Mikrostruktur und Chemie von Metall-Polyimid-Grenzflächen:
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1997
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1
EINLEITUNG
5
2
GRUNDLAGEN
8
2.1
METALL-POIYMER-GRENZFLAECHEN
8
2.2
PMDA-ODA-POLYIMID
10
2.2.1
HERSTELLUNG
10
2.2.2
WICHTIGE
EIGENSCHAFTEN
12
23
BISHERIGE
ARBEITEN
ZUM
METALL/POLYIMLD
SYSTEM
16
2.3.1
EDELMETALLE
17
2.3.2
REAKTIVE UEBERGANGSMETALLE
19
2.3.3
KUND
CS
20
2.4
ANALYSEMETHODEN
21
2.4.1
XPS
21
2.4.2
NEXAFS
30
2.4.3
TEM
32
2.4.4
AFM
34
3
EXPERIMENTELLES
37
3.1
UHV
APPARATUR
ZUR
IN
SITU
PRAEPARATION
UND
ANALYSE
37
3.2
ANALYSENMETHODEN
38
3.2.1
XPS
38
3.2.2
TEM
43
3.2.3
NEXAFS
45
3.2.4
AFM
46
3.2.5
BESTIMMUNG
VON
HAFTKOEFFIZIENTEN
47
3.3
PROBENPRAEPARATION
48
3.3.1
HERSTELLUNG
DER
PI-SUBSTRATE
48
3.3.2
METALLISIERUNG
50
4
ERGEBNISSE
53
4.1
CHARAKTERISIERUNG
DES
REINEN
SUBSTRATS
53
4.1.1
UNBEHANDELTES
SUBSTRAT
53
4.1.2
THERMISCHE
STABILITAET
OBERHALB
350C
62
4.2
CU/PI
66
4.2.1
MORPHOLOGIE
UND
TIEFENPROFIL
66
4.2.2
CHEMISCHE
WECHSELWIRKUNG
94
4.3
CR/PI
103
4.4
K/PI
116
5
DISKUSSION
UND
VERGLEICH
122
5.1
CU/PI
122
5.1.1
MORPHOLOGIE
DER
CU-PI-GRENZFLAECHE
BEI
RAUMTEMPERATUR
124
5.1.2
MORPHOLOGIE
UND
DIFFUSION
BEI
TEMPERATURBEHANDLUNG
125
5.1.3
MORPHOLOGIE
DER
GRENZFLAECHE
NACH
BEDAMPFUNG
BEI
ERHOEHTER
SUBSTRATTEMPERATUR
127
5.1.4
CHEMISCHE WECHSELWIRKUNG
ZWISCHEN
CU
UND
PI
128
5.1.5
ZUSAMMENFASSUNG
132
5.2PI/CR
133
5.3P1/K
135
5.4
VERGLEICH
CU-CR-K
13
6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
139
7
LITERATURVERZEICHNIS
141
ANHANGA
148 |
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