Morphologie, Zusammensetzung und tribomechanische Eigenschaften ionenimplantierter TiN-Hartstoffschichten:
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Format: | Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1998
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Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
Schriftenreihe: | Berichte aus der Werkstofftechnik
|
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Beschreibung: | Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 1998 |
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VII
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
.
1
2
STAND
DER
FORSCHUNG
.
4
2.1
HARTSTOFFBESCHICHTUNG.
4
2.2
IONENIMPLANTATION
.
6
2.2.1
WECHSELWIRKUNGEN
ZWISCHEN
IONEN
UND
FESTKOERPEROBERFLAECHEN
.
9
2.2.2
EIGENSCHAFTEN
IONENIMPLANTIERTER
BULKMATERIALIEN
.
15
2.2.3
WEITERE
LONENSTRAHLVERFAHREN
.
22
2.3
EIGENSCHAFTEN
VON
HARTSTOFFSCHICHTEN
.
24
2.3.1
AUFBAU
UND
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG
VON
TIN
.
25
2.3.2
OPTIMIERUNG
DER
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
DURCH
IONENIMPLANTATION
.
27
3
EXPERIMENTELLES
.
33
3.1
SUBSTRATWERKSTOFFE
.
33
3.1.1
FLACHPROBEN
.
33
3.1.2
UMFORMWERKZEUGE
.
35
3.2
SCHICHTHERSTELLUNG
.
37
3.3
IONENIMPLANTATION
.
39
3.3.1
ANLAGE
.
39
3.3.2
PROZESSFUEHRUNG
.
41
3.3.3
SIMULATION
DER
IONENIMPLANTATION
.
43
3.3.4
AUSWAHL
DER
IMPLANTATIONSVARIANTEN
.
45
3.4
UNTERSUCHUNGSMETHODEN
.
47
3.4.1
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG
.47
3.4.2
METALLOGRAPHISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.49
IOLL
3.4.3
TOPOGRAPHIEUNTERSUCHUNGEN
.
51
3.4.4
HAERTEMESSUNG
.
52
3.4.5
RITZTEST
.
54
3.4.6
REIBWERT
UND
VERSCHLEISSMESSUNGEN
.
55
3.4.7
VERSCHLEISSMESSUNGEN
IM
UMFORMVERSUCH
.
57
4
ERGEBNISSE
.
59
4.1
ANALYSE
DER
VERWENDETEN
TIN-HARTSTOFFSCHICHTEN
.
59
4.2
ANALYSE
IMPLANTIERTER
SCHICHTEN
.
61
4.2.1
BESONDERHEITEN
ZUR
UNTERSUCHUNG
IMPLANTIERTER
OBERFLAECHEN
.
61
4.2.1.1
MAKROSKOPISCHE
BEOBACHTUNGEN
.
61
4.2.1.2
VISUALISIERUNG
VON
IMPLANTIERTEN
SCHICHTBEREICHEN
.
62
4.2.1.3
GDOS-ANALYSE
VON
IMPLANTIERTEN
RANDZONEN.
67
4.2.2
KOHLENSTOFFIMPLANTATIONEN
.
72
4.2.2.1
METALLOGRAPHISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
YY
.
72
4.2.2.2
TOPOGRAPHIE
.
76
4.2.2.3
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG
.
78
4.2.2.4
HAERTE
.
87
4.2.2.5
REIBWERT
UND
VERSCHLEISS
.
89
4.2.3
STICKSTOFFIMPLANTATIONEN
.
93
4.2.3.1
METALLOGRAPHISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
93
4.2.3.2
TOPOGRAPHIE
UND
MORPHOLOGIE
.
98
4.2.3.3
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG
.
104
4.2.3.4
HAERTE
.
111
4.2.3.5
REIBWERT
UND
VERSCHLEISS
.
111
4.2.4
EINSATZ
BESCHICHTETER
WERKZEUGE
IN
DER
KALTMASSIVUMFORMUNG
.
114
_
OEL
5
DISKUSSION
.
121
5.1
MORPHOLOGIEUNTERSUCHUNGEN.
121
5.1.1
METALLOGRAPHIE
AN
IMPLANTATIONSSCHICHTEN
.
121
5.1.2
WIRKUNG
VON
KOHLENSTOFF
UND
STICKSTOFFIMPLANTATIONEN
.
125
5.2
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG
IMPLANTIERTER
OBERFLAECHEN
.
127
5.2.1
GDOS-ANALYSEN
AN
IMPLANTATIONSSCHICHTEN
.
127
5.2.2
WIRKUNG
VON
KOHLENSTOFF
UND
STICKSTOFFIMPLANTATIONEN
.
131
5.2.3
BEZIEHUNGEN
ZWISCHEN
MORPHOLOGIE
UND
CHEMISCHER
ZUSAMMENSETZUNG
IMPLANTIERTER
TIN-SCHICHTEN
.
139
5.3
TRIBOMECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
IMPLANTIERTER
TIN-SCHICHTEN
.
141
5.4
FOKUSSIERTES
EIGENSCHAFTSPROFIL
IMPLANTIERTER
TIN-SCHICHTEN
.
148
6
ZUSAMMENFASSUNG
.
154
7
LITERATUR
.
156 |
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spelling | Seidel, Frank Verfasser aut Morphologie, Zusammensetzung und tribomechanische Eigenschaften ionenimplantierter TiN-Hartstoffschichten Frank Seidel Als Ms. gedr. Aachen Shaker 1998 IX, 164 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berichte aus der Werkstofftechnik Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 1998 Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd rswk-swf Stoffeigenschaft (DE-588)4192147-1 gnd rswk-swf Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd rswk-swf Gefüge Werkstoffkunde (DE-588)4169819-8 gnd rswk-swf Titannitrid (DE-588)4185564-4 gnd rswk-swf Schnellarbeitsstahl (DE-588)4126691-2 gnd rswk-swf Verschleißprüfung (DE-588)4187963-6 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Schnellarbeitsstahl (DE-588)4126691-2 s Titannitrid (DE-588)4185564-4 s Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 s Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Gefüge Werkstoffkunde (DE-588)4169819-8 s DE-604 Stoffeigenschaft (DE-588)4192147-1 s Verschleißprüfung (DE-588)4187963-6 s DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008223521&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
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