Resonatorinterne Ellipsometrie:
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Kassel
Univ.
1997
|
| Schriftenreihe: | Institut für Mess- und Automatisierungstechnik <Kassel>: [IMAT-Bericht / MT]
15 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | XI, 87 S. graph. Darst. |
| ISBN: | 3881229264 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV011748817 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19980223 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 980204s1997 d||| |||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 953060586 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3881229264 |9 3-88122-926-4 | ||
| 035 | |a (OCoLC)643096688 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV011748817 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-12 | ||
| 100 | 1 | |a Holzapfel, Wolfgang |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Resonatorinterne Ellipsometrie |c W. Holzapfel ; St. Neuschaefer-Rube ; U. Neuschaefer-Rube |
| 264 | 1 | |a Kassel |b Univ. |c 1997 | |
| 300 | |a XI, 87 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Institut für Mess- und Automatisierungstechnik <Kassel>: [IMAT-Bericht / MT] |v 15 | |
| 650 | 0 | 7 | |a Resonator |0 (DE-588)4131574-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ellipsometrie |0 (DE-588)4152025-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Ellipsometrie |0 (DE-588)4152025-7 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Resonator |0 (DE-588)4131574-1 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Neuschaefer-Rube, Stephan |e Verfasser |4 aut | |
| 700 | 1 | |a Neuschaefer-Rube, Ullrich |e Verfasser |4 aut | |
| 810 | 2 | |a MT] |t Institut für Mess- und Automatisierungstechnik <Kassel>: [IMAT-Bericht |v 15 |w (DE-604)BV004581844 |9 15 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007927442&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007927442 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1808498221689864192 |
|---|---|
| adam_text |
INHALT
ZUSAMMENFASSUNG
.
IX
0
EINLEITUNG
.
1
1
DAS
RESONATORINTEME
ELLIPSOMETER
.
3
1.1
GESAMTKONFIGURATION
MIT
MESSOSZILLATOR
.
3
1.2
DIE
PUMPQUELLE
FUER
DEN
MESSOSZILLATOR
.
5
1.2.1
EIGENSCHAFTEN
DES
PUMPLASERS
.
5
1.2.2
INTEGRATION
IN
DEN
MESSAUFBAU
.
7
2
STABILISIERUNG
DES
MESSOSZILLATORS
.
11
3
DER
PHASENMODULATOR
.
17
3.1
ANFORDERUNGEN
AN
DEN
MODULATOR
.
17
3.2
VEKTORIELLER
ELEKTROOPTISCHER
(EO-)MODULATOR
.
18
3.2.1
FUNKTIONSPRINZIP
DER
VEKTORIELLEN
EO-MODULATOREN
.
18
3.2.2
ERPROBUNG
DER
EO-MODULATOREN
.
23
3.3
VEKTORIELLER
PHOTOELASTISCHER
(PE-)PHASENMODULATOR
.
31
3.3.1
FUNKTIONSPRINZIP
DES
VEKTORIELLEN
PE-MODULATORS
.
31
3.3.2
ERPROBUNG
DES
PE-MODULATORS
.
37
3.4
AUSWAHL
DES
GEEIGNETEN
MODULATORS
.
40
4
MESSUNG
DER
PHASENDIFFERENZ
A
UND
DER
HAUPTACHSENLAGE
P
.
41
4.1
MESSUNG
DER
PHASENDIFFERENZ
A
.
41
4.2
DIE
REFERENZMESSUNG
DES
RESONATORINTEMEN
ELLIPSOMETERS
.
43
4.3
DRIFT
DES
EO-MODULATORS
IM
MESSOSZILLATOR
.
46
4.4
KOMBINIERTE
MESSUNG
VON
A
UND
P
MIT
EO-MODULATOR
.
48
4.5
MESSUNG
VON
A
UND
P
MIT
DREHBAREM
VERZOEGERER
.
50
5
MESSUNG
DER
FARADAY-ROTATION
PP
.
55
5.1
AUFBAU
DES
FARADAY-MODULATORS
.
55
5.2
DIE
KOMPENSATION
DER
FARADAY-ROTATION
PP
.
59
5.3
ERPROBUNG
DES
MESSALGORITHMUS
FUER
PP
.
62
5.4
EINFLUSS
DER
PP-KOMPENSATION
AUF
DIE
MESSUNG
VON
A
UND
P
.
65
6
MESSUNG
DER
REZIPROKEN
ROTATION
P
R
.
66
7
MESSUNG
DES
POLARISATIONSABHAENGIGEN
VERLUSTWINKELS
T
.
69
8
UEBERPRUEFUNG
UND
ERWEITERUNG
DER
THEORIE
.
71
8.1
EXPERIMENTELLE
VERIFIKATION
DER
THEORIE
DER
EIGENFREQUENZEN
UND
EIGENPOLARISATIONEN
.
