Untersuchungen von Reinheitssystemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin [u.a.]
Springer
1999
|
| Schriftenreihe: | Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung <Stuttgart>: IPA-IAO-Forschung und -Praxis
281 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 123 S. Ill., graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
ABKUERZUNGEN
UND
FORMELZEICHEN
12
1
EINLEITUNG
15
1.1
PROBLEMSTELLUNG
15
1.2
ZIELSETZUNG
UND
VORGEHENSWEISE
17
2
STAND
DER
TECHNIK
18
2.1
BEGRIFFE
UND
DEFINITIONEN
18
2.1.1
PRODUKTIONSSYSTEM
FUER
"REINE"
ANWENDUNGEN
18
2.1.2
REINHEIT
19
2.1.3
PRODUKTUMGEBUNG
19
2.1.4
REINHEITSSYSTEM
19
2.1.5
STANDARD
MECHANICAL
INTERFACE
(SMIF)
20
2.2
HALBLEITERFERTIGUNG
20
2.3
EINGESETZTE
PRODUKTIONSSYSTEME
FUER
"REINE"
ANWENDUNGEN
21
2.4
UEBERPRUEFUNG
DER
PARTIKELREINHEIT
IN
DER
PRODUKTUMGEBUNG
25
3
ANALYSE
VON
PRODUKTIONSSYSTEMEN
FUER
"REINE"
ANWENDUNGEN
UND
ABLEITUNG
VON
ENTWICKLUNGSSCHWERPUNKTEN
26
3.1
ANALYSE
DER
PRODUKTIONSUMGEBUNG
26
3.2
ANALYSE
DER
FERTIGUNGSGERAETE
UND
-ANLAGEN
28
3.3
ANALYSE
DES
TRANSPORTES
ZWISCHEN
DEN
FERTIGUNGSGERAETEN
UND
-ANLAGEN
31
3.4
ANALYSE
DER
QUALIFIZIERUNGSVERFAHREN
33
3.5
ABLEITUNG
VON
ENTWICKLUNGSSCHWERPUNKTEN
35
3.5.1
ANFORDERUNGEN
AN
EIN
"INTEGRALES"
REINHEITSSYSTEM
36
3.5.2
ANFORDERUNGEN
AN
UNTERSUCHUNGSMETHODEN
37
3.5.3
ANFORDERUNGEN
AN
EIN
QUALIFIZIERUNGSVERFAHREN
39
-
10
4
KONZEPTION
EINES
INTEGRALEN
REINHEITSSYSTEMS
41
4.1
BEWERTUNG
EINGESETZTER
"REINER"
PRODUKTIONSSYSTEME
41
4.2
OPTIMIERUNGSANSAETZE
42
4.3
VARIANTEN
DER
REINHEITSSYSTEME
45
5
ENTWICKLUNG
EINES
VERFAHRENS
ZUR
QUALIFIZIERUNG
VON
REINHEITSSYSTEMEN
48
5.1
KONZEPTION
DES
QUALIFIZIERUNGSVERFAHRENS
48
5.2
KOMPONENTEN
DES
QUALIFIZIERUNGSVERFAHRENS
50
5.2.1
MESSTECHNIK
UND
PRODUKTOHERFLAECHEN
50
5.2.2
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
UEBERPRUEFUNG
DER
STATISTISCHEN
RANDBEDINGUNGEN
52
5.2.2.1
EIGENKONTAMINATION
DER
MESSTECHNIK
52
5.2.2.2
BESTIMMUNG
DER
VERTEILUNGSFUNKTION
DER
MESSGROESSEN
54
5.2.3
BESTIMMUNG
DER
GENAUIGKEIT
DER
MESSTECHNIK
55
5.3
ENTWICKLUNG
DES
AUSWERTEALGORITHMUS
57
5.3.1
SOLL-GENAUIGKEIT
DES
QUALIFIZIERUNGSWERTES
