Sensoren und Meßtechnik: Vorträge der ITG-Fachtagung vom 9. bis 11. März 1998 in Bad Nauheim
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| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin ; Offenbach
VDE-Verl.
1998
|
| Schriftenreihe: | Informationstechnische Gesellschaft: ITG-Fachberichte
148 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Beitr. teilw. dt., teilw. engl. - Literaturangaben |
| Beschreibung: | 663 S. Ill., graph. Darst. 29 cm |
| ISBN: | 3800723301 |
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Übersichtsvortrag
I
Ultraschall in der Sensorik .......................................................13
R. Lerch, Universität Linz
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Sensoren: Grundlagen und Technologie
CMOS-kompatible Oberflächenmechanik: Schlüsseltechnologie für VLSI-Mikrosysteme.........15
С
Hierold, Th. Scheiter, H.-J. Timme, Siemens AG, München
Der piezoresistive Effekt - zu instabil für hochgenaue Sensorapplikationen?................23
G. Gerlach,
A. Nakladal,
Institut für Festkörperelektronik, TU Dresden
Halbleiter-Schichtstrukturen mit porösem Silizium als Chemo- und Biosensoren .............33
M. J. Schöning, M. Thust, P. Kordos, H. Lüth, Institut für Schicht- und lonentechnik,
Forschungszentrum Jülich GmbH, Jülich;
F. Ronkel, J. W. Schultze, AGEF e.
V.
Institut, Heinrich-Heine-Universität Düsseldorf
Abscheidung pyroelektrischer Dünnschichten mit gepulster Laserstrahlung
(PLD)
............41
M.
Sommer,
J.
Gottmann, E.W. Kreutz, Lehrstuhl für Lasertechnik, RWTH Aachen
Sensoren: Messung kinematischer Größen
Hochgenaue Positionsbestimmung im Raum mit Composite-Wandlern ....................45
С
Reimann, J. Janocha, Universität des Saarlandes, Saarbrücken
Multifunktionales Mikrowellen-Sensorsystem zur Messung kinematischer Größen ............53
M. Lust, J. Otto, Institut für Angewandte Forschung, FH Aalen
Berührungslose Geschwindigkeits- und Wegmessung von Schienenfahrzeugen
mit Wirbelstrom-Sensoren ...................................................61
Th. Engelberg, Institut für Meß- und Regelungstechnik, Universität Karlsruhe
Ein hierarchisches Rekonstruktionsmodell für die Lage von Objekten im Raum..............67
S. Möckel, U. Kiencke, Universität Karlsruhe
Sensoren: Elemente und Bauteile
Funksensorik und Identifikation mit OFW-Sensoren..................................77
L. Reindl, G. Scholl, Th. Ostertag, F. Schmidt, Siemens AG, München
A. Pohl, Institut für allg. Elektrotechnik und Elektronik, TU Wien
Resonant Vibrating Plates as Sensor Elementsjtheoretical Results
......................87
H. Storck, H. Vroomen, Heinz
Nixdorf Institut, Uni-GH Paderborn
Single-Chip CMOS Potentiostat
für amperometrische chemische Sensoren.................93
0. Köster,
H. G. Dura, W. Mokwa, R. G.
Kakerow, Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische
Schaltungen und Systeme, Duisburg
An
industrial Si-surface micromachining foundry: concept and experiences
................99
M.
Illing,
M.
Offenberg,
H. G. Vossenberg, H.
Münzel,
J. Marek,
Robert Bosch
GmbH, Reutlingen
Sensoren: Gassensensoren
Selektive Sauerstoffsensoren durch Oberflächenmodifikation
von hochtemperaturstabilen Ga2O2 Dünnschichten .................................105
T. Schwebel, M. Fleischer, H. Meixner, Siemens AG, München
Temperaturunabhängige Sauerstoffsensoren zur Regelung von Verbrennungsvorgängen ......109
H.-J. Schreiner, K. H. Härdtl, Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik, Universität Karlsruhe
Spektroskopische Gasdetektoren im nahen Infrarot (NIR) mit DFB Laserdioden.............117
E.
Mágon,
R.
Strzoda,
E. Chemisky,
В.
Borchert,
M.
