Untersuchung von thermisch behandelten Ni/C-Nanometerschichten mit Röntgenmethoden:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1998
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5]
515 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss. |
| Beschreibung: | X, 149 S. Ill., graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
SYMBOLVERZEICHNIS
.
VII
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
.X
1.
MOTIVATION
UND
AUFGABENSTELLUNG
.
1
2.
MULTISCHICHTEN
MIT
SCHICHTDICKEN
IM
NANOMETERBEREICH
.
3
2.1.
PERIODISCH
MODULIERTE
SCHICHTEN
.
3
2.2.
AUFBAU,
ANWENDUNGEN
UND
EIGENSCHAFTEN
VON
NI/C-MULTISCHICHTEN
.
6
3.
FESTKOERPERREAKTIONEN
IN
NI/C-MULTISCHICHTEN
.
8
3.1.
BESONDERHEITEN
VON
FESTKOERPERREAKTIONEN
IN
PERIODISCH
MODULIERTEN
SCHICHTEN
.
8
3.2.
FREIE
ENERGIE
UND
GRENZFLAECHENENERGIE
VON
PERIODISCH
MODULIERTEN
SCHICHTEN
.
9
3.3.
DIFFUSION
IN
PERIODISCH
MODULIERTEN
SCHICHTEN
.
13
3.4.
DAS
STOFFSYSTEM
NI-C
.
16
3.5.
PHASENBILDUNG
UND
GRENZFLAECHEN
IN
NI/C-MULTISCHICHTEN
.
19
3.6.
MECHANISCHE
ENERGIE
VON
NI/C-MULTISCHICHTEN
UND
RELAXATION
INNERER
SPANNUNGEN
.
23
3.7.
DIE
AENDERUNG
DER
FREIEN
ENERGIE
BEI
FESTKOERPERREAKTIONEN
IN
NI/C-MULTI
SCHICHTEN
.
33
3.8.
MORPHOLOGISCHE
INSTABILITAET
DER
NICKELSCHICHTEN
.
35
4.
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
DER
CHARAKTERISIERUNG
DUENNER
SCHICHTEN
MIT
ROENTGEN
METHODEN
.
40
4.1.
UEBERSICHT
UEBER
METHODEN
ZUR
CHARAKTERISIERUNG
DUENNER
SCHICHTEN
MIT
ROENTGENSTRAHLUNG
.
40
4.2.
BERECHNUNG
VON
REFLEXIONSVERMOEGEN
UND
FLUORESZENZERTRAG
EINER
MULTI
SCHICHT
.
42
4.3.
DER
EINFLUSS
VON
STOERUNGEN
AUF
DAS
REFLEXIONSVERMOEGEN
UND
DEN
FLUORESZENZ
ERTRAG
.
48
4.4.
DIE
PROGRAMME
TR
UND
RFAV
.
54
4.5.
DIE
ROENTGENOPTISCHEN
STOFFKONSTANTEN
UND
DIE
DICHTE
VON
SCHICHTMATERIALIEN
.
55
4.6.
DIE
BESTIMMUNG
VON
SCHICHTDICKEN
UND
DICHTEN
MIT
REFLEKTOMETRIE
.
60
4.7.
DIE
BESTIMMUNG
VON
ATOMABSTAENDEN
UND
KOORDINATIONSZAHLEN
AUS
FLUORESZENZ-EXAFS-MESSUNGEN
.
62
5.
PROBENPRAEPARATION
.
65
5.1.
DIE
HERSTELLUNG
DER
SCHICHTPROBEN
MIT
DEM
PLD-VERFAHREN
.
65
5.2.
THERMISCHE
BEHANDLUNG
.
69
6.
REFLEKTOMETRISCHE
CHARAKTERISIERUNG
VON
KOHLENSTOFFSCHICHTEN,
C/NI/C-SCHICHTEN
UND
NI/C-MULTISCHICHTEN
.
70
6.1.
MESSAUFBAU
.
70
6.2.
SUBSTRATE
.
71
VI
6.3.
KOHLENSTOFFSCHICHTEN
.
72
6.4.
C/NI/C-SCHICHTEN
.
76
6.5.
NI/C-MULTISCHICHTEN
.
79
7.
IN-SITU
REFLEKTOMETRIE
AN
NI/C-MULTISCHICHTEN
.
95
7.1.
EXPERIMENTELLES
.
95
7.2.
DIE
ZEITLICHE
AENDERUNG
VON
REFLEXIONSVERMOEGEN
UND
MULTISCHICHTPERIODEN
DICKE
95
7.3.
BESTIMMUNG
VON
EFFEKTIVEN
INTERDIFFUSIONSKOEFFIZIENTEN
UND
DER
AKTI
VIERUNGSENERGIE
97
8.
DIFFRAKTOMETRIE
BEI
STREIFENDEM
EINFALL
AN
KOHLENSTOFFSCHICHTEN
UND
NI/C-MULTI
SCHICHTEN
.
100
8.1.
EXPERIMENTELLES
.
100
8.2.
SUBSTRATE
.
100
8.3.
KOHLENSTOFFSCHICHTEN
.
101
8.4.
NI/C-MULTISCHICHTEN
.
102
9.
FLUORESZENZ-EXAFS
MIT
SYNCHROTRONSTRAHLUNG
AN
NI/C-MULTISCHICHTEN
.
107
9.1.
EXPERIMENTELLES
.
107
9.2.
ERGEBNISSE
AN
NI/C-MULTISCHICHTEN
IM
AUSGANGSZUSTAND
.
108
9.3.
ERGEBNISSE
AN
WAERMEBEHANDELTEN
NI/C-MULTISCHICHTEN
.
112
10.
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPISCHE
UNTERSUCHUNG
VON
NI/C-MULTISCHICHTEN
.
114
10.1.
PROBENPRAEPARATION
UND
ELEKTRONENMIKROSKOPISCHE
ABBILDUNG
.
114
10.2.
ERGEBNISSE
.
114
10.3.
FRAGMENTATION
DER
NICKELSCHICHTEN
UND
NICKELSILIZIDBILDUNG-VERGLEICH
MIT
REFLEKTOMETRISCHEN
MESSUNGEN
.
122
11.
UEBERSICHT
UEBER
THERMISCH
ANGEREGTE
FESTKOERPERREAKTIONEN
IN
MITTELS
PLD
PRAEPARIERTEN
NI/C-MULTISCHICHTEN
.
128
11.1.
CHARAKTERISTIK
DER
NI/C-MULTISCHICHTEN
IM
AUSGANGSZUSTAND
.
128
11.2.
DAS
VERHALTEN
DER
NI/C-MULTISCHICHTEN
IM
TEMPERATURBEREICH
UNTERHALB
VON
150
C
.130
11.3.
DAS
VERHALTEN
DER
NI/C-MULTISCHICHTEN
IM
TEMPERATURBEREICH
ZWISCHEN
150
C
UND
350
C
.
130
11.4.
DAS
VERHALTEN
DER
NI/C-MULTISCHICHTEN
IM
TEMPERATURBEREICH
ZWISCHEN
350
CUND400C
.
132
11.5.
DAS
VERHALTEN
DER
NI/C-MULTISCHICHTEN
IM
TEMPERATURBEREICH
OBERHALB
VON
400
C
.
133
11.6.
SCHLUSSFOLGERUNGEN
.
133
12.
ZUSAMMENFASSUNG
.
135
LITERATUR
.139 |
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