Proceedings of the 10th Symposium on Plasma Science for Materials: Tokyo, Japan, June 11 -12, 1997
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Symposium on Plasma Science for Materials Tokio (VerfasserIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Amsterdam u.a. Elsevier 1998
Schriftenreihe:Thin solid films 316,1/2
Schlagworte:
Beschreibung:Einzelaufn. e. Zeitschr.-H.
Beschreibung:VI, 199 S. Ill., graph. Darst.

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