Optimierung eines Röntgendiffraktometers für tiefenabhängige Messungen an Titandiboridschichten und implantierten Titanproben:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1997
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INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 5
2 GRUNDLAGEN DER ROENTGENFEINSTRUKTURANALYSE 7
2.1 ENTSTEHUNG VON ROENTGENSTRAHLUNG. 7
2.2 ABSORPTION VON ROENTGENSTRAHLUNG. 9
2.3 BEUGUNG VON ROENTGENSTRAHLUNG. 11
2.3.1 BRAGG-BEDINGUNG. 11
2.3.2 KRISTALLGITTERARTEN UND DIE MILLERSCHEN INDIZES. 12
2.3.3 AENDERUNG DER GITTERKONSTANTEN. 15
2.3.4 INTENSITAET DER GEBEUGTEN STRAHLEN. 18
2.3.5 KRISTALLTEXTUREN. 20
2.3.6 VERBREITERUNG DER ROENTGENREFLEXE. 20
3
EXPERIMENTELLER AUFBAU
23
3.1 GUINIER-VERFAHREN. 23
3.1.1 ORIENTIERUNG DER INTERFERIERENDEN KRISTALLITE. 25
3.1.2 EINDRINGTIEFE DES ROENTGENSTRAHLS. 26
3.1.3 MESSFEHLER. 27
3.2 ANFORDERUNGEN . 29
3.3 PLANUNG. 30
3.4 DURCHFUEHRUNG. 32
3.5 WEITERE MASSNAHMEN ZUR VERBESSERUNG DER REPRODUZIERBARKEIT. 32
3.6 ERGEBNIS. 35
3.7 RESUEMEE. 37
1
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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2
LITERATURVERZEICHNIS
4
MESS- UND AUSWERTUNGSPROGRAMM 39
4.1 ZIELSETZUNG . 39
4.2 UEBERSICHT . 49
4.3 MESSUNG. 42
4.3.1 MESSTYPEN. 43
4.4 AUSWERTUNG. 47
4.5 RESUEMEE. 4G
5
STRUKTURBESTIMMUNG AN HARTSTOFFSCHICHTEN UND IONENIMPLANTIERTEM
TITAN
49
5.1 ANALYSE VON TITANDIBORID-HARTSTOFFSCHICHTEN. 49
5.1.1 PROBENPRAEPARATION. 50
5.1.2 ERGEBNISSE UND DISKUSSION. 50
5.1.3 RESUEMEE. 5G
5.2 ANALYSE VON IONENIMPLANTIERTEM TITAN. 59
5.2.1 PROBENPRAEPARATION. 59
5.2.2 ERGEBNISSE UND DISKUSSION. 61
5.2.3 RESUEMEE. G2
6 ZUSAMMENFASSUNG 83
LITERATURVERZEICHNIS
85
ANHANG
91
A AUFBAU DES MESS- UND AUSWERTUNGSPROGRAMMS 93
A.L STARTEN DES PROGRAMMS. 93
A.2 VORBEREITUNG DES MESSABLAUFS. 94
A.2.1 EINGABE DER PARAMETER. 95
A.2.2 ERZEUGEN VON PARAMETERDATEIEN FUER DIE SERIE VON THETA-SCANS . 97
A.2.3 MESSKETTEN. 9G
LITERATURVERZEICHNIS
3
A.2.4 DATENSTRUKTUR.100
A.3 STARTEN DER MESSUNG.103
A.3.1 PROBENJUSTAGE.104
A.3.2 MASSNAHMEN ZUR BETRIEBSSICHERHEIT UND ZUR DATENSICHERUNG . . . 105
A.3.3 MESSROUTINE .106
A.3.4 ANSTEUERUNG DER STELLGLIEDER.108
A.4 AUSWERTUNG DER MESSDATEN.109
A.4.1 DARSTELLUNG.109
A.4.2 UNTERGRUNDABZUG.110
A.4.3 ANPASSUNGSROUTINEN .111
A.4.4 FEHLERKORREKTUR.114
A.4.5 MECHANISCHE EIGENSPANNUNGEN UND KRISTALLITGROESSE.115
A.5 DEFINITION DER DATENTYPEN UND VARIABLEN BEIM MESS- UND AUSWERTUNGS
PROGRAMM .116
DANKSAGUNG.121 |
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