Hochauflösende Tunneldioden-Kryodetektoren:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1998
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INHALTSVERZEICHNIS
UEBERSICHT
III
1
EINLEITUNG
UND
MOTIVATION
1
1.1
ROENTGEN-FLUORESZENZSPEKTROSKOPIE
.
2
1.1.1
ROENTGEN-FLUORESZENZANALYSE
IM
ELEKTRONENMIKROSKOP
.
2
1.1.2
EINSATZMOEGLICHKEITEN
KRYOGENER
DETEKTOREN
.
3
2
GRUNDLAGEN
SUPRALEITENDER
TUNNELKONTAKTE
5
2.1
SUPRALEITUNG
.
5
2.1.1
BESCHREIBUNG
DER
SUPRALEITENDEN
PHASE
.
5
2.1.2
SUPRALEITENDE
TUNNELKONTAKTE
.
11
2.2
SUPRALEITENDE
TUNNELDIODEN
ALS
STRAHLUNGSDETEKTOREN
.
15
2.2.1
SIGNALENTSTEHUNG:
STRAHLUNGSABSORPTION
IN
EINEM
SUPRALEITER
.
16
2.2.2
EINZELNE
TUNNELDIODEN-KRYODETEKTOREN
.
17
2.2.3
LADUNGSAUSBEUTE
EINER
SUPRALEITENDEN
TUNNELDIODE
.
23
2.2.4
QUASITEILCHENDIFFUSION
UND
-EINFANG:
TUNNELDIODEN-KRYODETEKTOREN
MIT
ZWEI
SUPRALEITENDEN
TUNNELDIODEN
UND
EINEM
SUPRALEITENDEN
ABSORBER
.
28
3
BESCHREIBUNG
DER
HERSTELLUNGSPROZESSE
UND
DER
PROZESSANLAGEN
32
3.1
HERSTELLUNG
DER
SUPRALEITENDEN
FILME
.
33
3.1.1
BESCHREIBUNG
UND
ERWEITERUNG
DER
AUFDAMPFANLAGEN
.
33
3.1.2
HERSTELLUNG
SUPRALEITENDER
FILME
HOHER
QUALITAET
.
37
3.2
CHARAKTERISIERUNG
DER
HERGESTELLTEN
DUENNEN
FILME
.
42
3.2.1
TANTALABSORBER-FILME
.
42
3.2.2
ALUMINIUMFILME
.
43
3.3
REPRODUZIERBARE
ALUMINIUM-TUNNELDIODEN-HERSTELLUNG
.
47
3.3.1
HERSTELLUNG
DER
EINZELNEN
SCHICHTEN
DER
TUNNELDIODE
.
47
3.3.2
TUNNELDIODEN-STRUKTURIERUNG
.
49
3.3.3
ERGEBNISSE
.
49
3.4
NEUE
HERSTELLUNGSPROZESSE
MIT
EINER
ARGON-IONENQUELLE
.
50
3.4.1
REINIGUNG
VON
OXIDIERTEN
METALLISCHEN
OBERFLAECHEN
.
50
3.4.2
HERSTELLUNG
SENKRECHTER
UND
EXTREM
FLACHER
KANTENPROFILE
DURCH
LONENSTRAHL-ATZEN
.
56
3.5
ZUSAMMENFASSUNG
.
60
4
DETEKTOREN
MIT
SUPRALEITENDEM
ABSORBER
UND
SUPRALEITENDEN
AL/ALXOJI/AL-TUNNELDIODEN
61
4.1
EINFUEHRUNG
.
61
4.2
TUNNELDIODEN-KRYODETEKTOREN
MIT
SUPRALEITENDEM
ALUMINIUMABSORBER
63
4.2.1
SCHEMATISCHER
AUFBAU
UND
HERSTELLUNGSPROZESS
.
63
4.2.2
NACHWEIS
VON
6KEV
ROENTGENQUANTEN
MIT
EINEM
ALUMINIUMABSORBER
DER
LAENGE
S=
2.25
MM
.
64
4.2.3
ZUSAMMENFASSUNG
.
68
4.3
TUNNELDIODEN-KRYODETEKTOREN
MIT
SUPRALEITENDEM
TANTALABSORBER
.
.
69
4.3.1
GEOMETRIE
A:
DETEKTOREN
MIT
AUF
DEM
ABSORBERSTREIFEN
AUFGEBRACHTEN
SUPRALEITENDEN
TUNNELDIODEN
.
69
4.3.2
GEOMETRIE
B:
DETEKTOREN
MIT
SUPRALEITENDEN
TUNNELDIODEN
NEBEN
DEM
ABSORBERSTREIFEN
.
74
4.3.3
ZUSAMMENFASSUNG
.
84
5
HOCHAUFLOESENDER
STRAHLUNGSNACHWEIS
MIT
SUPRALEITENDEN
AL/ALJOY/AL-TUNNELDIODEN
85
5.1
MESSAUFBAU
UND
ROENTGENQUELLE
.
85
5.2
MESSUNG
DER
LADUNGSAUSBEUTE
IN
SYMMETRISCHEN
AL/ALXOY/AL-TUNNELDIODEN
.
86
5.3
HERSTELLUNG
DES
DETEKTORS
UND
IDEE
EINER
PUFFERSCHICHT
.
88
5.3.1
PULSHOEHENSPEKTRUM
EINER
DIREKT
AUF
DAS
SUBSTRAT
AUFGEDAMPFTEN
SUPRALEITENDEN
ALUMINIUM-TUNNELDIODE
.
88
5.3.2
REDUZIERTE
SUBSTRAT-EREIGNISRATE
DURCH
EINE
PUFFERSCHICHT
ZWISCHEN
SUBSTRAT
UND
SUPRALEITENDER
TUNNELDIODE
.
91
5.4
HOCHAUFLOESENDER
NACHWEIS
VON
ROENTGENSTRAHLUNG
.
92
5.5
DISKUSSION
DER
PULSHOEHENSPEKTREN
UND
ZUSAMMENFASSUNG
.
93
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
95
LITERATURVERZEICHNIS
97
DANKSAGUNG
101 |
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