Fleischer,
H. Meixner, Siemens
AG, München;
I. Eisele,
Universität der Bundeswehr, München
Resistive
Hochtemperatur-Sauerstoffsensoren auf der Basis
von donatordotiertem Bariumtitanat............................................127
W. Menesklou, K. H. Härdtl, Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik, Universität Karlsruhe
R. Moos, Daimler-Benz Forschung, Dornier GmbH Friedrichshafen
Chemosensoren mit molekulargeprägten Erkennungsschichten - Technologie
der analytspezifischen Sensoradaption -........................................133
F. L. Dickert, W. Greibl, 0. Hayden, P. Lieberzeit, M. Tortschanoff, Institut für Analytische Chemie,
Universität Wien; W.-E. Bulst, U. Knauer, G. Fischerauer, Siemens AG, München
Prozeßtechnik: Optische Verfahren
Interferenzoptische Waagen für dynamische Prozesse ..............................139
G. Jäger, R. Füßl, TU Ilmenau,
Optische Formmessung an Bohrungen..........................................145
A. Weckenmann, Th. Kersting, St. Schmitz, Universität Erlangen-Nürnberg
Optische Abstandssensoren für die Im-Prozeß-Meßtechnik in der Fertigung ...............151
B. Huhnke, Institut für Meßtechnik und Experimentelle Mechanik, TU Braunschweig
Optische Streulicht-Meßanordnung mit erweitertem Meßbereich
und eindeutiger Bereichserkennung ...........................................161
S. Vaihinger, Endress und Hauser
Conducta
GmbH, Gerungen
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Prozeßtechnik
Ein Wirbelstromverfahren zur Messung der Dicke und Leitfähigkeit von metallischen Folien ... 163
F. Röper, Institut für Elektrische Meßtechnik, TU Braunschweig
Oberflächenspannungsmeßtechnik zur Prozeßüberwachung ..........................169
L. Schulze, Institut für Feinwerktechnik, TU Dresden; A. Böttger,
SITA
Meßtechnik GmbH Dresden
Time Domain Reflectometry
- Kabelradar erobert die Füllstandstechnik..................179
G.
Wartmann, Endress
und Hauser GmbH, Maulburg
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Mikrowellensensor zur Online-Messung der Faserorientierung in Papier..................181
A. Gasch,
V.
Schule, D. Treibert,
ABB
Forschungszentrum, Heidelberg
Übersichtsvorträge
II
Funktionsweise und Anwendungen der neuartigen PMD
(Photonic
Mixer DeviceJ-Technologie ... 189
R. Schwarte, Universität-GH Siegen, Zentrum für Sensorsysteme (ZESS),
Institut für Nachrichtenverarbeitung (INV);
H. G. Heinol, Universtiät-GH Siegen, Zentrum für Sensorsysteme (ZESS),
Laserinterferometrische Meßverfahren - Möglichkeiten, Grenzen und Anwendungen.........191
G. Jäger, TU Ilmenau
Elektronische Nasen: Gestern, Heute, Morgen.....................................207
U. Weimar, Institut für Physikalische Chemie, Universität Tübingen
Festvortrag
Zukunft des Wirtschaftsstandortes Deutschland - Wege zur Innovationsgesellschaft..........229
H. Riesenhuber, Bundesminister für Forschung
a. D.
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Multisensorsysteme
Konfigurations-,
Auswerte-, und „intelligente Selbstüberwachungskomponenten
des
modularen
Gas-Multisensorsystems IGM .....................................231
T.
Doll,
Α.
Köster,
Η.
Gerlach, F.
Derbel,
H. R.
Tränkler,
I.
Eisele, Universität der Bundeswehr, München
Modular
Sensor Systems für Gas
Sensing and
Odor
Monitoring: Einsatz eines hybriden,
modularen
Sensorsystems in der Qualitätskontrolle ................................243
H. Ulmer, J. Mitrovics, U. Weimar, W. Göpel, Institut für Physikalische und Theoretische Chemie,
Universität Tübingen
Modulares und konfigurierbares TSM-Sensorsystem zur Messung
von organischen und anorganischen Analyten im Wasser.............................249
R. Borngräber, St. Röster, R. Lucklum, F. Eichelbaum, Institut für Prozeßmeßtechnik und Elektronik,
Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg;
P. Hauptmann, Institut für Prozeßmeßtechnik und Elektronik, Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg,
Institut für Automation und Kommunikation (ifak), Barleben
Kapazitives Sensorarray in Siliziumtechnik für die Prozeßüberwachung...................257
M. J. Schöning, M. Thust, A. Steffen, M. Müller-Veggian, P. Kordos, Institut für lonentechnik,
Forschungszentrum Jülich GmbH, Jülich
Kapazitives Ultraschall-Array auf Siziliumbasis ....................................263
Ch. Thielemann, R. Schellin, G. Hess, Institut für Übertragungstechnik und Elektroakustik,
TU Darmstadt
sensoren:
Druck und rheologische Größen
Beschleunigungskompensierter Differenzdruckaufnehmer in Mikrotechnik ................271
K. Bethe, Institut für Elektrische Meßtechnik und Grundlagen der Elektrotechnik,
TU Braunschweig
Pirani-Sensor in Si-Mikromechanik ............................................275
G. Bedö, W. Kraus, R. Müller, E. Lange, TU München
Auslenkungskompensierender kapazitiver Druckaufnehmer für die Flugmeßtechnik
mit der Möglichkeit der Selbstüberwachung......................................283
M.-O. v. Maydell, Institut für Elektrische Meßtechnik und Grundlagen der Elektrotechnik,
TU Braunschweig
Possibilities and Limitations of Dual-Crystal TSM Viscosity Sensors
......................289
Ch.
