Charakterisierung von Si-Mikrolinsen mit einem lateralen Shearing-Interferometer:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German English |
| Veröffentlicht: |
1998
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I
NHALTSVERZEICHNIS
:
1
E
INLEITUNG
.
9
1.1
ZUSAMMENFASSUNG
.
9
1.2
SUMMARY
.
10
1.3
INHALTSUEBERSICHT
.
11
2
G
RUNDLAGEN
.
13
2.1
OPTISCHE
INTERFERENZ
UND
KOHAERENZFUNKTION
.
13
2.2
SHEARING-INTERFEROMETRIE
.
16
2.2.1
LATERALE
SHEARING-INTERFEROMETRIE
.
17
2.2.2
REDUKTION
DER
RAEUMLICHEN
KOHAERENZ
ZUR
VERBESSERUNG
DER
MESSGENAUIGKEIT
.
18
2.3
WELLENABERRATIONEN
.
19
2.3.1
CHARAKTERISIERUNG
DER
ABBILDUNGSFEHLER
.
20
2.3.2
SPHAERISCHE
ABERRATION
.
20
2.3.3
KOMA
.
21
2.3.4
ASTIGMATISMUS
.
22
2.4
GUETEFUNKTIONEN
.
23
2.5
PUNKTBILDVERWASCHUNGSFUNKTION
.
23
2.5.1
YYENCIRCLED
ENERGY
"
.
25
2.5.2
OPTISCHE
UEBERTRAGUNGSFUNKTION
.
25
3
YYO
N
-A
XIS
"
G
ITTER
-S
HEARING
-I
NTERFEROMETER
.
29
3.1
RONCHI-PHASENGITTER
.
29
3.2
YYON
AXIS
"
GITTER-SHEARING-INTERFEROMETER
.
32
3.2.1
DER
INTERFEROMETERAUFBAU
.
32
3.2.2
EINFUEHRUNG
EINES
PHASE-SHIFTS
.
34
3.2.3
CHROMATISCHE
ANFORDERUNGEN
.
35
3.2.4
INVARIANTEN
.
36
'*
3.3
DEJUSTAGEN
DES
INTERFEROMETERS
.
37
3.3.1
TRANSLATORISCHE
DEJUSTAGEN
.
37
3.3.2
DEJUSTAGEN
DURCH
ROTATION
.
38
3.4
VARIATIONEN
.
42
3.4.1
VOREINGESTELLTER
KEIL
.
42
3.4.2
ZWEIDIMENSIONALES
RONCHI-GITTER
.
43
4
A
UFBAU
ZUR
C
HARAKTERISIERUNG
VON
S
I
-M
IKROUNSEN
.
47
4.1
AUFBAU
DES
INTERFERENZMIKROSKOPS
.
47
4.1.1
DER
AUFBAU
.
47
4.1.2
DIE
HALTERUNG
DES
GITTER-INTERFEROMETERS
.
49
4.1.3
DAS
MIKROSKOPOBJEKTIV
.
50
4.1.4
DIE
ABBILDUNG
DES
OBJEKTS
BEI
DURCHLICHTBELEUCHTUNG
.
50
4.1.5
DIE
ABBILDUNG
DES
OBJEKTS
BEI
AUFLICHTBELEUCHTUNG
.
.".
.
52
4.2
COMPUTERGESTUETZTE
AUSWERTUNG
DER
MESSUNGEN
.
54
4.2.1
BERECHNUNG
DER
PHASE
MIT
DEM
PHASE-SHIFT-VERFAHREN
.
54
4.2.2
REKONSTRUKTION
DER
PHASENFUNKTION
.
57
4.3
BESTIMMUNG
DER
SCHNITTWEITE
.
60
5
V
ERMESSUNG
VON
S
I
-M
IKROLINSEN
.
63
5.1
VERMESSUNG
VON
SPHAERISCHEN
MIKROLINSEN
.
63
5.1.1
MESSUNG
DER
WELLENABERRATIONEN
.
64
5.1.2
BERECHNUNG
DER
PUNKTBILDVERWASCHUNGSFUNKTION
.
66
5.1.3
BERECHNUNG
DER
YYENCIRCLED
ENERGY
"
.
67
5.1.4
BERECHNUNG
DER
KONTRASTUEBERTRAGUNGSFUNKTION
.
68
5.2
VERGLEICH
MIT
DEM
TWYMAN-GREEN-INTERFEROMETER
.
69
5.3
VERMESSUNG
VON
ELLIPTISCHEN
MIKROLINSEN
.
72
5.4
DIE
AUFLOESUNGSGRENZEN
.
77
A
R
ONCHI
-G
ITTER
.
79
A.1
BEUGUNGSEFFIZIENZ
BEI
EINEM
EINDIMENSIONALEN
AMPLITUDEN-RONCHI-GITTER
.
79
A.2
BEUGUNGSEFFIZIENZ
BEI
EINEM
EINDIMENSIONALEN
RONCHI-PHASENGITTER
.
80
A.3
BEUGUNGSEFFIZIENZ
BEI
EINEM
ZWEIDIMENSIONALEN
RONCHI-PHASENGITTER
.
82
B
B
ETRACHTUNGEN
ZUR
P
HASE
-S
HIFT
-I
NTERFEROMETRIE
.
85
B.L
FEHLERTOLERANTE
PHASE-SHIFT-ALGORITHMEN
.
85
B.2
GEWICHTETE
FEINPHASENKONDNUIERUNG
.
87
6
C
R
EKONSTRUKTION
DER
W
ELLENFRONT
.
93
C.L
APPROXIMATION
VON
SHEARING-INTERFEROGRAMMEN
DURCH
ZEMIKE-POLYNOME
.
93
C.2
REKONSTRUKTION
DER
WELLENFRONT
.
98
D
A
NMERKUNGEN
ZUM
A
UFBAU
.
101
D.L
DER
PIEZOAKTOR
.
101
D.2
DER
DETEKTOR
.
102
D.3
LEERMESSUNG
UND
RESTABERRATIONEN
DES
SYSTEMS
.
102
D.4
EINSTELLUNG
DER
SHEARGROESSE
.
104
A
BBILDUNGSVERZEICHNIS
.
YY
.
107
L
ITERATURVERZEICHNIS
.
YY
.
111
E
IGENE
V
EROEFFENTLICHUNGEN
UND
T
AGUNGSBEITRAEGE
.
115
D
ANKSAGUNG
.
117
L
EBENSLAUF
.
119
7 |
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