Optische Emissionsspektroskopie OES und energiedispersive Massenspektrometrie EDMS an Argon- und Stickstoff-Niederdruckplasmen:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
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1996
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1. EINLEITUNG 1
2. PLASMAMODELLE 3
2.1 TEILCHENWECHSELWIRKUNG IM PLASMA 3
2.2 LTE-MODELL (LOCAL THERMAL EQUILIBRIUM) 7
2.3 CORONA-MODELL 9
2.4 DAS CR-MODELL (COLLISIONAL-RADIATIVE) 10
2.5 ELEKTRONENTEMPERATUR, PLASMADICHTE UND PLASMAPOTENTIAL 11
3. UEBERBLICK UEBER PLASMADIAGNOSTISCHE VERFAHREN 14
3.1 ELEKTROSTATISCHE SONDEN 14
3.1.1 ZYLINDRISCHE EINZELSONDEN 14
3.1 2 DOPPELSONDEN 18
3.2 OPTISCHE VERFAHREN 21
3 2.1 ABSORPTIONSSPEKTROSKOPIE 22
3 .2.2 OPTOGALVANISCHE SPEKTROSKOPIE 22
3 .2.3 LASERINDUZIERTE FLUORESZENZ SPEKTROSKOPIE 22
3 .2.4 OPTISCHE EMISSIONSSPEKTROSKOPIE 23
3.3 PLASMA-MASSENSPEKTROMETRIE 34
4. APPARATIVER AUFBAU 37
5. MESSUNGEN ZUR OPTISCHEN EMISSIONSSPEKTROSKOPIE 42
5.1 ARGON 42
5.1.1 DAS EMISSIONSSPEKTRUM 42
5.1.2 BESTIMMUNG DER ELEKTRONENTEMPERATUR 46
5.2 STICKSTOFF 55
5.2.1 DAS EMISSIONSSPEKTRUM 55
5.2.2 BESTIMMUNG DER ELEKTRONENTEMPERATUR 57
5.2.3 BESTIMMUNG DER VIBRATIONSTEMPERATUR 60
5.2.4 BESTIMMUNG DER ROTATIONSTEMPERATUR 68
5.3 AR/N2-MISCHPLASMA 72
5.3.1 SONDENMESSUNGEN 72
5.3.2 DAS EMISSIONSSPEKTRUM 76
5.3.3 BESTIMMUNG DER VIBRATIONSTEMPERATUR 79
5.3.4 AKTINOMETRIE 81
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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6. MESSUNGEN ZUR MASSENSPEKTROMETRIE 86
61
ARGON 86
6
.1.1 BESTIMMUNG DER ELEKTRONENTEMPERATUR 87
612 AR
2+ 91
61.3
AR+ 94
6
.1.4 ENERGIEVERTEILUNG DER PLASMAIONEN 95
6.2 STICKSTOFF
101
6.3 AR/N
2-MISCHPLASMA JO5
7
.
ZUSAMMENFASSUNG
1Q9
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