKTOR
FUER
DIE
HERSTELLUNG
VON
AMORPHEM
SILICIUMNITRID
115
10
3.1
VORBEMERKUNGEN
115
10.3.2
AUFBAU
DER
VERSUCHSAPPARATUR
117
10.3.3
UMSETZUNGEN
IM
TEMPERATURBEREICH
VON
500
C
BIS
1000
C
119
10.3.3.1
PULVERZUSAMMENSETZUNG
UND
SICU-UMSATZ
119
10.3.3.2
CHARAKTERISTIKA
DER
GEBILDETEN
PULVER
128
10.3.4
UMSETZUNGEN
IM
TEMPERATURBEREICH
VON
1000
C
BIS
1200
C
135
10.34.1
VERLAUF
DER
ABGASZUSAMMENSETZUNG
135
10
3.4.2
CHARAKTERISTIKA
DER
PULVER
136
10.3
DISKUSSION
DER
ZUR
PULVERBILDUNG
FUEHRENDEN
REAKTIONSWEGE
UND
DER
EIGENSCHAFTEN
DER
SYNTHESEPRODUKTE
AUS
DER
UMSETZUNG
VON
SICI
4
MIT
NH
3
139
11
DAS
THERMISCHE
ABBAUVERHALTEN
DER
SYNTHESEPRODUKTE
IN
UNTERSCHIEDLICHEN
GASATMOSPHAEREN
145
11.1
VORBEMERKUNGEN
145
11.2
ERGEBNISSE
THERMOGRAVIMETRISCHEN
UNTERSUCHUNGEN
145
112
1
DAS
ABBAUVERHALTEN
IM
N
2
/NH
3
-
UND
IM
AR/NH
3
-GASSTROM
145
11.2.2
DAS
ABBAUVERHALTEN
IN
EINEM
TROCKENEN
LUFTSTROM
148
11.2.3
DAS
ABBAUVERHALTEN
IN
GEGENWART
VON
SICI
149
11.3
DIE
ENTCHLORIERUNG
GROESSERER
PULVERMENGEN
IM
N
2
-
UND
IM
NH
3
-GASSTROM
150
11.3.1
EXPERIMENTELLES
150
11.32
DER
VERLAUF
DER
CHLORIDABREICHERUNG
IM
N
2
-GASSTROM
151
11.3.3
DER
VERLAUF
DER
CHLORIDABREICHERUNG
IM
NH
3
-GASSTROM
156
11.4
DISKUSSION
158
12
SPEZIELLE
EIGENSCHAFTEN
THERMISCH
ENTCHLORIERTER
SYNTHESE
PRODUKTE
162
5
12.1
ERGEBNISSE
DER
UNTERSUCHUNGEN
ZUM
ADSORPTIONSVERMOEGEN
DER
PULVER
162
12.1.1
DAS
VERHALTEN
DER
PULVER
GEGENUEBER
NH
3
162
12.12
DAS
VERHALTEN
DER
PULVER
GEGENUEBER
CO
2
166
12.1.3
DAS
VERHALTEN
DER
PULVER
GEGENUEBER
SO
2
168
12.1.4
ERGEBNISSE
MASSENSPEKTROMETRISCHER
UNTERSUCHUNGEN
VON
ADSORPTIONSPROZESSEN
170
12.2
ERSTE
ERGEBNISSE
VON
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
KATALYTISCHEN
AKTIVITAET
172
12.3
DISKUSSION
174
13
DER
EINSATZ
VON
TRICHLORMETHYLSILAN
ZUR
HERSTELLUNG
VON
AMORPHEM
SILICIUMNITRID
176
13.1
ALLGEMEINES
176
13.2
ZUSAMMENSETZUNG
UND
EIGENSCHAFTEN
DER
SYNTHESEPRODUKTE
177
13.3
ERGEBNISSE
MASSENSPEKTROMETRISCHER
ABGASANALYSEN
180
13.4
DISKUSSION
182
14
VORTEILHAFTE
SYNTHESEBEDINGUNGEN
FUER
DIE
HERSTELLUNG
VON
AMORPHEM
SILICIUMNITRID
DURCH
DIE
UMSETZUNG
VON
SICU
MIT
NH
3
IN
EINEM
GASPHASENVERFAHREN
184
15
ABLEITUNG
EINER
ALLGEMEINEN
VORGEHENSWEISE
FUER
DIE
UNTERSUCHUNG
VON
GASPHASENREAKTIONEN
ZUR
SYNTHESE
VON
NITRIDISCHEN
PULVERN
191
16
ZUSAMMENFASSUNG
196
17
LITERATURVERZEICHNIS
200
6 |
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| spellingShingle | Ziegenbalg, Gerald Reaktionen, Zwischenprodukte und Verfahren zur Herstellung von amorphen Si 3 N 4-Pulvern durch Umsetzung von SiCl 4 mit NH 3 in der Gasphase Freiberger Forschungshefte Pulver (DE-588)4219041-1 gnd Herstellung (DE-588)4159653-5 gnd Siliciumnitrid (DE-588)4127841-0 gnd |
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