Resonatorinterne Ellipsometrie:
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| Language: | German |
| Published: |
Kassel
Univ.
1997
|
| Series: | Institut für Mess- und Automatisierungstechnik <Kassel>: [IMAT-Bericht / MT]
15 |
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INHALT
ZUSAMMENFASSUNG
.
IX
0
EINLEITUNG
.
1
1
DAS
RESONATORINTEME
ELLIPSOMETER
.
3
1.1
GESAMTKONFIGURATION
MIT
MESSOSZILLATOR
.
3
1.2
DIE
PUMPQUELLE
FUER
DEN
MESSOSZILLATOR
.
5
1.2.1
EIGENSCHAFTEN
DES
PUMPLASERS
.
5
1.2.2
INTEGRATION
IN
DEN
MESSAUFBAU
.
7
2
STABILISIERUNG
DES
MESSOSZILLATORS
.
11
3
DER
PHASENMODULATOR
.
17
3.1
ANFORDERUNGEN
AN
DEN
MODULATOR
.
17
3.2
VEKTORIELLER
ELEKTROOPTISCHER
(EO-)MODULATOR
.
18
3.2.1
FUNKTIONSPRINZIP
DER
VEKTORIELLEN
EO-MODULATOREN
.
18
3.2.2
ERPROBUNG
DER
EO-MODULATOREN
.
23
3.3
VEKTORIELLER
PHOTOELASTISCHER
(PE-)PHASENMODULATOR
.
31
3.3.1
FUNKTIONSPRINZIP
DES
VEKTORIELLEN
PE-MODULATORS
.
31
3.3.2
ERPROBUNG
DES
PE-MODULATORS
.
37
3.4
AUSWAHL
DES
GEEIGNETEN
MODULATORS
.
40
4
MESSUNG
DER
PHASENDIFFERENZ
A
UND
DER
HAUPTACHSENLAGE
P
.
41
4.1
MESSUNG
DER
PHASENDIFFERENZ
A
.
41
4.2
DIE
REFERENZMESSUNG
DES
RESONATORINTEMEN
ELLIPSOMETERS
.
43
4.3
DRIFT
DES
EO-MODULATORS
IM
MESSOSZILLATOR
.
46
4.4
KOMBINIERTE
MESSUNG
VON
A
UND
P
MIT
EO-MODULATOR
.
48
4.5
MESSUNG
VON
A
UND
P
MIT
DREHBAREM
VERZOEGERER
.
50
5
MESSUNG
DER
FARADAY-ROTATION
PP
.
55
5.1
AUFBAU
DES
FARADAY-MODULATORS
.
55
5.2
DIE
KOMPENSATION
DER
FARADAY-ROTATION
PP
.
59
5.3
ERPROBUNG
DES
MESSALGORITHMUS
FUER
PP
.
62
5.4
EINFLUSS
DER
PP-KOMPENSATION
AUF
DIE
MESSUNG
VON
A
UND
P
.
65
6
MESSUNG
DER
REZIPROKEN
ROTATION
P
R
.
66
7
MESSUNG
DES
POLARISATIONSABHAENGIGEN
VERLUSTWINKELS
T
.
69
8
UEBERPRUEFUNG
UND
ERWEITERUNG
DER
THEORIE
.
71
8.1
EXPERIMENTELLE
VERIFIKATION
DER
THEORIE
DER
EIGENFREQUENZEN
UND
EIGENPOLARISATIONEN
.
.71
8.2
UEBERLAGERUNG
VON
PHASENDIFFERENZEN
IN
EINER
EINZELNEN
KOMPONENTE
.
76
8.3
RESULTIERENDE
ELLIPSOMETRISCHE
KENNGROESSEN
BEI
DER
ZUSAMMENSCHALTUNG
MEHRERER
OPTISCHER
KOMPONENTEN
.
78
8.4
BESTIMMUNG
VON
A
UND
P
BEI
VARIABLER
HAUPTACHSENLAGE
P
M
DES
PHASENMODULATORS
.
79
9
SCHLUSSFOLGERUNGEN
.
82
10
LITERATURVERZEICHNIS
.
84 |
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