Strukturprofilsimulation dicker Schichten in der optischen Lithogrpahie mit DNQ-Novolak-basierenden Photoresists:
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Forschungszentrum Karlsruhe
1998
|
| Schriftenreihe: | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte
6111 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 1998 |
| Beschreibung: | II, 94 S. Ill. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV012173754 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20000112 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 980929s1998 a||| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)313150981 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV012173754 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-12 |a DE-91 | ||
| 088 | |a FZKA 6111 | ||
| 100 | 1 | |a Chung, Song-Jo |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Strukturprofilsimulation dicker Schichten in der optischen Lithogrpahie mit DNQ-Novolak-basierenden Photoresists |c S.-J. Chung ; H. Hein ; J. Schulz |
| 264 | 1 | |a Karlsruhe |b Forschungszentrum Karlsruhe |c 1998 | |
| 300 | |a II, 94 S. |b Ill. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte |v 6111 | |
| 500 | |a Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 1998 | ||
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 700 | 1 | |a Hein, Herbert |e Verfasser |4 aut | |
| 700 | 1 | |a Schulz, Joachim |e Verfasser |4 aut | |
| 830 | 0 | |a Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte |v 6111 |w (DE-604)BV010181833 |9 6111 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008248168 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804126787948511233 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Chung, Song-Jo Hein, Herbert Schulz, Joachim |
| author_facet | Chung, Song-Jo Hein, Herbert Schulz, Joachim |
| author_role | aut aut aut |
| author_sort | Chung, Song-Jo |
| author_variant | s j c sjc h h hh j s js |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV012173754 |
| ctrlnum | (OCoLC)313150981 (DE-599)BVBBV012173754 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01195nam a2200325 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV012173754</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20000112 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">980929s1998 a||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)313150981</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV012173754</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="088" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FZKA 6111</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Chung, Song-Jo</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Strukturprofilsimulation dicker Schichten in der optischen Lithogrpahie mit DNQ-Novolak-basierenden Photoresists</subfield><subfield code="c">S.-J. Chung ; H. Hein ; J. Schulz</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Karlsruhe</subfield><subfield code="b">Forschungszentrum Karlsruhe</subfield><subfield code="c">1998</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">II, 94 S.</subfield><subfield code="b">Ill.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte</subfield><subfield code="v">6111</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 1998</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Hein, Herbert</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schulz, Joachim</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte</subfield><subfield code="v">6111</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV010181833</subfield><subfield code="9">6111</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008248168</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV012173754 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T18:23:01Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008248168 |
| oclc_num | 313150981 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | II, 94 S. Ill. |
| publishDate | 1998 |
| publishDateSearch | 1998 |
| publishDateSort | 1998 |
| publisher | Forschungszentrum Karlsruhe |
| record_format | marc |
| series | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte |
| series2 | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte |
| spelling | Chung, Song-Jo Verfasser aut Strukturprofilsimulation dicker Schichten in der optischen Lithogrpahie mit DNQ-Novolak-basierenden Photoresists S.-J. Chung ; H. Hein ; J. Schulz Karlsruhe Forschungszentrum Karlsruhe 1998 II, 94 S. Ill. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte 6111 Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 1998 (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Hein, Herbert Verfasser aut Schulz, Joachim Verfasser aut Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte 6111 (DE-604)BV010181833 6111 |
| spellingShingle | Chung, Song-Jo Hein, Herbert Schulz, Joachim Strukturprofilsimulation dicker Schichten in der optischen Lithogrpahie mit DNQ-Novolak-basierenden Photoresists Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte |
| subject_GND | (DE-588)4113937-9 |
| title | Strukturprofilsimulation dicker Schichten in der optischen Lithogrpahie mit DNQ-Novolak-basierenden Photoresists |
| title_auth | Strukturprofilsimulation dicker Schichten in der optischen Lithogrpahie mit DNQ-Novolak-basierenden Photoresists |
| title_exact_search | Strukturprofilsimulation dicker Schichten in der optischen Lithogrpahie mit DNQ-Novolak-basierenden Photoresists |
| title_full | Strukturprofilsimulation dicker Schichten in der optischen Lithogrpahie mit DNQ-Novolak-basierenden Photoresists S.-J. Chung ; H. Hein ; J. Schulz |
| title_fullStr | Strukturprofilsimulation dicker Schichten in der optischen Lithogrpahie mit DNQ-Novolak-basierenden Photoresists S.-J. Chung ; H. Hein ; J. Schulz |
| title_full_unstemmed | Strukturprofilsimulation dicker Schichten in der optischen Lithogrpahie mit DNQ-Novolak-basierenden Photoresists S.-J. Chung ; H. Hein ; J. Schulz |
| title_short | Strukturprofilsimulation dicker Schichten in der optischen Lithogrpahie mit DNQ-Novolak-basierenden Photoresists |
| title_sort | strukturprofilsimulation dicker schichten in der optischen lithogrpahie mit dnq novolak basierenden photoresists |
| topic_facet | Hochschulschrift |
| volume_link | (DE-604)BV010181833 |
| work_keys_str_mv | AT chungsongjo strukturprofilsimulationdickerschichteninderoptischenlithogrpahiemitdnqnovolakbasierendenphotoresists AT heinherbert strukturprofilsimulationdickerschichteninderoptischenlithogrpahiemitdnqnovolakbasierendenphotoresists AT schulzjoachim strukturprofilsimulationdickerschichteninderoptischenlithogrpahiemitdnqnovolakbasierendenphotoresists |