Das Entwicklungsverhalten komplexer LIGA-Mikrostrukturen:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Zanghellini, Jürgen (VerfasserIn), El-Kholi, Aida 1961- (VerfasserIn), Mohr, Jürgen (VerfasserIn)
Format: Abschlussarbeit Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Karlsruhe FZKA 1998
Ausgabe:Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte 6114
Schlagworte:
Beschreibung:74 S. Ill., graph. Darst.

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