Zhang, St. Schranz, P.
Hauptmann, Otto-von-Guericke-Universität
Magdeburg
Sensoren: Kalibrierung
Rückführbare Kalibrierung und Prüfung von elektrischen Sensoren und Meßsystemen........297
J. Grimm, K. Munter,
R. Pape, M.
Spitzer, Physikalisch-Technische Bundesanstalt
(PTB),
Braunschweig und Berlin
Neue Meßeinrichtungen für die zügige Kalibrierung von Kraft-, Drehmoment-
und Druckaufnahmen......................................................303
P. Hohmann, W. Steinbacher, H.
Paul, Hottinger Baldwin
Meßtechnik, Darmstadt
Kalibrierung einer Leitfähigkeitsmeßzelle für Reinstwasseranwendungen .................311
H. Riegel, Endress und Hauser
Conducta,
Gerungen
Sensoren: Strömungsmessung
Ultraschall-Durchflußsensor mit phasenlinearem Übertragungsweg......................319
T. Vontz, H.-G. v. Garßen,
С
Eccardt, B. Fischer, A. v. Jena, Siemens AG, München;
N. Kroemer, Siemens AG, Karlsruhe
Temperaturmodulation des Si-Strömungssensors ..................................325
G. Bedö, J. Gstöttner, R. Müller, TU München
Neuartiger Coriolis-Massendurchflußmesser mit einem geraden Meßrohr ................333
W. Drahm, Endress und Hauser Flowtec AG, Reinach, Schweiz
Postersitzung
Integrierte Spulen für die Mikrosystemtechnik ....................................339
F. Limbach, W. Langheinrich, Institut für Halbleitertechnik, TU Darmstadt
Transiente
Vorgänge in piezoelektrischen Keramiken für Aktoranwendungen ..............345
С
Heilig,
К. Н.
Härdtl, Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik, Universität Karlsruhe
Untersuchung von
Carbonaten
als Sensormaterial zur CO2- Detektion
mit Feldeffekttransistoren...................................................351
J. Mühlsteff, B. Ostrick, M. Fleischer, H. Meixner, Siemens AG, München
Effiziente Kalibration für
resistive
Sensorsysteme..................................357
A. Kemna, 0. Machul, D. Hammerschmidt, B. Hosticka, Fraunhofer Institut für Mikroelektronische
Schaltungen und Systeme, Duisburg
Lasergenerierung planarer Polymerlichtwellenleiter ................................363
M. Sommer, M. Bender, E. W. Kreutz, RWTH Aachen
Dieser Beitrag lag bei Redaktionsschluß
unó
Druckbeginn nicht vor
Optische Insitu-Prozeßkontrolle beim anisotropen Ätzen von Si-Membranen ...............365
U. Mescheder, Ch. Kötter, Institut für Angewandte Forschung, FH Furtwangen;
E. Kolguin, A. Oukhov, Elektrotechnische Universität, St. Petersburg, Rußland
Thermodynamische Grenzen der Miniaturisierbarkeit am Beispiel
eines kapazitiven Druckaufnehmers ...........................................373
D. Brunsch, K. Bethe, Institut für Elektrische Meßtechnik und Grundlagen der Elektrotechnik,
TU Braunschweig
Modellhafte Beschreibung der Effekte von Wasser an der Oberfläche
von Halbleitergassensoren ..................................................377
A. Czajor, Institut für Meß- und Automatisierungstechnik, Universität der Bundeswehr, München
Durchflußmessung am Regelventil.............................................383
R. Schäfer, U. Jungnickel, R. Werthschützky, TU Darmstadt
Physikalisch-Chemische Modellierung der Kennlinien von Halbleiter-Gassensoren ...........389
M.
