Untersuchungen zur Gasphasenzüchtung nach dem modifizierten Lely-Verfahren als Herstellungsprozeß für einkristalline Siliziumkarbid-Volumenkristalle:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Erlangen
1998
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