Ortsaufgelöste Mikro-Ramanspektroskopie an III-V-Halbleiterschichten:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1997
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
5
2.1
GITTERSCHWINGUNGEN
IN
KRISTALLEN
.
6
2.2
FREIE
LADUNGSTRAEGER
IM
DOTIERTEN
HALBLEITER
.
9
2.2.1
ELEKTRONISCHE
ZUSTAENDE
IN
HARTREE-FOCK-NAEHERUNG
.
10
2.2.2
DAS
ELEKTRONENGAS
IN
HARTREE-FOCK-NAEHERUNG
.
12
2.2.3
DIE
DIELEKTRISCHE
FUNKTION
DES
FREIEN
ELEKTRONENGASES
.
16
2.2.4
DIE
DIELEKTRISCHE
FUNKTION
DES
FREIEN
LOECHERGASES
.
21
2.3
GEKOPPELTE
PLASMON-LO-PHONON-MODEN
.
22
2.4
INELASTISCHE
LICHTSTREUUNG
.
26
2.4.1
RAMANSTREUUNG
AN
PHONONEN
.
26
2.4.2
RAMANSTREUUNG
AN
ANREGUNGEN
DES
ELEKTRONENGASES
.
33
2.4.3
RAMANSTREUUNG
AN
GEKOPPELTEN
PLASMON-LO-PHONON-MODEN
.
34
3
EXPERIMENTELLE
DETAILS
41
3.1
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
.
41
3.2
LATERALE
UND
VERTIKALE
ORTSAUFLOESUNG
.
46
3.2.1
THEORIE
DES
KONFOKALEN
MIKROSKOPS
.
47
3.2.2
SPEZIELLE
BEGRIFFE
.
55
3.2.3
LATERALE
ORTSAUFLOESUNG
.
61
3.2.4
VERTIKALE
ORTSAUFLOESUNG
.
65
3.2.5
ORTSAUFLOESUNGSVERBESSERUNG
DURCH
ENTFALTEN
.
70
3.3
PROBENPRAEPARATION
.
73
3.3.1
STRUKTURIEREN
VON
GAAS(LOO)
.
73
3.3.2
STRUKTURIEREN
VON
INP(LOO)
.
75
II
INHALTSVERZEICHNIS
4
DOTIERTES
GAAS
AUF
GAAS-SUBSTRAT
(GAAS/GAAS)
77
4.1
AMPHOTERER
SI-EINBAU
BEI
DER
GAAS-MBE
.
77
4.2
N-DOTIERTES
GAAS/GAAS(100)
.
84
4.3
P-DOTIERTES
GAAS/GAAS(100)
.
94
4.4
NICHT
UEBERWACHSENES
STRUKTURIERTES
GAAS(LOO)
.
99
4.5
GAAS:SI
AUF
STRUKTURIERTEM
GAAS(LOO)
.
103
4.6
ERGAENZENDE
MIKRO-PHOTOLUMINESZENZ-MESSUNGEN
.
108
5
DOTIERTES
INP/INP
115
5.1
N-DOTIERTES
INP/INP(100)
.
116
5.2
P-DOTIERTES
INP/INP(100)
.
117
5.3
INP:SI
AUF
STRUKTURIERTEM
INP(LOO)
.
119
6
NAHEZU
GITTERANGEPASSTES
IN
X
GA
1
_
I
AS/INP
121
6.1
PHONONEN
UND
SCHICHTVERSPANNUNGEN
.
122
6.2
RAMANSPEKTREN
VON
IN
X
GAI_
X
AS
AUF
INP(LOO)
UND
INP(LLL)
.
128
6.3
KALIBRIERUNG
AN
GROSSFLAECHIGEN
PROBEN
.
130
6.4
INO.WGAO.ISAS
AUF
STRUKTURIERTEM
INP(LOO)
.
132
7
ZUSAMMENFASSUNG
142
A
ANHANG
145
A.L
ALTERNATIVER
STRAHLENGANG
.
145
A.2
FLUESSIG-STICKSTOFF-KRYOSTAT
.
147
A.3
MATERIALPARAMETER
.
148
A.4
DATEN
DER
MIKROSKOPOBJEKTIVE
.
149 |
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