Horn,
H. R.
Tränkler, Institut für Meß- und Automatisierungstechnik,
Universität der Bundeswehr, München
Signalverarbeitung bei der Ultraschall- Dichtemessung von Flüssigkeiten.................393
P. Püttmer, B. Henning, P. Hauptmann, Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
Investigations
of the
Sensitivity and Linearity
of
Capacitive
Porous
Silicon
Humidity Sensors
.........................................................399
Z. M.
Rittersma, W. Benecke, Universität Bremen
Measurement and Computer-Integrated Generation of Ball Screws
......................403
T. Kagiwada, H. Harada,
Universität
Hokkaido, Japan
Mikrowellen-Tomograf zur zerstörungsfreien Untersuchung nichtleitender Objekte...........409
J.
Otto, Institut für Angewandte Forschung, FH Aalen
Polarimetrische Koppeleinheit für optische Strom- und Spannungssensoren ...............413
С
Helmig, A. Koch, D. Peier, H. Senftleben, Universität Dortmund
Prozeßüberwachung bei der Montage hybrider Mikrosysteme.........................421
T. Pfeifer,
B. Brocher, RWTH
Aachen
Akustischer Aerosolsensor ..................................................427
L. Zipser, HTW Dresden
Einfache Systemdiagnose bei binären Sensoren...................................431
G. Piasberg, S. Fericean, Balluf GmbH & Co. Neuhausen/Filder
Durchflußmessung und Regelung von nicht-Newtonschen Flüssigkeiten
mittels Drucksensoren.....................................................439
J. Sopka,
ABB
Forschungszentrum, Heidelberg
Realisation elektrodenloser magnetisch-induktiver Durchflußmesser
(MID)
in Mikrosystemtechnik.....................................................443
A. Stratmann, Ruhr-Universität Bochum
Überwachung von Gleitlagern im Betrieb mit Hilfe der Messung des elektrischen
Widerstands der Schmierölschicht - Neue Aspekte.................................449
W. Burger, R. Haller, A. Albers, Institut für Maschinenkonstruktionslehre und Kraftfahrzeugbau,
TH Karlsruhe
Ein Sensormikrosystem zur Messung von Magnetfeldern mit vollintegriertem
Magnetfeldsensor, Kalibrierspule und Sensorelektronik..............................453
D. Dudenbostel, K.-L. Krieger,
С
Candler, R.
Laur,
Institut für Theoretische Elektrotechnik
und Mikroelektronik, Universität Bremen
Schnelle und berührungslose Temperaturmessung in strömender Atmosphäre
mittels Ultraschall ........................................................459
0. Magnor, Institut für Elektrische Meßtechnik und Grundlagen der Elektrotechnik,
TU Braunschweig
SnO2 Multisensorsysteme für Verkehr und Haushalt ................................465
U. Hoefer, H. Böttner, J. Wöllenstein, Fraunhofer Institut für Physikalische Meßtechnik, Freiburg;
C. D.
Kohl, Justus-Liebig-Universität, Gießen
Moleculat
Recognition: Supramolecular, Polymeric and
Biometrie
Coatings
for
Chemical Sensors......................................................473
T. Wessa, W. Göpel, Universität Tübingen
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Simulationsgestiitzter Entwurf von Sensorsystemen für Serviceroboter...................475
J. Dahlkemper, R. D. Schaft, Fraunhofer Institut für Produktionstechnik und Automatisierung
(IPA),
Stuttgart
Dynamische Ätztiefenmessung mit Zweistrahlinterferometrie zur insitu-Kontrolle
beim Plasmaätzen in der
Mikro-
und Optoelektronik................................483
G. Frankowski, OMECA Meßtechnik GmbH, Teltow/Berlin;
H. Wittrich, W. John, Ferdinand-Braun-Institut für Höchstenergiephysik, Berlin
Mikrostrukturierter Hohlleiter als Modulator für ein integriert-optisches Mikrofon ...........491
M. Klaiber, Institut für Übertragungstechnik und Elektroakustik, TU Darmstadt;
D. Lange, Institut für Quantenelektronik,
ΕΤΗ
Zürich
Vibrationskompensierter Kapazitiver Sensor in einem Wirbeldurchflußmesser ..............497
R. Kerrorn, F. Ohle, Endress und Hauser Flowtec AG, Reinach, Schweiz
Datenmanagement an der Schleuse Uelzen......................................503
W. Melder, B. Raabe, R. Müller GfS mbH, Aachen
Korrektur der Metrik von Rastersondenmikroskopen................................507
D. Hüser, H. Rothe, Universität der Bundeswehr, Hamburg
Grafisches Bediensystem für einen Hausbus......................................515
T. Weinzierl, Lehrstuhl für Elektrische Meßtechnik, TU München
Einsatz von
skalaren