(PWP-WERT)
57
5.3.2
ANWENDUNG
DES
ALGORITHMUS
59
5.4
ENTWICKLUNG
EINER
QUALIFIZIERUNGSMETHODE
62
6
ENTWICKLUNG VON KOMPONENTEN
ZUR
STROEMUNGSTECHNISCHEN
AUSLEGUNG
EINES
INTEGRALEN
REINHEITSSYSTEMS
64
6.1
REINHEITSSYSTEMGERECHTE
PRODUKTUEBERGABE
64
6.1.1
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
FESTLEGUNG
DER
DURCHSTROEMRICHTUNG
64
6.1.2
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
AUSWAHL
ANWENDBARER
GLEICHRICHTERTYPEN
65
6.1.3
OPTIMIERUNG
DER
DURCHSTROEMUNG
67
6.1.3.1
UNTERSUCHUNG
PASSIVER
MASSNAHMEN
69
6.1.3.2
BESTIMMUNG
DER
THEORETISCHEN
ZUSAMMENHAENGE
AKTIVER
MASSNAHMEN
70
6.1.3.3
VORGEHENSWEISE
ZUR
AUSLEGUNG
AKTIVER
MASSNAHMEN
74
6.1.3.4
LEITLINIEN
ZUR
AUSLEGUNG
EINER
PRODUKTUEBERGABESTATION
77
-11
-
6.2
ERMITTLUNG
THERMISCHER
EINFLUESSE
AUF
DIE
ERSTLUFTSTROEMUNGSVERHAELTNISSE
77
6.2.1
BESTIMMUNG
DER
THEORETISCHEN
ZUSAMMENHAENGE
78
6.2.2
ENTWICKLUNG
EINER
PRUEFEINRICHTUNG
ZUR
SIMULATION
VON
THERMISCHEN
PROZESSEINFLUESSEN
82
6.2.2.1
REALISIERUNG
"PRUEFMODELL"
UND
MESSTECHNIK
82
6.2.2.2
REALISIERUNG
"PRUEFSTAND"
UND
MESSTECHNIK
83
6.2.23
UEBERPRUEFUNG
DER
THEORETISCHEN
RANDBEDINGUNGEN
DES
AUFBAUS
85
6.2.3
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
BESTIMMUNG
DER
STROEMUNGSSITUATION
87
6.2.4
LEITLINIEN
ZUR
AUSLEGUNG
VON
"
INTEGRALEN"
REINHEITSSYSTEMEN
93
7
UMSETZUNG
UND
ERPROBUNG
AN
PRAXISBEISPIELEN
94
7.1
FERTIGUNGSGERAET
ZUM
REINIGEN
UND
AETZEN
94
7.1.1
ANFORDERUNGEN
AN
DAS
REINHEITSSYSTEM
EINES
FERTIGUNGSGERAETES
ZUM
REINIGEN
UND
AETZEN
94
7.1.2
KONSTRUKTIVER
AUFBAU
DER
REALISIERTEN
LOESUNG
95
7.1.3
UEBERPRUEFUNG
DES
REALISIERTEN
REINHEITSSYSTEMS
100
7.2
FERTIGUNGSANLAGE
ZUM
BELACKEN
UND
ENTWICKELN
104
7.2.1
ANFORDERUNGEN
AN
DAS
REINHEITSSYSTEM
EINER
FLEXIBLEN
FOTOLITHOGRAFISCHEN
FERTIGUNGSANLAGE
105
7.2.2
KONSTRUKTIVER
AUFBAU
DER
REALISIERTEN
LOESUNG
106
7.2.3
UEBERPRUEFUNG
DER
STROEMUNGSVERHAELTNISSE
AM
PROZESSMODUL
ZUM
ERWAERMEN
VON
SUBSTRATEN
108
7.3
DISKUSSION
DER
ANWENDUNGSMOEGLICHKEIT
UND
ERGEBNISSE
110
8
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
111
9
LITERATURVERZEICHNIS
113 |
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