Selected papers on optical methods in surface metrology:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE Optical Engineering Press 1996
Schriftenreihe:Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers: SPIE milestone series 129
Schlagworte:
Beschreibung:XXI, 638 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:0819423475

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