und vektorieilen Codemultiplex-Verfahren
in Ultraschall-Mehrsendersystemen.............. 521
B. Menz,
ΤΗ
Karlsruhe
Objektorientierte Zustandsüberwachung von Maschinen mit VIBRO-IC.............. 529
R. Kewitsch, Schenk
Vibro,
Darmstadt
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10
Auswertung nichtlinearer Sensorkennlinien, spez. Gas-Sensoren,
durch Fuzzy-Microprozessoren...............................................531
С
Voit,
Unitronic GmbH, Düsseldorf
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Simulationen und Messungen zum Abstrahlverhalten breitbandiger Ultraschallwandler........533
L. Thieme, H. Daßler, H. Enge, W. Manthey, TU Chemnitz
Brennstoffzelle - Gestern, Heute, Morgen .......................................539
W. Drenckhahn, Siemens AG, Erlangen
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Übersichtsvorträge
III
Systems-Engineering beim Entwurf intelligenter Sensoren............................541
K. Müller-Glaser, Universität Karlsruhe
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Innovative Systeme für das intelligente Haus .....................................543
H.-R. Tränkler, Universität der Bundeswehr, München
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Möglichkeiten und Grenzen akustischer Sensoren..................................545
R. Lucklum, Otto-von-Guericke-Universität, Magdeburg
Maschinen- und Fahrzeugtechnik
On-Line Messung der Reifenverformung im Betrieb, ein neuartiges Reifensensorprinzip.......555
V. R. Mágori,
N. Seitz, FH München;
V. R. Mágori,
Universität der Bundeswehr, München
Indirekte Messung der Steigung der Kraftschlußkennlinien zur Optimierung
des Adhäsionsverhaltens von Drehstromlokomotiven................................563
P. Hildenbrand, Fachhochschule Offenburg;
R. Schreiber, R. Kögel,
ABB
Forschungszentrum, Heidelberg
Integrierte
Zustandssensoren
für Werkzeuge und Maschinenkomponenten ................571
H. Lüthje, T.
Lonken, R.
Böttcher, Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik,
Braunschweig
Signalverarbeitung, EMV
Die Störfestigkeit mikrocontrollerbasierter Geräte gegenüber schnellen
transienten Störgrößen.....................................................579
E. Habiger, G. Wolf, TU Dresden; G. Wolf, FH Merseburg
Bestimmung des Signal/Rauschverhältnisses von Sensoren...........................589
A. Breitenbach, E. Schrüfer, TU München
Meßdatenaufbereitung und Optimierung von Systemen mit Methoden
des
Soft-Computings
......................................................595
F. Wieland, K.-W. Bonfig, Institut für Meßtechnik, Universität GH Siegen
11
Haustechnik
Multisensormodul in MCM-Technik für das intelligente Haus...........................603
H. Köhne, H. Oppermann, M. Reischl, TU Berlin; F. Palme, TU München;
T. Flaschke, M. Reischl, L. Schratt, H.-R. Tränkler, Universität der Bundeswehr, München
Brandmelder nach dem
иКгаѕспаИ-МЈкгоууеНеп-ЈММпгИег^-РппгЈр
...................611
H. Ruser,
Siemens AG, München;
V. Mágori, H.-R.
Tränkler, Siemens AG München, Universität der Bundeswehr, München
Die intelligente Steckdose - Ein Schritt zum intelligenten Haus ........................617
W. Müller, TU München; W. Kämpf, IFAM GmbH, Erfurt
Infrared
Multi-Sensor Arrays for Flame and Gas Detection
............................623
K.
Lenkeit,
Minimax GmbH,
Bad Oldesloe
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Bildverarbeitung
Bildgebende Mikrowellenverfahren zur Darstellung innerer Strukturen
von nichtmetallischen Werkstoffen ............................................625
W. Pannert, J. Otto, FH Aalen
Verfahren zur wissensunabhängigen automatischen Bildoptimierung
in der technischen Sichtprüfung..............................................629
T. Pfeifer, L. Wiegers, RWTH Aachen
Quantifizierung von Drallerscheinungen an geschliffenen Wellendichtflächen
mit Methoden der Bildverarbeitung............................................639
D. Krähe, J. Beyerer, Institut für Meß- und Regeltechnik, Universität Karlsruhe
Rauhigkeitsmessung und Texturermittlung der Oberfläche der menschlichen Haut...........647
R. Lunderstädt, H. Hopermann, Institut für Automatisierungstechnik, Universität der Bundeswehr, Hamburg;
U. Hoppe, Beiersdorf AG, Hamburg
12
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