Wechselwirkung von hochreflektierenden dielektrischen Schichtsystemen mit ultravioletten Laserpulsen:
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Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
1997
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Beschreibung: | Jena, Univ., Diss., 1997 |
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INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 1
1.1 EINORDNUNG. 1
1.2 ABLEITUNG DER AUFGABEN UND GLIEDERUNG DER ARBEIT. 4
2 WECHSELWIRKUNG VON LASERSTRAHLUNG MITJJ'ESTKOERPERN 0
2.1 EINFUEHRUNG.'.T. 6
2.2 PHOTOTHERMISCHE MESSMETHODEN. 8
3 OPTISCHE SCHICHTEN 11
3.1 AUFBAU UND EIGENSCHAFTEN. 11
3.2 WECHSELWIRKUNG VON LASERSTRAHLUNG MIT DIELEKTRISCHEN OPTISCHEN
SCHICHTEN . . 14
3.2.1 DAS ELEKTRISCHE FELD IM SCHICHTSYSTEM. 14
3.2.2 AENDERUNG DER REFLEKTIVITAET DURCH BRECHZAHLVARIATION. 17
3.2.3 ABSORPTIONSPROZESSE. 20
3.2.4 WAERMEAUSBREITUNG. 27
3.2.5 IRREVERSIBLE VERAENDERUNGEN . 30
4 MESSVERFAHREN 33
4.1 UNTERSUCHUNGSMETHODEN FUER OPTISCHE SCHICHTEN. 33
4.1.1 EINLEITUNG. 33
4.1.2 ZERSTOERSCHWELLENBESTIMMUNG . 34
4.1.3 PHOTOTHERMISCHE MESSVERFAHREN ZUR UNTERSUCHUNG OPTISCHER SCHICHTEN
35
4.1.4 ANFORDERUNGEN AN EIN MESSVERFAHREN. 36
4.2 MESSUNG DER OBERFLAECHENTEMPERATUR. 37
4.2.1 DER MIRAGEEFFEKT-EINFUEHRUNG. 37
4.2.2 MIRAGESIGNALE FUER SCHICHTEN. 38
4.3 MESSUNG DER OBERFLAECHENDEFORMATION. 39
4.4 PHOTOTHERMISCHER MESSPLATZ. 41
4.4.1 HEIZSTRAHL-ANFORDERUNGEN UND REALISIERUNG. 41
4.4.2 TESTSTRAHLGEOMETRIEN UND DETEKTION DER SIGNALE. 43
4.4.3 SIGNALFORMEN. 43
4.5 ZEITAUFGELOESTE REFLEXIONSMESSUNGEN. 44
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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INHALTSVERZEICHNIS
_
5 ABSOLUTE MESSUNG DER OBERFLAECHENTEMPERATUR 46
5.1 STATIONAERER FALL. 46
5.2 GEPULSTE ANREGUNG. 48
6 UNTERSUCHUNG VON HOCHREFLEKTIERENDEN DIELEKTRISCHEN SCHICHTSYSTEMEN 51
6.1 BESTIMMUNG DER ABSORPTION IM BEREICH DER ZERSTOERFLUENZ. 51
6.1.1 PROBEN MIT KLEINER DEFEKTDICHTE . 52
6.1.2 PROBEN MIT GROSSER DEFEKTDICHTE. 67
6.1.3 DISKUSSION DER ABSORPTIONSWERTE. 68
6.2 ABSORPTIONSAENDERUNGEN DURCH AKKUMULATIONSEFFEKTE. 69
7 ZUSAMMENFASSUNG 76
A THEORETISCHE MODELLE 79
A.L ZUSAMMENHANG VON STRAHLUNGSGROESSEN ZUR CHARAKTERISIERUNG VON
LASERPULSEN 79
A.2 MATRIZENVERFAHREN ZUR BERECHNUNG ELEKTROMAGNETISCHER FELDER IN
SCHICHTSYSTE
MEN . 79
A.3 LOESUNGEN DER WAERMETRANSPORTGLEICHUNG. 81
A.3.1 GREENSCHE FUNKTIONEN ZUR LOESUNG DER WAERMETRANSPORTGLEICHUNG . 81
A.3.2 LOESUNG FUER DEN HALBRAUM. 83
A.3.3 LOESUNG FUER METALLSCHICHTEN. 83
A.3.4 LOESUNG FUER DIELEKTRISCHE SCHICHTSYSTEME. 85
A.4 HERLEITUNG DES MIRAGESIGNALES. 86
A.4.1 HERLEITUNG DES MIRAGESIGNALES AUS DEM FERMATSCHEN PRINZIP. 86
A.4.2 ENDLICHE BREITE DES TESTSTRAHLES . 87
A. 5 BESTIMMUNG DER EXPERIMENTELLEN ABLENKWINKEL. 88
A.5.1 MIRAGE-ABLENKWINKELS. 88
A. 5.2 BERECHNUNG DES ABLENKWINKELS EINES TESTSTRAHLES DURCH
OBERFLAECHEN
DEFORMATION . 92
B MATERIALKONSTANTEN 94
B. L EINFLUSS DER TEMPERATUR AUF DIE MATERIALKONSTANTEN. 94
B. L.L TEMPERATURABHAENGIGKEIT VON GY IN LUFT. 94
B.L.2 TEMPERATURABHAENGIGKEIT VON PC UND X FUER DIELEKTRIKA. 95
B.2 MATERIALKONSTANTEN FUER DIE UV-SCHICHTTECHNOLOGIE. 96
LITERATURVERZEICHNIS 98
SELBSTAENDIGKEITSERKLAERUNG 105
DANKSAGUNG 106
LEBENSLAUF 107 |
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