Hologrammikroskopische Verschiebungsmessung an Objekten mit rauher Oberfläche:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
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1997
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INHALTSVERZEICHNIS
EINLEITUNG
L
1. GRUNDLAGEN DER HOLOGRAPHIE
4
1.1. PHASENBESTIMMUNG DURCH KOHAERENTE UEBERLAGERUNG . 4
1.2. HOLOGRAPHISCHES PRINZIP . 6
1.3. HOLOGRAPHISCHE INTERFEROMETRIE . 9
1.4. HOLOGRAPHISCHE PRAXIS .10
1.4.1. MAXIMALE ORTSFREQUENZEN UND
AUFZEICHNUNGSMATERIALIEN .10
1.4.2. HOLOGRAMMKLASSIFIKATION .11
1.5. HISTORISCHE ASPEKTE DER HOLOGRAPHISCHEN MIKROSKOPIE .12
1.6. OBERFLAECHENRAUHIGKEIT UND SPECKLE.13
2. PRINZIPIELLE MESS- UND AUSWERTEVERFAHREN DES
HOLOGRAMMIKROSKOPISCHEN INTERFEROMETERS N
2.1. VOLLSTAENDIGE BESTIMMUNG DES VERSCHIEBUNGSVEKTORS.17
2.2. STATISCHE AUSWERTEMETHODE MIT 3 BELEUCHTUNGSRICHTUNGEN . 19
2.3. KONDITIONIERUNG DES INTERFEROMETERS .23
2.4. KONJUGIERTE REKONSTRUKTION.27
2.4.1. EINFLUSS AUF DIE ENTFEMUNGSADAPTION IN EINEM
HOLOGRAPHISCHEN AUFLICHTMIKROSKOP .29
2.4.2. EINFLUSS AUF DIE BILDFEHLERKOMPENSATION.30
2.4.3. EINFLUSS AUF DIE INTERFEROMETERKONDITIONIERUNG.31
2.5. AUSWERTUNG DER INTERFEROGRAMME .34
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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3. HMI MIT TRAEGERFREQUENZVERFAHREN
37
3.1. SPATIAL HETERODYNE VERFAHREN.37
3.2. EXPERIMENTELLE REALISIERUNG IM HMI.40
3.2.1. OPTISCHER AUFBAU.40
3.2.2. TRAEGERFREQUENZGENERATION.44
3.2.3. MESSABLAUF UND AUSWERTEPROZEDUR .47
3.3. GENAUIGKEIT, UMFANG UND EINSCHRAENKUNGEN DER
MESSMOEGLICHKEITEN.53
4. HMI MIT PHASEN-SCHRITT-VERFAHREN
58
4.1. INTERFEROGRAMMAUSWERTUNG MIT DER QUASI-HETERODYNEN
TECHNIK.58
4.2. EXPERIMENTELLE REALISIERUNG IM HMI.60
4.2.1. ZWEI-REFERENZSTRAHL-TECHNIK .61
4.2.2. OPTISCHER AUFBAU.62
4.3.3. MESSABLAUF UND AUSWERTEPROZEDUR .64
4.3. MESSBEREICHSGRENZEN UND SYSTEMBEDINGTE FEHLERQUELLEN .67
4.4. ELEKTRO-OPTISCHE HOLOGRAPHIE IM HMI.70
5.
VERALLGEMEINERTE ANWENDUNGSMOEGLICHKEITEN
75
5.1. BESCHREIBUNG VON DEFORMATIONEN DURCH ABLEITUNGEN DES
VERSCHIEBUNGSVEKTORS.75
5.1.1. OUT-OF-PLANE VERSCHIEBUNGEN UND MAXIMAL MESSBARE
GLEITUNG.76
5.1.2. IN-PLANE VERSCHIEBUNGEN UND MAXIMAL MESSBARE
DEHNUNGEN.80
5.2. VERGLEICH DER AUSWERTEMETHODEN .81
6. VOLLSTAENDIGE VERSCHIEBUNGSBESTIMMUNG AN
MIKROELEMENTEN 84
6.1. MESSUNGEN AN MIKROELEKTRONISCHEN BAUELEMENTEN .84
6.2. MESSUNGEN AN MIKROMECHANISCHEN BAUELEMENTEN.88
7. ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK
95
QUELLENVERZEICHNIS
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