Environmental, safety, and health issues in ic production: symposium held December 4 - 5, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A
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Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Pittsburgh, Pa. Materials Research Soc. 1997
Schriftenreihe:Materials Research Society: Materials Research Society symposia proceedings 447
Schlagworte:
Beschreibung:IX, 154 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:1558993517

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