Silizium-Waferbonden: Montageprozesse für Silizium- und Glasmaterialien in der Mikromechanik
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
Dt. Verl. für Schweißtechnik, DVS-Verl.
1998
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| Schriftenreihe: | Deutscher Verband für Schweißtechnik: DVS-Berichte
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