.71
8.2
UEBERLAGERUNG
VON
PHASENDIFFERENZEN
IN
EINER
EINZELNEN
KOMPONENTE
.
76
8.3
RESULTIERENDE
ELLIPSOMETRISCHE
KENNGROESSEN
BEI
DER
ZUSAMMENSCHALTUNG
MEHRERER
OPTISCHER
KOMPONENTEN
.
78
8.4
BESTIMMUNG
VON
A
UND
P
BEI
VARIABLER
HAUPTACHSENLAGE
P
M
DES
PHASENMODULATORS
.
79
9
SCHLUSSFOLGERUNGEN
.
82
10
LITERATURVERZEICHNIS
.
84 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Holzapfel, Wolfgang Neuschaefer-Rube, Stephan Neuschaefer-Rube, Ullrich |
| author_facet | Holzapfel, Wolfgang Neuschaefer-Rube, Stephan Neuschaefer-Rube, Ullrich |
| author_role | aut aut aut |
| author_sort | Holzapfel, Wolfgang |
| author_variant | w h wh s n r snr u n r unr |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV011748817 |
| ctrlnum | (OCoLC)643096688 (DE-599)BVBBV011748817 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV011748817</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19980223</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">980204s1997 d||| |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">953060586</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3881229264</subfield><subfield code="9">3-88122-926-4</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)643096688</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV011748817</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Holzapfel, Wolfgang</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Resonatorinterne Ellipsometrie</subfield><subfield code="c">W. Holzapfel ; St. Neuschaefer-Rube ; U. Neuschaefer-Rube</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Kassel</subfield><subfield code="b">Univ.</subfield><subfield code="c">1997</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">XI, 87 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Institut für Mess- und Automatisierungstechnik <Kassel>: [IMAT-Bericht / MT]</subfield><subfield code="v">15</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Resonator</subfield><subfield code="0">(DE-588)4131574-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ellipsometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152025-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Ellipsometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152025-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Resonator</subfield><subfield code="0">(DE-588)4131574-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Neuschaefer-Rube, Stephan</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Neuschaefer-Rube, Ullrich</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">MT]</subfield><subfield code="t">Institut für Mess- und Automatisierungstechnik <Kassel>: [IMAT-Bericht</subfield><subfield code="v">15</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV004581844</subfield><subfield code="9">15</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007927442&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007927442</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV011748817 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-27T00:25:04Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3881229264 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007927442 |
| oclc_num | 643096688 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-12 |
| owner_facet | DE-12 |
| physical | XI, 87 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1997 |
| publishDateSearch | 1997 |
| publishDateSort | 1997 |
| publisher | Univ. |
| record_format | marc |
| series2 | Institut für Mess- und Automatisierungstechnik <Kassel>: [IMAT-Bericht / MT] |
| spelling | Holzapfel, Wolfgang Verfasser aut Resonatorinterne Ellipsometrie W. Holzapfel ; St. Neuschaefer-Rube ; U. Neuschaefer-Rube Kassel Univ. 1997 XI, 87 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Institut für Mess- und Automatisierungstechnik <Kassel>: [IMAT-Bericht / MT] 15 Resonator (DE-588)4131574-1 gnd rswk-swf Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 gnd rswk-swf Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 s Resonator (DE-588)4131574-1 s DE-604 Neuschaefer-Rube, Stephan Verfasser aut Neuschaefer-Rube, Ullrich Verfasser aut MT] Institut für Mess- und Automatisierungstechnik <Kassel>: [IMAT-Bericht 15 (DE-604)BV004581844 15 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007927442&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Holzapfel, Wolfgang Neuschaefer-Rube, Stephan Neuschaefer-Rube, Ullrich Resonatorinterne Ellipsometrie Resonator (DE-588)4131574-1 gnd Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4131574-1 (DE-588)4152025-7 |
| title | Resonatorinterne Ellipsometrie |
| title_auth | Resonatorinterne Ellipsometrie |
| title_exact_search | Resonatorinterne Ellipsometrie |
| title_full | Resonatorinterne Ellipsometrie W. Holzapfel ; St. Neuschaefer-Rube ; U. Neuschaefer-Rube |
| title_fullStr | Resonatorinterne Ellipsometrie W. Holzapfel ; St. Neuschaefer-Rube ; U. Neuschaefer-Rube |
| title_full_unstemmed | Resonatorinterne Ellipsometrie W. Holzapfel ; St. Neuschaefer-Rube ; U. Neuschaefer-Rube |
| title_short | Resonatorinterne Ellipsometrie |
| title_sort | resonatorinterne ellipsometrie |
| topic | Resonator (DE-588)4131574-1 gnd Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 gnd |
| topic_facet | Resonator Ellipsometrie |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007927442&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV004581844 |
| work_keys_str_mv | AT holzapfelwolfgang resonatorinterneellipsometrie AT neuschaeferrubestephan resonatorinterneellipsometrie AT neuschaeferrubeullrich resonatorinterneellipsometrie |