Aufbringung von Siliziumoxidschichten durch Plasma-CVD und Anwendung auf Beschichtungen in einer Plasma-Wirbelschicht:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1998
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 3]
534 |
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V
INHALTSVERZEICHNIS
VORWORT
III
INHALTSVERZEICHNIS
V
SYMBOLVERZEICHNIS
VII
ZUSAMMENFASSUNG
XI
SUMMARY
XIII
1.
EINLEITUNG
1
2.
KENNTNISSTAND
3
2.1
PLASMEN
UND
PLASMAUNTERSTUETZTE
CVD
3
2.1.1
PLASMAGRUNDLAGEN
3
2.1.2
PLASMAPROZESSE
9
2.1.3
PLASMAUNTERSTUETZTE
CVD
10
2.2
RATE-MODELLIERUNGEN
BEI
DER
PLASMAUNTERSTUETZTEN
CVD
14
2.3
SILIZIUMOXIDSCHICHTEN
18
2.4
MESSUNG
UND
MODELLIERUNG
VON
SAUERSTOFFATOMKONZENTRATIONEN
21
3.
VERSUCHSANLAGE,
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
UND
MESSEINRICHTUNGEN
24
3.1
VERSUCHSANLAGE
24
3.2
PROZESSPARAMETER
UND
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
29
3.3
RATEMESSUNGEN
31
3.4
QUALITAETSMESSUNGEN
31
3.5
PLASMAANALYSEN
35
4.
EXPERIMENTE
37
4.1
VERSUCHE
ZUR
BESCHICHTUNGSRATE
37
4.2
VERSUCHE
ZUR
SCHICHTQUALITAET
43
4.2.1
DIFFUSIONSSCHUTZWIRKUNG
43
4.2.2
HAERTE
46
4.2.3
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG
49
4.2.4
OBERFLAECHENSTRUKTUR
52
4.3
VERSUCHE
ZUR
SCHICHTDICKENHOMOGENITAET
59
VI
4.4
VERSUCHE
ZUR
GASANALYSE
63
4.4.1
GASKOMPONENTENANALYSE
IM
AFTERGLOW
63
4.4.2
GESAMTUMSATZBESTIMMUNG
67
5.
DISKUSSION
72
5.1
OVERALL-ANSATZ
FUER
DIE
BESCHICHTUNGSRATE
IM
REMOTE
PECVD-VERFAHREN
72
5.1.1
HERLEITUNG
DES
OVERALL-ANSATZES
72
5.1.2
ANWENDUNG
DES
OVERALL-ANSATZES
AUF
DIE
BESCHICHTUNGSRATE
77
5.2
DISKUSSION
DES
SAUERSTOFFATOMFLUSSES
87
5.3
SCHICHTHAERTE
UND
BESCHICHTUNGSRATE
92
5.4
DISKUSSION
DER
SCHICHTDICKENHOMOGENITAET
94
5.5
ZUSAMMENFASSENDE
DISKUSSION
DER
REMOTE
PECVD-BESCHICHTUNGSVERSUCHE
97
6.
ANWENDUNG
DES
PECVD-VERFAHRENS
AUF
BESCHICHTUNGEN
IN
EINER
PLASMA
WIRBELSCHICHT
99
6.1
THEORIE
UND
LITERATUR
ZUR
PLASMA-WIRBELSCHICHT
99
6.1.1
GRUNDLAGEN
DER
PLASMA-WIRBELSCHICHT
99
6.1.2
LITERATURUEBERSICHT
102
6.2
VERSUCHSAUFBAU,
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
UND
MESSEINRICHTUNGEN
103
6.3
ERGEBNISSE
DER
FLUIDISIERUNGSVERSUCHE
IM
VAKUUM
107
6.4
ERGEBNISSE
ZUR
STABILITAET
DER
PLASMA-WIRBELSCHICHT
109
6.5
ERGEBNISSE
DER
BESCHICHTUNGSVERSUCHE
IN
DER
PLASMA-WIRBELSCHICHT
109
6.5.1
HYDROPHOBE
SILIZIUMOXIDSCHICHTEN
109
6.5.2
BESCHICHTUNGSRATE
110
6.5.3
PRAEPARATION
DUENNSTER
SILIZIUMOXIDHOHLKUGELN
113
6.5.4
OBERFLAECHENSTRUKTUR
114
6.5.5
DIFFUSIONSSPERRWIRKUNG
117
6.6
ZUSAMMENFASSENDE
DISKUSSION
DER
PARTIKEL-BEHANDLUNGEN
IN
DER
PLASMA
WIRBELSCHICHT
122
7.
SCHLUSSFOLGERUNGEN
UND
AUSBLICK
125
ANHANG:
VERSUCHSPROTOKOLL
DER
RATE-VERSUCHE
IM
REMOTE
PECVD-VERFAHREN
128
LITERATURVERZEICHNIS
132 |
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