Sputtering, reflection and range values for plasma edge codes:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Eckstein, Wolfgang (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Garching IPP 1998
Ausgabe:Als Ms. des Autors gedr.
Schriftenreihe:IPP-Report
Beschreibung:118 S. graph. Darst.

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