Charakterisierung einer PECVD-Anlage: die mittlere Ionenenergie als neues Kriterium zur Einteilung in Remote- und direkte Plasmen
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1997
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | III, 116 S. graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV011816980 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 980303s1997 gw d||| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 952711443 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)245805463 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV011816980 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-355 |a DE-29T |a DE-706 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 100 | 1 | |a Schiller, Matthias |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Charakterisierung einer PECVD-Anlage |b die mittlere Ionenenergie als neues Kriterium zur Einteilung in Remote- und direkte Plasmen |c von Matthias Schiller |
| 264 | 1 | |c 1997 | |
| 300 | |a III, 116 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Kassel, Univ.-GH, Diss., 1997 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Plasmadiagnostik |0 (DE-588)4260997-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Plasmadiagnostik |0 (DE-588)4260997-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007979362&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007979362 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804126361711804416 |
|---|---|
| any_adam_object | 1 |
| author | Schiller, Matthias |
| author_facet | Schiller, Matthias |
| author_role | aut |
| author_sort | Schiller, Matthias |
| author_variant | m s ms |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV011816980 |
| ctrlnum | (OCoLC)245805463 (DE-599)BVBBV011816980 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01453nam a2200361 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV011816980</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">980303s1997 gw d||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">952711443</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)245805463</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV011816980</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schiller, Matthias</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Charakterisierung einer PECVD-Anlage</subfield><subfield code="b">die mittlere Ionenenergie als neues Kriterium zur Einteilung in Remote- und direkte Plasmen</subfield><subfield code="c">von Matthias Schiller</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1997</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">III, 116 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Kassel, Univ.-GH, Diss., 1997</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Plasmadiagnostik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4260997-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Plasmadiagnostik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4260997-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007979362&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007979362</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV011816980 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T18:16:14Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007979362 |
| oclc_num | 245805463 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-706 DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-706 DE-11 DE-188 |
| physical | III, 116 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1997 |
| publishDateSearch | 1997 |
| publishDateSort | 1997 |
| record_format | marc |
| spelling | Schiller, Matthias Verfasser aut Charakterisierung einer PECVD-Anlage die mittlere Ionenenergie als neues Kriterium zur Einteilung in Remote- und direkte Plasmen von Matthias Schiller 1997 III, 116 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Kassel, Univ.-GH, Diss., 1997 PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd rswk-swf Plasmadiagnostik (DE-588)4260997-5 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 s Plasmadiagnostik (DE-588)4260997-5 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007979362&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Schiller, Matthias Charakterisierung einer PECVD-Anlage die mittlere Ionenenergie als neues Kriterium zur Einteilung in Remote- und direkte Plasmen PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd Plasmadiagnostik (DE-588)4260997-5 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4267316-1 (DE-588)4260997-5 (DE-588)4113937-9 |
| title | Charakterisierung einer PECVD-Anlage die mittlere Ionenenergie als neues Kriterium zur Einteilung in Remote- und direkte Plasmen |
| title_auth | Charakterisierung einer PECVD-Anlage die mittlere Ionenenergie als neues Kriterium zur Einteilung in Remote- und direkte Plasmen |
| title_exact_search | Charakterisierung einer PECVD-Anlage die mittlere Ionenenergie als neues Kriterium zur Einteilung in Remote- und direkte Plasmen |
| title_full | Charakterisierung einer PECVD-Anlage die mittlere Ionenenergie als neues Kriterium zur Einteilung in Remote- und direkte Plasmen von Matthias Schiller |
| title_fullStr | Charakterisierung einer PECVD-Anlage die mittlere Ionenenergie als neues Kriterium zur Einteilung in Remote- und direkte Plasmen von Matthias Schiller |
| title_full_unstemmed | Charakterisierung einer PECVD-Anlage die mittlere Ionenenergie als neues Kriterium zur Einteilung in Remote- und direkte Plasmen von Matthias Schiller |
| title_short | Charakterisierung einer PECVD-Anlage |
| title_sort | charakterisierung einer pecvd anlage die mittlere ionenenergie als neues kriterium zur einteilung in remote und direkte plasmen |
| title_sub | die mittlere Ionenenergie als neues Kriterium zur Einteilung in Remote- und direkte Plasmen |
| topic | PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd Plasmadiagnostik (DE-588)4260997-5 gnd |
| topic_facet | PECVD-Verfahren Plasmadiagnostik Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007979362&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT schillermatthias charakterisierungeinerpecvdanlagediemittlereionenenergiealsneueskriteriumzureinteilunginremoteunddirekteplasmen |