Entwicklung und Charakterisierung vertikaler Silizium-Feldeffekttransistoren auf der Basis selektiver Epitaxie:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1998
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| Beschreibung: | Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1998. - Auch als: Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 3535 |
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