Physikalische Gasphasenabscheidung von (Oxi-)nitridschichten auf Ti-Basis mit gesteuertem Sektorlichtbogen:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1998
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Physik
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