Mändl, S. (1998). Die Randschichtausbreitung bei der Plasma-Immersions-Ionenimplantation (Als Ms. gedr.). FZR.
Chicago Style (17th ed.) CitationMändl, Stephan. Die Randschichtausbreitung Bei Der Plasma-Immersions-Ionenimplantation. Als Ms. gedr. Dresden: FZR, 1998.
MLA (9th ed.) CitationMändl, Stephan. Die Randschichtausbreitung Bei Der Plasma-Immersions-Ionenimplantation. Als Ms. gedr. FZR, 1998.
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