Hellmich, A. (1997). PECVD-Prozesse mittels Hohlkathodenglimmentladung (Als Ms. gedr.). VDI-Verl.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hellmich, Anke. PECVD-Prozesse Mittels Hohlkathodenglimmentladung. Als Ms. gedr. Düsseldorf: VDI-Verl, 1997.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Hellmich, Anke. PECVD-Prozesse Mittels Hohlkathodenglimmentladung. Als Ms. gedr. VDI-Verl, 1997.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.