Die Randschichtausbreitung bei der Plasma-Immersions-Ionenimplantation:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Dresden
FZR
1998
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
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| Beschreibung: | Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 1997 |
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