Herstellung und Untersuchung von Bornitridschichten für die Glasheißformgebung:
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| Format: | Buch |
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1997
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| Beschreibung: | Karlsruhe, Univ., Diss., 1997 (Nur beschränkt für den Austausch) |
| Beschreibung: | III, 142 S. Ill., graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 1
2 EINGESETZTE BESCHICHTUNGSVERFAHREN UND -ANLAGEN 3
2.1 EINGESETZTE BESCHICHTUNGSVERFAHREN. 3
2.2 HF-MAGNETRON-ZERSTAEUBUNGSANLAGE. 4
2.3 DOPPEL-IONENSTRAHL-ZERSTAEUBUNGSANLAGE. 6
3 SCHICHTHERSTELLUNG DURCH HF-MAGNETRON-ZERSTAEUBEN 10
3.1 SUBSTRATAUSWAHL UND -REINIGUNG. 10
3.2 SCHICHTABSCHEIDUNG. 11
3.3 SCHICHTDICKENBESTIMMUNG . 13
4 ZUSAMMENSETZUNG UND STRUKTUR VON BN-SCHICHTEN, DIE DURCH
HF-MAGNETRON-ZERSTAEUBEN HERGESTELLT WURDEN 15
4.1 STRUKTUR DER BORNITRIDPHASEN. 15
4.2 ZUSAMMENSETZUNG. 20
4.3 KRISTALLSTRUKTUR. 22
4.4 NAHORDNUNG. 23
5 ZERSETZUNGSVORGAENGE BEI BN-SCHICHTEN 27
5.1 ERSCHEINUNGSBILD SICH ZERSETZENDER SCHICHTEN. 27
5.2 MIKROSTRUKTURUNTERSUCHUNGEN. 28
5.3 CHEMISCHE ABBAUREAKTIONEN. 30
5.4 VERGLEICH MIT ERGEBNISSEN ANDERER ARBEITSGRUPPEN. 33
5.5 LOESUNGSANSAETZE ZUR HERSTELLUNG STABILER SCHICHTEN. 35
6 IONENSTRAHL-ZERSTAEUBEN: SCHICHTHERSTELLUNG UND MIKROSTRUKTUR
UNTERSUCHUNGEN 38
6.1 SCHICHTABSCHEIDUNG. 38
6.2 SCHICHTDICKENBESTIMMUNG . 41
6.3 ZUSAMMENSETZUNG. 47
6.4 KRISTALLSTRUKTUR. 50
6.5 NAHORDNUNG. 53
I
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/952227703
7 WEITERE UNTERSUCHUNGEN ZUR SCHICHTSTABILITAET 56
7.1 VERGLEICH VON SCHICHTEN AUS DEM HF-MAGNETRON- UND DEM IONEN
STRAHL-ZERSTAEUBUNGSVERFAHREN . 55
7.2 EINFLUSS DER RESTGASZUSAMMENSETZUNG. 57
7.2.1 MESSUNG DER RESTGASZUSAMMENSETZUNG WAEHREND DER
SCHICHTABSCHEIDUNG. 57
7.2.2 EINFLUSS DES ENDDRUCKES. 60
8 TERNAERE B
XMEVNZ-SCHICHTEN (ME = TI, AL) 64
8.1 SCHICHTHERSTELLUNG. 54
8.1.1 BXALYNS-SCHICHTEN. 64
8.1.2 B
ITIJ,N2-SCHICHTEN. 64
8.2 SCHICHTMIKROSTRUKTUR. 67
8.2.1 B
XALYN2-SCHICHTEN. 67
8
.2.2 BXTIJ,N2-SCHICHTEN. 68
8.3 STABILITAET GEGENUEBER LUFTFEUCHTIGKEIT. 69
9 MECHANISCHE EIGENSCHAFTEN - SCHICHTEN AUS DEM HF-MAGNE-
TRON-VERFAHREN
9.1 SCHICHTEIGENSPANNUNGEN . . 7J
9.1.1 BESTIMMUNG DER SCHICHTEIGENSPANNUNG. 72
9.1.2 THERMISCH BEDINGTE SCHICHTSPANNUNGEN. 73
9.1.3 EXPERIMENTELLE UNTERSUCHUNGEN. 75
9.1.4 INTERPRETATION. 7G
9.1.5 ZUSAMMENFASSUNG. GL
9.2 MIKROEINDRUCKUNTERSUCHUNGEN. G2
9.2.1 EXPERIMENTELLE UNTERSUCHUNGEN. 82
9.2.2 INTERPRETATION. G4
10 MECHANISCHE EIGENSCHAFTEN - SCHICHTEN AUS DEM IONENSTRAHLVER
FAHREN
GG
10.1 SCHICHTEIGENSPANNUNGEN. G9
10.1.1 EXPERIMENTELLE UNTERSUCHUNGEN. 89
10.1.2 INTERPRETATION. 90
II
10.2 HAERTE UND VERSCHLEISSVERHALTEN. 92
10.2.1 MIKROEINDRUCKUNTERSUCHUNGEN. 92
10.2.2 RITZTEST. 94
10.2.3 VERSCHLEISSWIDERSTAND. 96
10.2.4 INTERPRETATION . . . 98
11 KONTAKT MIT HEISSEN GLASSCHMELZEN 100
11.1 GLASKONTAKT UNTER INERTEN, ISOTHERMEN BEDINGUNGEN.101
11.1.1 BORNITRIDSCHICHTEN .103
11.1.2 SIMS-UNTERSUCHUNGEN.108
11.1.3 TERNAERE SCHICHTEN.114
11.2 GLASKONTAKT UNTER NICHT-ISOTHERMEN, NICHT-INERTEN BEDINGUNGEN . 116
11.2.1 LABORVERSUCHE.117
11.2.2 PRAXISTEST.120
12 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 130
A FUNKTIONSWEISE EINER FILAMENTLOSEN IONENQUELLE 133
LITERATURVERZEICHNIS 137
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