Einfluß elektrischer Parameter auf Vakuumbogenentladungen in PVD-Prozessen:
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1997
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| Beschreibung: | Magdeburg, Univ., Diss., 1997 |
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INHALTSVERZEICHNIS
VERZEICHNIS
DER
VERWENDETEN
FORMELZEICHEN
UND
ABKUERZUNGEN
1
EINLEITUNG
1
2
VAKUUMBOGENVERFAHREN
ZUR
ABSCHEIDUNG
VON
HARTSTOFFSCHICHTEN
2
2.1
EINORDNUNG
IN
DIE
PVD-VERFAHRENSTECHNOLOGIE
2
2.2
AUFBAU
VON
ARC-VERDAMPFERQUELLEN
3
2.3
ARC-VERFAHRENSVARIANTEN
6
2.3.1
DC-ARC-VERFAHREN
6
2.3.1.1
RANDOM-ARC
6
2.3.1.2
STEERED-ARC
8
2.3.1.3
PLASMABEEINFLUSSENDE
VERFAHRENSVARIANTEN
9
2.3.2
PULS-ARC-VERFAHREN
9
2.3.3
VERFAHRENSKOMBINATIONEN
13
2.4
STROMVERSORGUNGEN
FUER
DIE
ARC-TECHNIK
13
2.4.1
DC-STROMQUELLEN
13
2.4.2
PULSSTROMVERSORGUNGEN
17
3
CHARAKTERISIERUNG
DER
VAKUUMBOGENENTLADUNG
19
3.1
DEFINITION
19
3.2
TRIGGERUNG
EINER
ARC-ENTLADUNG
19
3.3
VORGAENGE
AN
DER
ANODE
20
3.4
VORGAENGE
AN
DER
KATODE
21
3.4.1
SPOTDEFINITION
21
3.4.2
SPOTEIGENSCHAFTEN
22
3.4.3
MODELLVORSTELLUNGEN
27
3.4.4
VERLUSTLEISTUNG
30
3.5
BOGENSPANNUNG
31
3.6
WIRKUNGEN
TRANSIENTER
STROEME
32
4
PROBLEMSTELLUNG
33
5
VERWENDETE
EXPERIMENTIER
UND
MESSTECHNIK
34
INHALTSVERZEICHNIS
6
PROZESSANALYSE
BEI
DC-BETRIEB
39
6.1
TRIGGERUNG
DER
ARC-ENTLADUNG
39
6.1.1
MESSBEDINGUNGEN
39
6.1.2
TRIGGERENTLADUNG
40
6.1.3
BOGENZUENDUNG
42
6.1.4
ZUENDWAHRSCHEINLICHKEIT
47
6.1.5
ELEKTRISCHE
PROBLEME
50
6.2
ANALYSE
DER
BOGENSPANNUNG
52
6.2.1
STATISCHE
U-I-KENNLINIE
52
6.2.2
ARBEITSPUNKT
DER
STROMVERSORGUNG
56
6.2.3
ANALYSE
DES
RAUSCHANTEILES
58
6.3
INSTABILE
PROZESSPHASEN
66
6.3.1
STABILITAETSGRENZEN
UND
BOGENABRISS
66
6.3.2
PROZESSENTARTUNGEN
70
6.4
STROMABHAENGIGKEIT
VON
KATODENABTRAG
UND
SPOTEIGENSCHAFTEN
74
6.4.1
ABTRAGSRATE
UND
ABTRAGSKOEFFIZIENT
74
6.4.2
STATISTISCHE
SPOTVERTEILUNG
UND
EROSIONSPROFIL
76
6.4.3
SPOTPARAMETER
79
6.4.3.1
SPOTBEWEGUNG
79
6.4.3.2
SPOTLEBENSDAUER
87
6.4.3.3
SPOTSTROM
88
7
KOMBINATION
VON
DC
UND
PULS-ARC-VERFAHREN
90
7.1
VERFAHRENSPRINZIP
90
7.2
STROMVERSORGUNGEN
FUER
DAS
MODIFIZIERTE
PULS-ARC-VERFAHREN
93
7.2.1
INVERTER
ALS
GRUND
UND
PULSSTROMQUELLE
93
7.2.2
SEPARATE
GRUND-
UND
PULSSTROMQUELLE
93
7.2.2.1
SCHALTUNGSPRINZIP
EINER
HOCHSTROMIMPULSQUELLE
94
7.2.2.2
BERECHNUNG
DES
LEISTUNGSTEILES
EINER
HOCHSTROMIMPULSQUELLE
101
7.2.2.3
SCHALTUNGSPRINZIP
EINER
NADELIMPULSSTROMQUELLE
104
7.2.2.4
DIMENSIONIERUNG
DES
LEISTUNGSTEILES
EINER
NADELIMPULSSTROMQUELLE
107
7.2.2.5
ELEKTRISCHE
KENNWERTE
DER
AUFGEBAUTEN
PULSSTROMQUELLEN
112
7.3
PROZESSANALYSE
114
7.3.1
SPANNUNG
UND
LEISTUNG
114
7.3.1.1
ZEITLICHER
VERLAUF
DER
BOGENSPANNUNG
UND
DYNAMISCHE
U-I-KENNLINIE
114
7.3.1.2
LEISTUNGSUMSATZ
119
7.3.2
STABILITAETSGRENZEN
121
7.3.3
SPOTBEWEGUNG
UND
SPOTGESCHWINDIGKEIT
124
7.3.3.1
THEORETISCHE
ANALYSE
DER
EINFLUESSE
DES
EIGENMAGNETFELDES
124
INHALTSVERZEICHNIS
7.3.3.2
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
128
7.3.4
KATODENABTRAG
137
7.3.5
EINFLUESSE
DES
PULSSTROMES
AUF
DIE
TEILCHENEMISSION
140
7.3.5.1
RAEUMLICHE
VERTEILUNG
DER
ABSCHEIDERATE
140
7.3.5.2
DROPLETEMISSION
143
7.3.5.3
LONENEMISSION
146
8
ZUSAMMENFASSUNG
151
LITERATURVERZEICHNIS
154
ANLAGEN |
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