Mikrostrukturierung optischer Glasoberflächen mit Excimer-Laserstrahlung:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1998
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 2]
492 Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | XI, 127 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3183492024 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV012290795 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20220307 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 981203s1998 ad|| mm|| 00||| gerod | ||
| 020 | |a 3183492024 |9 3-18-349202-4 | ||
| 035 | |a (OCoLC)45513783 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV012290795 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91G |a DE-210 |a DE-703 |a DE-634 |a DE-83 | ||
| 084 | |a UH 5750 |0 (DE-625)145705: |2 rvk | ||
| 084 | |a FEI 410d |2 stub | ||
| 084 | |a FER 786d |2 stub | ||
| 084 | |a WER 530d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Wais, Johannes Wolfgang |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Mikrostrukturierung optischer Glasoberflächen mit Excimer-Laserstrahlung |c Johannes Wolfgang Wais |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Düsseldorf |b VDI-Verl. |c 1998 | |
| 300 | |a XI, 127 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 2] |v 492 | |
| 490 | 0 | |a Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen | |
| 502 | |b Dissertation |c Universität Hannover |d 1998 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Excimerlaser |0 (DE-588)4153300-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Laserlithografie |0 (DE-588)4240927-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Maskentechnik |0 (DE-588)4125845-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Optisches Glas |0 (DE-588)4172682-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Optisches Glas |0 (DE-588)4172682-0 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Maskentechnik |0 (DE-588)4125845-9 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Laserlithografie |0 (DE-588)4240927-5 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Excimerlaser |0 (DE-588)4153300-8 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 810 | 2 | |a 2] |t Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI |v 492 |w (DE-604)BV000897203 |9 492 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008333690 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804126916163141632 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Wais, Johannes Wolfgang |
| author_facet | Wais, Johannes Wolfgang |
| author_role | aut |
| author_sort | Wais, Johannes Wolfgang |
| author_variant | j w w jw jww |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV012290795 |
| classification_rvk | UH 5750 |
| classification_tum | FEI 410d FER 786d WER 530d |
| ctrlnum | (OCoLC)45513783 (DE-599)BVBBV012290795 |
| discipline | Physik Werkstoffwissenschaften Fertigungstechnik Feinwerktechnik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01861nam a2200481 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV012290795</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20220307 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">981203s1998 ad|| mm|| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3183492024</subfield><subfield code="9">3-18-349202-4</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)45513783</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV012290795</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91G</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UH 5750</subfield><subfield code="0">(DE-625)145705:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FEI 410d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 786d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">WER 530d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Wais, Johannes Wolfgang</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mikrostrukturierung optischer Glasoberflächen mit Excimer-Laserstrahlung</subfield><subfield code="c">Johannes Wolfgang Wais</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Düsseldorf</subfield><subfield code="b">VDI-Verl.</subfield><subfield code="c">1998</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">XI, 127 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 2]</subfield><subfield code="v">492</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">Dissertation</subfield><subfield code="c">Universität Hannover</subfield><subfield code="d">1998</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Excimerlaser</subfield><subfield code="0">(DE-588)4153300-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Laserlithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4240927-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Maskentechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4125845-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Optisches Glas</subfield><subfield code="0">(DE-588)4172682-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Optisches Glas</subfield><subfield code="0">(DE-588)4172682-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Maskentechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4125845-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Laserlithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4240927-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Excimerlaser</subfield><subfield code="0">(DE-588)4153300-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">2]</subfield><subfield code="t">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI</subfield><subfield code="v">492</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000897203</subfield><subfield code="9">492</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008333690</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV012290795 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T18:25:03Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3183492024 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008333690 |
| oclc_num | 45513783 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91G DE-BY-TUM DE-210 DE-703 DE-634 DE-83 |
| owner_facet | DE-91G DE-BY-TUM DE-210 DE-703 DE-634 DE-83 |
| physical | XI, 127 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1998 |
| publishDateSearch | 1998 |
| publishDateSort | 1998 |
| publisher | VDI-Verl. |
| record_format | marc |
| series2 | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 2] Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen |
| spelling | Wais, Johannes Wolfgang Verfasser aut Mikrostrukturierung optischer Glasoberflächen mit Excimer-Laserstrahlung Johannes Wolfgang Wais Als Ms. gedr. Düsseldorf VDI-Verl. 1998 XI, 127 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 2] 492 Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen Dissertation Universität Hannover 1998 Excimerlaser (DE-588)4153300-8 gnd rswk-swf Laserlithografie (DE-588)4240927-5 gnd rswk-swf Maskentechnik (DE-588)4125845-9 gnd rswk-swf Optisches Glas (DE-588)4172682-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Optisches Glas (DE-588)4172682-0 s Maskentechnik (DE-588)4125845-9 s Laserlithografie (DE-588)4240927-5 s Excimerlaser (DE-588)4153300-8 s DE-604 2] Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI 492 (DE-604)BV000897203 492 |
| spellingShingle | Wais, Johannes Wolfgang Mikrostrukturierung optischer Glasoberflächen mit Excimer-Laserstrahlung Excimerlaser (DE-588)4153300-8 gnd Laserlithografie (DE-588)4240927-5 gnd Maskentechnik (DE-588)4125845-9 gnd Optisches Glas (DE-588)4172682-0 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4153300-8 (DE-588)4240927-5 (DE-588)4125845-9 (DE-588)4172682-0 (DE-588)4113937-9 |
| title | Mikrostrukturierung optischer Glasoberflächen mit Excimer-Laserstrahlung |
| title_auth | Mikrostrukturierung optischer Glasoberflächen mit Excimer-Laserstrahlung |
| title_exact_search | Mikrostrukturierung optischer Glasoberflächen mit Excimer-Laserstrahlung |
| title_full | Mikrostrukturierung optischer Glasoberflächen mit Excimer-Laserstrahlung Johannes Wolfgang Wais |
| title_fullStr | Mikrostrukturierung optischer Glasoberflächen mit Excimer-Laserstrahlung Johannes Wolfgang Wais |
| title_full_unstemmed | Mikrostrukturierung optischer Glasoberflächen mit Excimer-Laserstrahlung Johannes Wolfgang Wais |
| title_short | Mikrostrukturierung optischer Glasoberflächen mit Excimer-Laserstrahlung |
| title_sort | mikrostrukturierung optischer glasoberflachen mit excimer laserstrahlung |
| topic | Excimerlaser (DE-588)4153300-8 gnd Laserlithografie (DE-588)4240927-5 gnd Maskentechnik (DE-588)4125845-9 gnd Optisches Glas (DE-588)4172682-0 gnd |
| topic_facet | Excimerlaser Laserlithografie Maskentechnik Optisches Glas Hochschulschrift |
| volume_link | (DE-604)BV000897203 |
| work_keys_str_mv | AT waisjohanneswolfgang mikrostrukturierungoptischerglasoberflachenmitexcimerlaserstrahlung |